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文檔簡介
1、在這篇論文中，作者提出了一種基于Halbach陣列的高精度磁懸浮平面電機(jī)的結(jié)構(gòu)設(shè)計思路和制造流程。這種結(jié)構(gòu)的電機(jī)能夠提供光刻作業(yè)中的所有運(yùn)動，其中包括用于晶圓表面定位的大行程平面運(yùn)動和極微的調(diào)準(zhǔn)調(diào)焦運(yùn)動。 在分析了若干種可供參考的平面電機(jī)結(jié)構(gòu)之后，作者確定了一種單動子磁懸浮結(jié)構(gòu)為樣機(jī)結(jié)構(gòu)。樣機(jī)動子的執(zhí)行器為四個永磁直線電機(jī)，這四個執(zhí)行器提供所有的懸浮力和單邊拉力。執(zhí)行器的永磁陣列安裝在動子下表面，采用新型的Halbach永磁陣列
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