瓦斯氣體檢測(cè)中微型F-P梳狀濾波器研究.pdf

1、礦用瓦斯氣體傳感器的安全檢測(cè)具有十分重要的現(xiàn)實(shí)意義。本文的主要任務(wù)是對(duì)檢測(cè)甲烷氣體過(guò)程中所應(yīng)用的微型F-P梳狀濾波器進(jìn)行研究與設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高靈敏度在線測(cè)量，從而達(dá)到實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)運(yùn)行的目的。 光纖氣體傳感器由于它的一系列獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)越性而受到廣泛應(yīng)用。本文在綜述光纖氣體傳感器的發(fā)展過(guò)程和現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上，分析了現(xiàn)有的光纖氣體傳感技術(shù)的原理和方法，指出它們的優(yōu)點(diǎn)與應(yīng)用局限性，并闡述了F-P梳狀濾波器原理及制作工藝，并設(shè)計(jì)了一種以鍍膜K9玻璃為

2、基片，結(jié)合帶尾纖的光纖準(zhǔn)直器制成的一種微型F-P梳狀濾波器，通過(guò)這種方法可實(shí)現(xiàn)對(duì)瓦斯氣體濃度檢測(cè)靈敏度的提高。 同時(shí)，全文在分析了甲烷氣體的近紅外吸收譜線的基礎(chǔ)上，利用中心波長(zhǎng)1650nm，寬帶30 nm的SLED光源和光纖、以及傳感氣室構(gòu)造了低濃度氣體吸收檢測(cè)系統(tǒng)。文中進(jìn)行了光路、氣室的設(shè)計(jì)，并詳細(xì)地分析和討論了F-P梳狀濾波器的設(shè)計(jì)與制作問(wèn)題，其重點(diǎn)是討論了以K9玻璃為基片的F-P梳狀濾波器的損耗與該濾波器的光譜分析及誤差分