瓦斯氣體檢測中微型F-P梳狀濾波器研究.pdf

1、礦用瓦斯氣體傳感器的安全檢測具有十分重要的現(xiàn)實意義。本文的主要任務是對檢測甲烷氣體過程中所應用的微型F-P梳狀濾波器進行研究與設計，實現(xiàn)高靈敏度在線測量，從而達到實時監(jiān)測運行的目的。 光纖氣體傳感器由于它的一系列獨特的技術優(yōu)越性而受到廣泛應用。本文在綜述光纖氣體傳感器的發(fā)展過程和現(xiàn)狀的基礎上，分析了現(xiàn)有的光纖氣體傳感技術的原理和方法，指出它們的優(yōu)點與應用局限性，并闡述了F-P梳狀濾波器原理及制作工藝，并設計了一種以鍍膜K9玻璃為

2、基片，結合帶尾纖的光纖準直器制成的一種微型F-P梳狀濾波器，通過這種方法可實現(xiàn)對瓦斯氣體濃度檢測靈敏度的提高。 同時，全文在分析了甲烷氣體的近紅外吸收譜線的基礎上，利用中心波長1650nm，寬帶30 nm的SLED光源和光纖、以及傳感氣室構造了低濃度氣體吸收檢測系統(tǒng)。文中進行了光路、氣室的設計，并詳細地分析和討論了F-P梳狀濾波器的設計與制作問題，其重點是討論了以K9玻璃為基片的F-P梳狀濾波器的損耗與該濾波器的光譜分析及誤差分