有機(jī)高分子Langmuir-Blodgett（LB）膜的制備及其應(yīng)用研究.pdf

1、本論文合成了一系列烷基長鏈(甲基)丙烯酰胺和對叔丁基苯酚甲基丙烯酸酯(BPhMA)的共聚物，通過<'1>H NMR和凝膠滲透色譜(GPC)對共聚物中單體比例及分子量進(jìn)行了表征。研究表明，(甲基)丙烯酰胺在共聚物中的含量及其烷基鏈長度對共聚物成膜性能有較大影響，十六烷基(甲基)丙烯酰胺在含量較高時(shí)，在水面上能形成排列有序的Langmuir膜并可轉(zhuǎn)移至不同材質(zhì)的固體基片上，形成均勻的多層LB膜。 BPhMA含量為30﹪的N-十六烷基

2、甲基丙烯酰胺共聚物(2c(3))和BPhMA含量為20﹪的N-十六烷基丙烯酰胺共聚物(2d(4))LB膜經(jīng)光刻、顯影后均可得到分辨率為0.75 gm的LB膜圖形，2d(4)LB膜的分辨率在個(gè)別區(qū)域甚至能達(dá)到0.5μm。上述兩種共聚物L(fēng)B膜在紫外光照射下的光分解方式不完全相同，2c(3)光分解機(jī)理是分子主鏈和側(cè)鏈在紫外光照射下同時(shí)斷裂，而2d(4)則分兩步進(jìn)行，BPhMA中的酯首先光分解，然后是主鏈的緩慢斷裂。 以上述兩種共聚物L(fēng)

3、B膜圖形為抗蝕層，可將圖形較好地轉(zhuǎn)移至金、銅薄膜上，得到分辨率為0.5．0.75μm的金屬圖形。此外，利用AFM對圖形的轉(zhuǎn)移過程進(jìn)行了深入的研究，發(fā)現(xiàn)LB膜在曝光過程中由于掩膜板和LB膜表面接觸不充分而導(dǎo)致紫外光在它們之間的縫隙中發(fā)生衍射，使原來被掩蓋的區(qū)域也部分感光，從而降低了這些區(qū)域LB膜的厚度，這種衍射對分辨率較高的區(qū)域影響尤其明顯。通過對LB膜厚度的分析，我們發(fā)現(xiàn)2d(4)分子在LB膜中的取向更為有序，這是2d(4)LB膜圖形分