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1、目的,在激光加工領(lǐng)域,射頻激勵(lì)CO<,2>激光器正在逐步取代傳統(tǒng)的直流激勵(lì)CO<,2>激光加工中的光功率實(shí)時(shí)控制技術(shù)的原理和實(shí)現(xiàn)方案.該文首先介紹了D.R.HALL等人提出的射頻氣體放電相關(guān)理論.該文詳細(xì)分析了射頻激勵(lì)CO<,2>激光器中各種粒子和光子的微觀過程.該文在此基礎(chǔ)上建立了射頻激勵(lì)CO<,2>激光器實(shí)時(shí)控制的數(shù)學(xué)模型和分析方法;計(jì)算了射頻激勵(lì)CO<,2>激光器輸出光功率對(duì)PWM控制信號(hào)的實(shí)時(shí)響應(yīng)特性,并用數(shù)學(xué)方法模擬了激光器實(shí)
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