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1、微懸臂梁光致彎曲效應(yīng)是指微懸臂梁在光束照射下,由于光生非平衡載流子的存在而導(dǎo)致的彎曲現(xiàn)象,已經(jīng)在光子探測器和氣體傳感器中取得了一定應(yīng)用。相對于傳統(tǒng)的基于光熱等效應(yīng)的光子探測器,利用光生載流子產(chǎn)生應(yīng)變具有更快的效應(yīng)速度( 2、并在此基礎(chǔ)上建立了新的硅微懸臂梁光致彎曲的理論模型。與現(xiàn)有模型相比,新模型的計算值與實驗測量值之間的差距由25倍縮小到1.6倍。新理論模型分析了光生非平衡載流子的不同分布狀況對微懸臂梁彎曲的影響,考慮了微懸臂梁對光的反射以及表面復(fù)合等非理想因素的影響。論文還依據(jù)新模型分析了各種對微懸臂梁光致彎曲的最大位移產(chǎn)生影響的因素:微懸臂梁的厚度,長度;微懸臂梁上下表面的狀況以及差異;光束的功率密度以及波長。 文中建立了多層薄膜微懸臂梁結(jié)構(gòu)
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