PST陶瓷及薄膜材料研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、分類、么心矛多補(bǔ)UDC注1學(xué)位論文PST陶瓷及薄膜材料研究(題名和副題名)裴亞芳(作者姓名)指導(dǎo)教師姓名楊傳仁教授博導(dǎo)(職務(wù)、職稱、學(xué)位、單位名稱及地址)申請專業(yè)學(xué)位級別碩士專業(yè)名稱電子信息材料與元器件論文提交日期2007.1論文答辯日期20073學(xué)位授予單位和日期電子科技大學(xué)答辯委員會主席評閱人2007年]月日注l:注明《國際十進(jìn)分類法UDC》的類號。AbstraCtAbstraCtFerroeleetriematerialsarea

2、ttraetivefaPPlieationsintunablemicrowavedeviees，suehaseleetricallytunableresonators，tunablefiltersandPhaseshifters.Bariumstrontiumtitanate(BST)itsdoPedserieshaveintensivelybeeninvestigateduPtodate.Reeently，Crossetal.have

3、foundthatleadstrontiumtitanate(Pbxsr，一xTIO3)(PST)eeramiehasbothhightunability(70%)quitelowdieleetrie1055(0.1%)，itsfigureofmerit(FOM)eouldreaehquitehigh(700).Inaddition，thePSTfilmshavelowererystallizationtemPeraturethanBS

4、T.Thus，PSTeouldbeeomeaveryPersPeetivematerialftunabledevicesaPPlieations.PST(x=0.2一0.8)eeramieswerefabrieatedbytheeonventionalProeessingmethodandtheeffeetofthePbeontentonthemierostruetureanddieleetrieProPertieswerestudie

5、d.TheoPtimizedeomPosition，exeessPbeontent出zdtheProeessconditionwereSelectedtosintertheceramicstarget.ThenPST3OthinfilmwerePreParedbyRFmagnetronsPuteringsystem，andtheeffeetofdePositesubstrates，temPerature，Powerandtheannea

6、lingternPeraturewereinvestigated.Thefollowingaretheresults.ThelattieestruetureofthePSTeeramies15changedfromeubietotetragonalPhaseat45at%Pbeontent.Therefe，thewell一behavedhysteresislooPseanbeobservedfthePSTeeramieswithPbeo

7、ntenthigherthan45at%.Thevaluesoftheeoereiveeleetriefield(Ee)remnantPolarization(P:)inereasewithPbSrratio.ThesinteredtemPeraturedeereaseswithinxeasingthePbSrratio.SinteredatthesametemPerature，thegrainsizethedensityinereas

8、ewiththePbSrratio.TheCurietemPerature(Te)，whieh15alwayshigherthantheWeisstemPerature(To)，increaseslinearlywiththeinereaseofthePbeontent.It15foundthatthePSTeeranliesshowthesimilarCurie一Wiesseonstant.ComPletePerovskitestru

9、etureaswellassuPlusPb3O4PhasehasbeenfoundinPSTeeramiesat900oC.AbnormalhysteresislooPsareobservedduetoboththesuPerfluousPbandthePbvaeaneies.PST3Oeeramieswith3mol%exeessPb15agoodtargeteomPositionfPhaseshifter.ThePST3Otarge

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