用于MEMS器件精密測量的干涉相位解纏算法研究.pdf

1、相位解纏算法最初運(yùn)用于INSAR數(shù)據(jù)的分析，后來應(yīng)用于地形圖的繪制。從上世紀(jì)90年代中期開始，相位解纏算法隨MEMS技術(shù)逐漸發(fā)展，成為目前最先進(jìn)的MEMS動(dòng)態(tài)測試技術(shù)中頻閃顯微干涉系統(tǒng)（SMIS）測量MEMS表面形貌的關(guān)鍵部分。相位解纏算法的優(yōu)劣程度直接關(guān)系到MEMS參數(shù)檢測儀器中的特性參數(shù)設(shè)置及其測試精度。課題主要研究用于恢復(fù)變形鏡表面三維形貌圖的相位解纏算法。
　　 首先介紹了相位解纏算法的國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀、課題研究背景、論文

2、來源及主要研究內(nèi)容,然后在介紹了干涉相位解纏原理的基礎(chǔ)上，對路徑跟蹤法和最小范數(shù)法這兩種基本算法進(jìn)行分析。
　　 課題主要側(cè)重于研究最小二乘相位解纏算法。首先介紹了最小二乘法的基本原理，分別對離散余弦變換法及多重網(wǎng)格法思想進(jìn)行闡述，并展示了各自的算法實(shí)現(xiàn)步驟；然后將離散余弦變換法和多重網(wǎng)格算法分別應(yīng)用于最小二乘法中來復(fù)原仿真圖形的三維形貌；通過模擬仿真得出的相位圖和數(shù)據(jù)來比較引入這兩種算法后收斂速度的快慢和標(biāo)準(zhǔn)偏差值的大小，然后