反應(yīng)熱CVD法制備微晶硅鍺薄膜及其太陽電池應(yīng)用研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、為了降低薄膜太陽能電池的發(fā)電成本,進(jìn)一步提高電池轉(zhuǎn)換效率至關(guān)重要,提高電池的光譜響應(yīng)范圍是一個提高效率行之有效的方法。 硅鍺材料具有比硅材料更好的優(yōu)勢,在硅中加入鍺有兩個好處:第一可以增加吸收效率,因為鍺的吸收系數(shù)比硅要高1-2 個數(shù)量級;第二可以擴展吸收光譜的范圍,硅鍺材料的帶隙可以做到1.1eV-0.66eV,幾乎可以吸收全部的太陽光。因此使用硅鍺材料可大大提高太陽能電池的效率。 本論文利用乙硅烷(Si2H6)和Ge

2、F4之間的氧化還原反應(yīng)來降低材料的制備溫度,并采用反應(yīng)熱CVD(RT-CVD)技術(shù),制備了微晶硅鍺薄膜。研究了反應(yīng)氣體濃度、反應(yīng)氣壓、輝光功率和襯底溫度對微晶硅鍺薄膜光電特性和結(jié)構(gòu)特性的影響。結(jié)果表明:在實驗研究的范圍內(nèi),材料隨著反應(yīng)氣體濃度的減小、反應(yīng)氣壓的降低、功率的增加和襯底溫度的升高的暗電導(dǎo)增加而光敏性減小。而材料的晶化率則隨反應(yīng)氣體的濃度減小、反應(yīng)氣壓的減小、功率的增加和襯底溫度的升高而增加。優(yōu)化反應(yīng)條件制備出了晶化率60%、

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