NiCr合金薄膜的制備與特性研究.pdf

1、本論文主要研究了在壓力傳感器中有重要應用前景的NiCr合金薄膜的制備、表征、微觀結構和電學特性。包括如下幾個方面內容：首先，回顧了NiCr合金薄膜的發(fā)展和有關研究結果。然后采用磁控和離子束濺射兩種方法制備出了NiCr合金薄膜，采用離子束方法制備了含氮NiCr合金薄膜，對濺射態(tài)的薄膜樣品進行了熱處理。用EDX、AFM、xRD、Alpha-step IQ臺階儀、標準四探針法(FPP)等測試分析手段對薄膜成分、微觀結構、厚度、電學特性等進行了

2、研究，同時采用懸臂法和自行設計的實驗裝置測量了薄膜的電阻應變系數(GF)、電阻溫度系數(TCR)。通過試驗結果分析得到如下主要結論：采用磁控共濺射方法和離子束濺射方法可有效、準確控制NiCr合金薄膜的厚度：采用磁控共濺射方法，以調節(jié)靶材濺射功率為基礎，考慮薄膜元素的濺射產額可以控制薄膜組分比；不同厚度薄膜樣品的AFM和FPP研究表明薄膜表觀顆粒尺寸隨厚度有增大趨勢，而電阻率隨厚度增大而減?。簾崽幚砗蟮谋∧RD、TCR、電阻特性表明熱處