面向精密控制的伺服驅(qū)動(dòng)器設(shè)計(jì)與試驗(yàn)研究.pdf

1、在現(xiàn)代半導(dǎo)體微細(xì)精密加工及精密測量等設(shè)備中，工作臺(tái)通常采用主從式結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)長短行程與粗微復(fù)合運(yùn)動(dòng)，其長行程運(yùn)動(dòng)由直線電機(jī)實(shí)現(xiàn)，而短行程則由精密平面電機(jī)實(shí)現(xiàn)。精密平面電機(jī)是一種在平面上移動(dòng)的直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)，具有高頻響、高精度特點(diǎn)，其優(yōu)勢在于實(shí)現(xiàn)精密而高速的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，主要應(yīng)用于平面精密定位加工裝置中的微動(dòng)平臺(tái)，因而對(duì)驅(qū)動(dòng)器性能提出嚴(yán)格要求。目前，開發(fā)研制高頻響、高精度的平面電機(jī)驅(qū)動(dòng)器已經(jīng)成為精密加工設(shè)備的研究方向之一。
　　 課題針對(duì)

2、微動(dòng)平臺(tái)精密平面電機(jī)電流驅(qū)動(dòng)特點(diǎn)及其對(duì)功率驅(qū)動(dòng)器高線性度要求，對(duì)比功率放大數(shù)字與模擬兩種實(shí)現(xiàn)方式的特點(diǎn)，采用線性模擬功率放大方式，應(yīng)用大電流功率運(yùn)算放大器OPA541作為功率輸出器件，設(shè)計(jì)功率驅(qū)動(dòng)電路，并通過電流負(fù)反饋及PI校正電路實(shí)現(xiàn)電流穩(wěn)定輸出。論文分析系統(tǒng)模型，建立系統(tǒng)傳遞函數(shù)，從理論上對(duì)電路設(shè)計(jì)的可行性與合理性進(jìn)行分析與仿真，并通過試驗(yàn)板制作及平臺(tái)搭建，設(shè)計(jì)驅(qū)動(dòng)器直流線性度、頻率響應(yīng)、交流線性度等試驗(yàn)，對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行分析，驗(yàn)證設(shè)