高溫低氣壓動態(tài)壓力測試研究方法及實現(xiàn).pdf

1、本文對一種高溫壓力傳感器及測試電路進行了介紹，該壓力傳感器以MEMS硅壓力敏感元件為核心元件，在其外部加特殊隔熱材料和吸熱材料，通過采用一系列的密封等工藝制成。這種傳感器克服了普通壓力傳感器不耐高溫的缺點和特制高溫壓力傳感器價格高的缺點。工藝簡單、制作周期短、耐高溫、特別適合特殊環(huán)境使用。本文的主要內(nèi)容包括： (1)詳細介紹了高溫壓力傳感器整體的設(shè)計思路，對所設(shè)及的理論原理和計算有較為詳細的說明。 (2)對傳感器的熱學計

2、算進行了深入的分析，詳細介紹了計算所依據(jù)的理論和相關(guān)參數(shù)的選取，并且通過熱學仿真和實驗對理論進行了驗證，找到了最合適的方案。 (3)在理論分析的基礎(chǔ)上，充分介紹了傳感器的靜態(tài)和動態(tài)標定的實驗方法及實驗結(jié)果。 (4)為保證傳感器在實際工作環(huán)境中正常工作，對傳感器整體結(jié)構(gòu)做振動試驗。 (5)對傳感器的相應(yīng)測試電路做了完整的介紹。對信號調(diào)理、采集電路和相關(guān)軟件都進行了介紹，并給出了采集結(jié)果。 最后對全文做了總結(jié)