二氧化釩多層膜系設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、能夠根據(jù)環(huán)境溫度的變化而改變太陽(yáng)紅外輻射能量的窗戶稱之為智能窗或者靈巧窗。智能窗能根據(jù)室內(nèi)溫度自動(dòng)調(diào)節(jié)對(duì)太陽(yáng)光能的透過(guò)率。在冬天，當(dāng)室內(nèi)溫度低時(shí)，近紅外光進(jìn)入室內(nèi)，提高室內(nèi)溫度；在夏天室內(nèi)溫度高時(shí)，智能窗自動(dòng)降低近紅外光的透過(guò)率，阻止室內(nèi)溫度升高，起到冬暖夏涼的作用。
　　 在智能窗發(fā)展過(guò)程中，熱致相變型二氧化釩薄膜由于其具有獨(dú)特的變色性能而受到人們?cè)絹?lái)越多的關(guān)注。所以各發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)該領(lǐng)域的研究工作十分重視。
　　 本論文

2、著重地研究了在K9玻璃襯底上制備納米多晶結(jié)構(gòu)氧化釩薄膜的工藝,然后對(duì)薄膜電學(xué)特性和光學(xué)性能進(jìn)行了測(cè)試和分析,并對(duì)其光學(xué)常數(shù)N，K值進(jìn)行計(jì)算。利用得出的N，K值進(jìn)行多層膜系設(shè)計(jì)和制備。
　　 本論文研究重點(diǎn)有三個(gè)部分：
　　 第一，利用實(shí)驗(yàn)測(cè)得的半導(dǎo)體態(tài)和金屬態(tài)透過(guò)率數(shù)據(jù)，選擇適當(dāng)?shù)纳⒛Ｐ?，擬合實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)得到兩態(tài)下的光學(xué)常數(shù)和物理厚度以及模型參量。擬合方式為非線性最小二乘法。模擬結(jié)果為：在半導(dǎo)體態(tài)厚度誤差在1％以內(nèi)，透射率

3、擬合度誤差在2％以內(nèi)，在金屬態(tài)厚度誤差在3％以內(nèi)，透射率擬合誤差在2％以內(nèi)。
　　 第二，利用模擬計(jì)算得到的半導(dǎo)體態(tài)和金屬態(tài)的光學(xué)常數(shù)導(dǎo)入TFCalc薄膜設(shè)計(jì)軟件，根據(jù)課題提出的多層膜對(duì)可見(jiàn)光透過(guò)率和紅外光開(kāi)關(guān)率的設(shè)計(jì)目標(biāo)，通過(guò)TFCalc薄膜設(shè)計(jì)軟件設(shè)計(jì)K9玻璃為襯底的膜層結(jié)構(gòu)，得到了最佳透過(guò)率的各層薄膜的厚度。
　　 第三，通過(guò)離子束反應(yīng)濺射和后退火工藝在玻璃襯底上制備出低溫相變的氧化釩熱敏薄膜。運(yùn)用可見(jiàn)光光譜儀、紅