二氧化釩多層膜系設(shè)計與實現(xiàn).pdf

1、能夠根據(jù)環(huán)境溫度的變化而改變太陽紅外輻射能量的窗戶稱之為智能窗或者靈巧窗。智能窗能根據(jù)室內(nèi)溫度自動調(diào)節(jié)對太陽光能的透過率。在冬天，當(dāng)室內(nèi)溫度低時，近紅外光進入室內(nèi)，提高室內(nèi)溫度；在夏天室內(nèi)溫度高時，智能窗自動降低近紅外光的透過率，阻止室內(nèi)溫度升高，起到冬暖夏涼的作用。
　　 在智能窗發(fā)展過程中，熱致相變型二氧化釩薄膜由于其具有獨特的變色性能而受到人們越來越多的關(guān)注。所以各發(fā)達國家對該領(lǐng)域的研究工作十分重視。
　　 本論文

2、著重地研究了在K9玻璃襯底上制備納米多晶結(jié)構(gòu)氧化釩薄膜的工藝,然后對薄膜電學(xué)特性和光學(xué)性能進行了測試和分析,并對其光學(xué)常數(shù)N，K值進行計算。利用得出的N，K值進行多層膜系設(shè)計和制備。
　　 本論文研究重點有三個部分：
　　 第一，利用實驗測得的半導(dǎo)體態(tài)和金屬態(tài)透過率數(shù)據(jù)，選擇適當(dāng)?shù)纳⒛Ｐ?，擬合實驗數(shù)據(jù)得到兩態(tài)下的光學(xué)常數(shù)和物理厚度以及模型參量。擬合方式為非線性最小二乘法。模擬結(jié)果為：在半導(dǎo)體態(tài)厚度誤差在1％以內(nèi)，透射率

3、擬合度誤差在2％以內(nèi)，在金屬態(tài)厚度誤差在3％以內(nèi)，透射率擬合誤差在2％以內(nèi)。
　　 第二，利用模擬計算得到的半導(dǎo)體態(tài)和金屬態(tài)的光學(xué)常數(shù)導(dǎo)入TFCalc薄膜設(shè)計軟件，根據(jù)課題提出的多層膜對可見光透過率和紅外光開關(guān)率的設(shè)計目標，通過TFCalc薄膜設(shè)計軟件設(shè)計K9玻璃為襯底的膜層結(jié)構(gòu)，得到了最佳透過率的各層薄膜的厚度。
　　 第三，通過離子束反應(yīng)濺射和后退火工藝在玻璃襯底上制備出低溫相變的氧化釩熱敏薄膜。運用可見光光譜儀、紅