數(shù)字IC自動測試機關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、集成電路(Integrated Circuit，IC)測試是集成電路產(chǎn)業(yè)的一個重要組成部分，它貫穿IC設(shè)計、制造、封裝、應(yīng)用的全過程。集成電路晶圓（Wafer Test）測試是集成電路測試的一種重要方法，是保證集成電路性能、質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一，是發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的一門支撐技術(shù)。而IC自動測試設(shè)備(Automatic Test Equipment，ATE)是實現(xiàn)晶圓測試必不可少的工具。
　　論文首先介紹數(shù)字IC自動測試設(shè)備的硬件系統(tǒng)

2、設(shè)計架構(gòu)，分析了板級子系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu)及功能。重點討論了數(shù)字IC自動測試設(shè)備中兩種關(guān)鍵的測試技術(shù)：邏輯功能測試和直流參數(shù)測量，在系統(tǒng)分析其工作原理和測試方法的基礎(chǔ)上，設(shè)計了硬件電路，并通過實驗平臺分別驗證了電路的測試功能。
　　在IC自動測試設(shè)備中，實現(xiàn)直流參數(shù)測量的模塊稱為參數(shù)測量單元（Parametric Measurement Unit，PMU）。PMU的測量方法有兩種，加壓測流和加流測壓。為了驗證所設(shè)計的直流參數(shù)測試單元硬件

3、電路，在論文的第四章介紹了一種構(gòu)建簡單自動測試系統(tǒng)的驗證方法。針對一種DC-DC開關(guān)電源轉(zhuǎn)換芯片，論文首先詳細分析了該芯片各項參數(shù)的測試原理，設(shè)計了以MCU作為控制核心、集成2個PMU和其他一些硬件電路的簡單測試板；然后根據(jù)芯片的測試要求設(shè)計了流程控制程序；最后，通過實驗驗證了測試板的PMU能夠滿足參數(shù)測量精度要求。
　　論文的最后部分，詳細列出了直流參數(shù)測量單元驗證板對19片WAFER的測試統(tǒng)計數(shù)據(jù)。實驗表明，PMU模塊的電壓測