半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)和鐵電薄膜異質(zhì)結(jié)中應(yīng)變分布的幾何相位分析.pdf

1、介紹了幾何相位分析(geometric phase analysis，GPA)的基本算法，并用Digitalmicrogragh中的Script語言實(shí)現(xiàn)了此算法?；诟叻直嫦竦母道锶~變換，選擇傅里葉變換點(diǎn)分辨率以內(nèi)的某強(qiáng)衍射，做反傅里葉變換得到晶格條紋的相對相位分布。選擇非線性相關(guān)的兩個(gè)強(qiáng)衍射，分別得到各自的相位，進(jìn)一步計(jì)算可以得到平面應(yīng)變的分布。
　　 用GPA研究了AlSb/GaAs異質(zhì)外延薄膜的應(yīng)變分布。根據(jù)Bragg濾波

2、條紋像，確認(rèn)了60°和90°失配位錯(cuò)的存在，對位錯(cuò)核心區(qū)域的應(yīng)變分布差異做了分析。發(fā)現(xiàn)由于存在原子臺階，形成90°Lomer全位錯(cuò)的兩60°位錯(cuò)可能釘扎在不同的原子面。在異質(zhì)界面處形成了大量失配位錯(cuò)，有效地釋放了失配應(yīng)力，所以生長在GaAs上的AlSb外延層接近完全馳豫。
　　 用GPA研究了La0.7Sr0.3MnO3(LSMO)/Ba0.7Sr0.3TiO3(BST)/La0.7Sr0.3MnO3/SrTiO3(STO)鐵電

3、薄膜異質(zhì)結(jié)中的刃型失配位錯(cuò)(MDs)和Ba0.7Sr0.3TiO3/La0.7Sr0.3MnO3/LaAlO3(LAO)鐵電薄膜異質(zhì)結(jié)中的刃型穿透位錯(cuò)(TDs)。HRTEM像及其Bragg濾波表明，[101]刃型MDs分解為兩1/2[101]型不全位錯(cuò)。[100]刃型MDs由{101}滑移面上的1/2[101]和1/2[101]兩不全位錯(cuò)滑移相遇反應(yīng)生成，因存在原子臺階，兩不全位錯(cuò)可能被釘扎在不同的原子面。[110]刃型TDs易于分解為