基于白光干涉技術的三維表面微觀形貌測量的研究.pdf

1、I『■‘l國內圖書分類號：TP7522工學碩士學位論文基于白光干涉技術的三維表面微觀形貌測量的研究碩士研究生：張琳導師：劉泊申請學位級別：工學碩士學科、專業(yè)：光學工程所在單位：測控技術與通信工程學院答辯日期：2010年3月授予學位單位：哈爾濱理工大學哈爾濱理工大學碩士學位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：此處所提交的碩士學位論文《基于白光干涉技術的三維表面微觀形貌測量的研究》，是本人在導師指導下，在哈爾濱理工大學攻讀碩士學位期間獨立進行研究工

2、作所取得的成果。據(jù)本人所知，論文中除已注明部分外不包含他人已發(fā)表或撰寫過的研究成果。對本文研究工作做出貢獻的個人和集體，均已在文中以明確方式注明。本聲明的法律結果將完全由本人承擔。作者簽名：日期：年月日哈爾濱理工大學碩士學位論文使用授權書《基于白光干涉技術的三維表面微觀形貌測量的研究》系本人在哈爾濱理工大學攻讀碩士學位期間在導師指導下完成的碩士學位論文。本論文的研究成果歸哈爾濱理工大學所有，本論文的研究內容不得以其它單位的名義發(fā)表。本人