基于白光干涉技術(shù)的表面粗糙度測(cè)量.pdf

1、三維表面料糙度測(cè)量是從表面輪廓理論發(fā)展而來(lái)的一種測(cè)量方法,在航天、軍工以及重大科研項(xiàng)目中都有廣泛應(yīng)用。而相移干涉術(shù)是光學(xué)測(cè)量理論的一種典型技術(shù),它相比其他傳統(tǒng)的測(cè)量方法而言,系統(tǒng)相對(duì)簡(jiǎn)單、調(diào)試相對(duì)容易、在線測(cè)量速度較快、測(cè)量精度更高,而且可以實(shí)現(xiàn)無(wú)值守測(cè)量。本文采用白光干涉相移理論建立測(cè)量系統(tǒng),整個(gè)測(cè)量過(guò)程包括相移干涉、相位提取以及實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理等。
　　 本文首先說(shuō)明了三維表面粗糙度測(cè)量技術(shù)研究的意義,介紹了現(xiàn)今三維粗糙度及表面

2、輪廓測(cè)量的現(xiàn)狀和發(fā)展,然后闡述及比較了表面三維粗糙度測(cè)量的各種方法。其中,主要提到了兩種應(yīng)用較廣泛的相位算法——相位提取和相位解包裹。作為一種精密測(cè)量手段,相移技術(shù)的最大缺陷就是它對(duì)各種誤差源的敏感性,包括相移機(jī)構(gòu)必然存在的相移誤差、光場(chǎng)當(dāng)中非正弦性原理誤差、系統(tǒng)探測(cè)器的自有誤差等等,本文也對(duì)其分別進(jìn)行了分析,探討了對(duì)誤差的補(bǔ)償算法。依據(jù)提取出來(lái)的相位信息,計(jì)算出圖像各點(diǎn)對(duì)應(yīng)的高度值。然后,利用高斯評(píng)定理論建立表面輪廓的中線信息,分離出