一種新穎納米碳粒的RF-PCVD法制備及其微結構表征.pdf

1、碳元素具有多種多樣的同素異形體，如無定形碳、石墨以及卡賓(carbyne)碳；近年來也制備及發(fā)現(xiàn)了許多不同形式的碳，如類金剛石碳、玻璃碳、碳纖維、富勒烯和碳納米管等。納米碳粒具有獨特的球狀同心殼層結構，石墨碎片發(fā)生了明顯的卷曲，是類富勒烯家族的一個重要的成員，是當今納米材料和炭材料研究領域的前沿和熱點課題。 截至目前，對于納米碳材料的研究主要集中于諸如富勒烯，納米碳管等微結構中碳原子呈高度有序化的炭材料，等離子體氣相沉積法制備炭

2、材料的研究也是如此。但從理論上講，在無序的無定形碳黑及高度有序的富勒烯結構之間，碳原子還可能存在逐漸有序化的過渡態(tài)結構，對于這種過渡態(tài)微結構的納米碳材料，鮮有文獻報道，尚留有很大的研究空間。 本文探討了高頻等離子體化學氣相沉積法制備納米碳粒的工藝要求，提出了一些控制微粒粒徑和晶型的方法，并以現(xiàn)有的設備為基礎，在C2H2和C2H2+BCl3體系中，通過控制工作氣體Ar的流量制備出了不同粒徑的納米碳粒。首先進行了熱力學計算分析，反應