一種新穎納米碳粒的RF-PCVD法制備及其微結(jié)構(gòu)表征.pdf

1、碳元素具有多種多樣的同素異形體，如無定形碳、石墨以及卡賓(carbyne)碳；近年來也制備及發(fā)現(xiàn)了許多不同形式的碳，如類金剛石碳、玻璃碳、碳纖維、富勒烯和碳納米管等。納米碳粒具有獨(dú)特的球狀同心殼層結(jié)構(gòu)，石墨碎片發(fā)生了明顯的卷曲，是類富勒烯家族的一個(gè)重要的成員，是當(dāng)今納米材料和炭材料研究領(lǐng)域的前沿和熱點(diǎn)課題。 截至目前，對于納米碳材料的研究主要集中于諸如富勒烯，納米碳管等微結(jié)構(gòu)中碳原子呈高度有序化的炭材料，等離子體氣相沉積法制備炭

2、材料的研究也是如此。但從理論上講，在無序的無定形碳黑及高度有序的富勒烯結(jié)構(gòu)之間，碳原子還可能存在逐漸有序化的過渡態(tài)結(jié)構(gòu)，對于這種過渡態(tài)微結(jié)構(gòu)的納米碳材料，鮮有文獻(xiàn)報(bào)道，尚留有很大的研究空間。 本文探討了高頻等離子體化學(xué)氣相沉積法制備納米碳粒的工藝要求，提出了一些控制微粒粒徑和晶型的方法，并以現(xiàn)有的設(shè)備為基礎(chǔ)，在C2H2和C2H2+BCl3體系中，通過控制工作氣體Ar的流量制備出了不同粒徑的納米碳粒。首先進(jìn)行了熱力學(xué)計(jì)算分析，反應(yīng)