版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、能帶工程的開展與取得的成果使得對異質(zhì)結(jié)的關(guān)注與研究越來越廣泛。兩種半導(dǎo)體材料禁帶寬度不同以及界面態(tài)等因素的影響,使得異質(zhì)結(jié)具有許多不同于同質(zhì)結(jié)新的特性,實現(xiàn)了同質(zhì)結(jié)不能實現(xiàn)的功能。近年來對納米薄膜材料的研究(如ZnO、SiC等)又為我們在異質(zhì)結(jié)的制作方面提供了新的思路。隨著氣相淀積技術(shù)的日益成熟,低壓化學氣相淀積(LPCVD)、等離子體增強化學氣相淀積(PECVD)等淀積方法歷經(jīng)多年完善后,已經(jīng)可以制作出納米尺度的薄膜材料。 本
2、文在采用LPCVD方法淀積制得納米硅薄膜的基礎(chǔ)上,通過CMOS平面工藝將納米硅薄膜與單晶硅襯底制成平面型納米硅/單晶硅同型異質(zhì)結(jié)二極管。對制得的納米硅薄膜采用掃描電子顯微鏡進行形貌分析,同時對研制的納米硅/單晶硅同型異質(zhì)結(jié)二極管電流-電壓(I-V)特性,電容-電壓(C-V)特性及溫度特性進行了實驗測試。實驗結(jié)果表明,納米硅/單晶硅同型異質(zhì)結(jié)二極管在與襯底之間形成pn結(jié)結(jié)構(gòu)時呈現(xiàn)良好的整流特性;反向漏電流在納安級別內(nèi);常溫下其開啟電壓約為
3、0.37V;溫度特性良好,溫度每增加10℃開啟電壓只減小0.025V。 本文闡述的納米硅/單晶硅異質(zhì)結(jié)二極管的制作方法簡單,與CMOS工藝相兼容,便于與其它元器件(如異質(zhì)結(jié)晶體管、壓力傳感器等)集成。制作納米硅薄膜的LPCVD工藝發(fā)展成熟且已被廣泛應(yīng)用。由于納米硅/單晶硅異質(zhì)結(jié)二極管具有良好的電學特性、溫度特性、光、壓敏等特性,將在半導(dǎo)體器件、光電子器件、集成電路等領(lǐng)域內(nèi)廣泛發(fā)揮作用。本文研究結(jié)果表明,納米硅/單晶硅異質(zhì)結(jié)二極管
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 氫化納米硅-單晶硅異質(zhì)結(jié)二極管的能帶結(jié)構(gòu)和輸運特性研究.pdf
- 納米硅-單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs壓-磁多功能傳感器研究.pdf
- 納米硅發(fā)光二極管的研究.pdf
- 單晶硅納米梁的動態(tài)特性研究.pdf
- 硅微波PIN二極管研究.pdf
- InGaZnO-Si異質(zhì)結(jié)光電二極管制備、建模及應(yīng)用.pdf
- 超結(jié)硅鍺功率開關(guān)二極管的研究.pdf
- 單晶硅納米加工仿真及實驗研究.pdf
- MEMS單晶硅薄膜疲勞特性研究.pdf
- 硅基恒流二極管的設(shè)計.pdf
- 納米硅薄膜晶體管制作及特性研究.pdf
- 硅納米線可控摻雜及其肖特基二極管光電探測的研究.pdf
- 石墨烯硅基光電二極管的研究.pdf
- 單晶硅相關(guān)知識
- 擴硼硅pn結(jié)二極管室溫近紅外電致發(fā)光的研究.pdf
- 單晶硅生產(chǎn)工藝
- 基于黑硅的光電二極管的研究.pdf
- 單晶硅納米磨損的濕度-速度效應(yīng)及防護研究.pdf
- 單晶硅機械與化學納米加工機理及實驗研究.pdf
- 硫化鎘-硅多界面納米異質(zhì)結(jié)光電特性研究.pdf
評論
0/150
提交評論