UVW工作平臺及其在精密對位系統(tǒng)中的應(yīng)用.pdf

1、基于機(jī)器視覺的精密對位技術(shù)是當(dāng)今研究的熱點(diǎn)技術(shù)之一，它集成了圖像處理技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、運(yùn)動控制技術(shù)和軟件技術(shù)，具有很高的理論研究意義和實(shí)際應(yīng)用價值。本文設(shè)計(jì)了一種UVW工作平臺機(jī)構(gòu)——3-PRP平面并聯(lián)機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)能實(shí)現(xiàn)平面內(nèi)X、Y、θ三軸運(yùn)動，且具有很高的分辨率，是一種新型的用于精密對位系統(tǒng)中的工作平臺機(jī)構(gòu)。它的結(jié)構(gòu)緊湊、運(yùn)動靈活、控制方便、定位精度高，在平板顯示行業(yè)等眾多制造設(shè)備中得到了廣泛的應(yīng)用。 論文首先比較了三種常用

2、機(jī)械平臺，提出了共平面的設(shè)計(jì)思想，對UVW精密工作平臺進(jìn)行了設(shè)計(jì)方案的詳細(xì)討論，設(shè)計(jì)了平臺機(jī)械結(jié)構(gòu)及PRP關(guān)節(jié)。其次，文章分析了機(jī)構(gòu)的自由度并建立了機(jī)構(gòu)的正反解模型。利用應(yīng)用軟件VB對機(jī)構(gòu)的正、反解進(jìn)行了計(jì)算機(jī)仿真。進(jìn)一步分析了機(jī)構(gòu)的工作空間，提出了機(jī)構(gòu)冗余驅(qū)動的思想。 在機(jī)構(gòu)的誤差分析上，給出了各誤差因素的傳遞規(guī)律與表達(dá)方式。利用全微分理論建立了該并聯(lián)機(jī)構(gòu)精度分析的數(shù)學(xué)模型，給出了誤差分析的一個算例，表明機(jī)構(gòu)可達(dá)到2μn的定位