射頻放電氧等離子體特性研究.pdf

1、氧碘激光器因具有高儲能，高效率，大氣傳輸性能好，光纖傳輸損耗低等諸多優(yōu)點(diǎn)，在軍事、工業(yè)、醫(yī)療等許多領(lǐng)域都有著很好的發(fā)展和應(yīng)用前景。目前比較成熟的化學(xué)氧碘激光器是采用化學(xué)方法產(chǎn)生單重態(tài)氧，這種方法存在諸多弊端，發(fā)展空間有限。近年來，以氣體放電的方式產(chǎn)生單重態(tài)氧的新型單重態(tài)氧發(fā)生器逐漸成為研究的熱點(diǎn)。本文對適合于射頻激勵單重態(tài)氧發(fā)生器的氧等離子體的特性進(jìn)行了理論和實(shí)驗(yàn)上的研究。
　　 在理論上，本文對射頻放電氧等離子體進(jìn)行了數(shù)值研究

2、，采用Frost和Phelps的方法求解Boltzmann方程，得到穩(wěn)定放電時的電子能量分布，并探討了E/N值及射頻頻率對電子能量分布的影響。對于四種不同的氣體組成——O2:Ar:He：1:0:2，1:2:4，1:1:8，1:5:30進(jìn)行了進(jìn)一步研究，計算出電子漂移速度、擴(kuò)散系數(shù)、電離系數(shù)和附著系數(shù)，并給出了它們隨E/N值變化的曲線，得出了自持放電時的E/N值范圍。另外，給出了生成單重態(tài)氧過程的注入能量占總的注入能量的比例隨E/N變化的