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1、隨著科技的進步和高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,脆硬材料的應(yīng)用日益廣泛,脆硬材料的精密、超精密加工技術(shù)的研究也越來越受到重視.電火花整形是應(yīng)用電火花加工原理,利用工件和工具電極間脈沖性的火花放電,靠局部瞬時高溫把金屬材料蝕除下來,從而通過工件和工具電極作相對成形運動達到整形的目的.ELID(Electrolytic In-process Dressing)磨削技術(shù)是在電化學(xué)加工、電解磨削原理基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一項磨削新技術(shù),是一種新型的在線連續(xù)修
2、整磨削的方法.研究表明,利用電火花精密整形后的高精度金剛石微粉砂輪作為工具,采用ELID磨削,可以實現(xiàn)脆硬材料的超精密鏡面加工. 本文通過對電火花加工技術(shù)、脆硬材料的磨削技術(shù)、金剛石砂輪的修整技術(shù)、脆硬材料的磨削去除機理和ELID磨削機理等相關(guān)技術(shù)資料的分析,結(jié)合最新的ELID磨削和電火花整形的研究成果,進行了金屬基金剛石微粉砂輪電火花精密整形與氮化硅陶瓷的ELID精密磨削試驗研究.試驗采用了先進的納米級微進給工作臺和NUDAQ
3、-2010數(shù)據(jù)采集卡,引入了基于LABVIEw編程的實時監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng).經(jīng)過反復(fù)調(diào)整試驗參數(shù),不斷優(yōu)化試驗流程,并在對試驗現(xiàn)象和試驗數(shù)據(jù)的研究處理的基礎(chǔ)上,本論文總結(jié)了金屬基金剛石砂輪電火花整形規(guī)律和氮化硅陶瓷ELID磨削規(guī)律,為今后在電火花精密整型技術(shù)和ELID精密磨削技術(shù)的研究方面,及二者結(jié)合實現(xiàn)超精密加工的應(yīng)用方面提供了一定的借鑒作用.另外,通過改進試驗手段和方法,在試驗結(jié)果上,電火花精整后的金剛石砂輪的圓度誤差達到了0.8μ
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