用于太陽能電池生產(chǎn)的微控?cái)U(kuò)散-氧化系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf

1、太陽能是人類取之不盡用之不竭的可再生的清潔能源，不產(chǎn)生任何的環(huán)境污染，隨著世界范圍內(nèi)的能源短缺和人們環(huán)保意識(shí)的增強(qiáng)，太陽能被認(rèn)為是21世紀(jì)最重要的新能源。為此，人們開始研制和開發(fā)太陽能電池，近幾年國(guó)內(nèi)太陽能電池產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展，建立及擴(kuò)建的太陽能電池生產(chǎn)線已經(jīng)達(dá)到幾十條，太陽能電池設(shè)備的需求量也很大，若主要依靠進(jìn)口，不僅費(fèi)用高，而且相關(guān)技術(shù)受制于人，因此自主研制開發(fā)用于太陽能電池生產(chǎn)線上的關(guān)鍵設(shè)備至關(guān)重要。
　　 本論文首先闡述了光

2、伏效應(yīng)和擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)的工藝原理，然后給出了擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)的技術(shù)指標(biāo)和結(jié)構(gòu)組成。本系統(tǒng)主要用于太陽能生產(chǎn)線。系統(tǒng)整機(jī)由四大部分構(gòu)成：擴(kuò)散爐機(jī)箱、凈化工作臺(tái)、氣源柜、控制系統(tǒng)。其中：擴(kuò)散爐機(jī)箱包括機(jī)架、熱交換器、加熱爐體、功率調(diào)節(jié)部件、排毒箱；凈化工作臺(tái)包括機(jī)架、送料裝置、初高效過濾器、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制器、控溫小盒；氣源柜包括機(jī)架、氣源頭和氣路小盒。
　　 本論文詳細(xì)地介紹了加熱爐體、送料裝置、控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)過程及工作原理。其中：