微細陣列電極陣列孔的組合電加工關鍵技術研究.pdf

1、微細電加工技術因其非接觸加工、材料適應性廣、沒有宏觀作用力等優(yōu)點，在微小零件的加工中具有獨特的優(yōu)勢。微細電火花加工、微細電火花線切割加工、微細電解加工以及超聲復合微細加工技術等的研究均已取得大量的研究成果，但其對微細陣列軸、孔的加工研究則處于起步階段，尤其是各種加工方法之間缺乏有效的組合與集成。因此適時開展針對微細陣列結構的組合電加工技術研究，充分發(fā)揮各自的技術優(yōu)勢，形成高效快捷、可操作性強的微細陣列電極陣列孔的組合加工技術具有十分重要

2、的理論與現實意義。
　　本文首先研究了微細電火花加工的基本原理，分析了放電產生的條件，理論上解釋了放電點不能及時轉移而形成電弧放電，損害工件表面質量的原因。通過研究微細電火花加工的反拷原理，提出了微細陣列電極的電火花超聲復合反拷加工方法，并規(guī)劃了加工工藝過程。從理論上詳細分析了電火花反拷加工分層去除不均勻性的產生因素。為適應大規(guī)模陣列電極的加工要求，研究了微細陣列電極的線切割工藝方法?；陔娊饧庸ぶ嘘帢O無損耗的優(yōu)點，研究了微細陣列

3、孔的電解加工方法。進而提出了微細陣列電極陣列孔的電火花/電解組合加工工藝。
　　從理論上分析了超聲空化發(fā)生的條件，探討了自由氣泡由于壁面液體壓力滿足空化初生條件而發(fā)生爆炸性成長的過程，計算了空化泡破裂時產生的巨大作用力，說明了超聲空化的沖蝕作用。系統(tǒng)地研究了超聲振動在微細電火花超聲復合加工中的作用機理，說明了在微細陣列電極、陣列孔的電火花加工中復合超聲頻振動有利于提高加工穩(wěn)定性和加工效率以及改善加工表面質量的原因。
　　研究

4、了微細電火花加工用微能脈沖電源的設計與實現，分析了微能脈沖電源的實現途徑，對高頻窄脈寬脈沖電源的設計實現進行了較為深入的研究，設計了分頻電路，實現了高品質納秒級脈沖電源。同時在微細電化學加工中提出采用雙路場效應管對脈沖電源進行改進，消除了脈間維持電壓，使輸出電流更能符合微細電化學加工的需要，改善了加工能力和表面質量。研究了超聲波發(fā)生器的工作原理，設計了超聲波放大器驅動電路，通過對換能器參數的設計計算，實現了超聲換能器的串聯(lián)調諧。針對微細

5、電火花加工中單個脈沖放電能量小，放電狀態(tài)復雜且變化快等特點，設計間隙電壓與充電電流雙參數檢測法，通過電壓信號和電流信號互補消除狀態(tài)檢測的不確定性，確定采樣點的放電狀態(tài)，提高了間隙狀態(tài)的判斷準確性。設計了放電狀態(tài)檢測卡，在硬件上實現了間隙電壓與充電電流雙參數檢測法。
　　研究了RC脈沖放電的特點，根據充電常數，劃分了高中低三個檔次的門檻電壓和電流值，通過對間隙電壓和充電電流值的雙參數檢測來判斷極間放電狀態(tài)，避免了僅憑間隙電壓值判斷的

6、片面性，提高極間放電狀態(tài)判斷的準確性。根據微細電火花脈沖放電頻率遠高于運動機構響應頻率的特點，以各種相對放電率的統(tǒng)計規(guī)律作為控制系統(tǒng)的輸入，將模糊控制技術應用到微細電火花加工中，根據相對放電率與正常放電率的誤差和誤差變化，結合微細電火花人工操作控制經驗設計了模糊控制規(guī)則，建立了模糊控制查詢表，在控制系統(tǒng)中實現了模糊控制算法實驗。結果證明，當處于低電壓和小電流的微細電火花加工時，采用雙參數檢測模糊控制后，有效放電增多，脈沖利用率提高，從而

7、提高了加工效率，同時減小了電極的相對損耗率。
　　在電火花反拷加工中，采用正交試驗方法分析了加工電壓、回路電容、陣列電極間距和振動振幅等工藝參數對陣列電極制作的加工效率的影響規(guī)律。在理論分析和試驗研究的基礎上，加工出了5×5的直徑約為Φ30μm的陣列電極，并用此陣列電極加工出了5×5直徑約為Φ40μm陣列孔。通過對陣列電極加工陣列孔加工效率和單電極加工陣列孔的加工效率的比較，得出了用陣列電極加工比用單電極加工具有更高的加工效率的結

8、論。對微細陣列電極陣列孔的電火花/電解組合加工工藝進行了分析和研究。用微細電火花線切割加工機床加工出10×10系列方形陣列電極，單電極邊長在30μm以下，中心間距為70μm，長0.6mm，表面質量較好。通過微細陣列電極電解加工微細陣列孔，在加工過程中采用適度循環(huán)流動工作液方法很好的解決了排屑和加工區(qū)溫度過高等等難題，獲得了質量較好的、大小約為100μm的陣列孔。從而實現了大規(guī)模微細陣列電極陣列孔的電火花/電解組合加工，為大規(guī)模微細陣列電