電容式壓力傳感器檢測(cè)電路設(shè)計(jì).pdf

1、傳感器是獲取信息的主要元件。多層膜結(jié)構(gòu)的電容式壓力傳感器具有高靈敏度,良好的穩(wěn)定性,以及低溫度系數(shù)等優(yōu)點(diǎn),近年來(lái)得到了極大關(guān)注與重視,而檢測(cè)壓力信息的電路系統(tǒng)則是發(fā)揮其優(yōu)勢(shì)的重要技術(shù)基礎(chǔ)與關(guān)鍵。
　　 本論文在對(duì)多層膜電容式壓力傳感器結(jié)構(gòu)模型、原理等研究分析基礎(chǔ)上,基于靈敏度等關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)完成了其檢測(cè)電路的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和模塊電路設(shè)計(jì)。檢測(cè)電路的基本設(shè)計(jì)原理是將傳感器的弱電容信號(hào)轉(zhuǎn)化為電壓信號(hào),所設(shè)計(jì)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)主要包括振蕩器、限幅

2、器、鑒頻器和放大器等電路。其中,振蕩器的任務(wù)是把電容的變化體現(xiàn)為電壓的改變,根據(jù)幾種電路的優(yōu)缺點(diǎn)比較,最終采用調(diào)頻電路進(jìn)行檢測(cè)電路的設(shè)計(jì)。限幅器用來(lái)限制幅值的變化,并使幅值成為定值,并使輸出量的變化只有△f,以它作為判斷被測(cè)量的大小。鑒頻器則是用來(lái)使整個(gè)系統(tǒng)線性化,并將頻率信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓輸出至放大器,最后再加入放大器將電壓放大。
　　 為驗(yàn)證所設(shè)計(jì)檢測(cè)電路的可行性,論文分別對(duì)各模塊電路和系統(tǒng)電路進(jìn)行了仿真分析。仿真結(jié)果表明,各模