基于圖像處理技術(shù)的TFT-LCD微米級缺陷檢測方法研究.pdf

1、與傳統(tǒng)的陰極射線管(CRT,Cathode Ray Tube)顯示器相比，薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD，Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)具有高分辨率、高亮度、無幾何變形、體積小、重量輕和功耗低等特點(diǎn)，作為新一代平板顯示器，它具有強(qiáng)大的競爭優(yōu)勢。價(jià)格是影響LCD市場的主要因素之一，為了降低LCD的生產(chǎn)成本，提高LCD的成品率，必須開發(fā)出實(shí)時(shí)高效的缺陷檢測技術(shù)。薄膜晶體管液晶顯

2、示器的生產(chǎn)過程包括近百道工序，盡管TFT-LCD顯示屏的大部分生產(chǎn)工序都是在無塵室完成的，還是不可避免地出現(xiàn)一些缺陷。目前絕大多數(shù)的TFT-LCD缺陷檢測是針對肉眼看得到的大缺陷，但是對于遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于一個(gè)顯示像素的小缺陷，這些方法是無法檢測的。因此，對微米級缺陷檢測算法的研究具有重要的意義。
　　針對現(xiàn)有薄膜晶體管液晶顯示器自動(dòng)缺陷檢測算法只能檢測肉眼可見的缺陷，不能檢測肉眼不可見的微米級缺陷的問題，本文提出一種基于圖像處理的TFT-

3、LCD微米級缺陷檢測算法。為了實(shí)現(xiàn)采集所得的TFT-LCD玻璃基板圖像與模板圖像的快速精確對準(zhǔn)，本文提出一種基于局部圖像模板匹配的圖像配準(zhǔn)方法，在亞像素級別上實(shí)現(xiàn)采集的原始圖像與模板圖像之間的圖像配準(zhǔn)。在此基礎(chǔ)上，提出基于差影法和亞像素級圖像配準(zhǔn)的TFT-LCD微米級缺陷自動(dòng)檢測算法，實(shí)現(xiàn)TFT-LCD微米級缺陷的快速自動(dòng)檢測。
　　將該方法應(yīng)用于實(shí)際TFT-LCD玻璃基板缺陷檢測設(shè)備上，檢測結(jié)果表明，本文提出的基于圖像處理的TF