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文檔簡介
1、隨著VLSI技術的發(fā)展,電遷移已成為集成電路主要的失效原因之一,由其引起的可靠性問題也被逐漸關注。為此本文提出了一種能與任何器件集成在一起,伴隨器件同時進行電遷移老化,并在退化達到指定的界限時能發(fā)出失效信號的測試結構,此結構利用芯片中的片上可靠性監(jiān)視器,從而減小了對可靠性建摸的依賴,而且它只占用很小的芯片面積,便于集成。在進行設計時,只需要仿真每個電路和測試結構的功能,可以避開耗時且麻煩的可靠性仿真。這種內嵌式可靠性監(jiān)測器可以用來預測器
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