高功率CO-,2-激光器功率實(shí)時(shí)檢測(cè)與控制.pdf

1、激光功率是高功率激光器中最主要的參量，激光輸出功率嚴(yán)重地影響著激光加工的質(zhì)量。在激光加工過程中, 如果能實(shí)時(shí)監(jiān)控激光功率的變化,提高激光功率穩(wěn)定性和控制精度, 對(duì)于提高產(chǎn)品合格率有著極其重要的作用。 為此，設(shè)計(jì)了一種新穎的高功率激光實(shí)時(shí)檢測(cè)與控制裝置。該系統(tǒng)由兩部分組成:一部分是激光功率采樣單元，這一部分主要由介質(zhì)全反鏡、積分球、探測(cè)器及信號(hào)處理電路組成。另一部分是光功率反饋控制單元,主要由單片機(jī)系統(tǒng)和PID控制器組成。

2、 采樣單元利用尾鏡即全反鏡的透射光進(jìn)行激光采樣。通常快響應(yīng)的光電器件如光電型和熱釋電探測(cè)器的損傷閾值為單位面積毫瓦量級(jí)，遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于待測(cè)值，為保護(hù)探測(cè)器不被損傷，本設(shè)計(jì)中利用積分球首先對(duì)光強(qiáng)進(jìn)行衰減，然后再對(duì)光參量進(jìn)行精確測(cè)試。當(dāng)被測(cè)激光通過積分球入口進(jìn)入經(jīng)漫反射處理的球內(nèi)后，在球內(nèi)壁多次漫反射從而在球內(nèi)表面上形成均勻光強(qiáng)分布，且與入射光成線性關(guān)系，在積分球出口處放置光電探測(cè)器測(cè)量此處的光功率，即可得到輸出激光功率值,從而獲得采樣信號(hào)。光