高功率CO-,2-激光器功率實時檢測與控制.pdf

1、激光功率是高功率激光器中最主要的參量，激光輸出功率嚴重地影響著激光加工的質(zhì)量。在激光加工過程中, 如果能實時監(jiān)控激光功率的變化,提高激光功率穩(wěn)定性和控制精度, 對于提高產(chǎn)品合格率有著極其重要的作用。 為此，設計了一種新穎的高功率激光實時檢測與控制裝置。該系統(tǒng)由兩部分組成:一部分是激光功率采樣單元，這一部分主要由介質(zhì)全反鏡、積分球、探測器及信號處理電路組成。另一部分是光功率反饋控制單元,主要由單片機系統(tǒng)和PID控制器組成。

2、 采樣單元利用尾鏡即全反鏡的透射光進行激光采樣。通?？祉憫墓怆娖骷绻怆娦秃蜔後岆娞綔y器的損傷閾值為單位面積毫瓦量級，遠遠低于待測值，為保護探測器不被損傷，本設計中利用積分球首先對光強進行衰減，然后再對光參量進行精確測試。當被測激光通過積分球入口進入經(jīng)漫反射處理的球內(nèi)后，在球內(nèi)壁多次漫反射從而在球內(nèi)表面上形成均勻光強分布，且與入射光成線性關系，在積分球出口處放置光電探測器測量此處的光功率，即可得到輸出激光功率值,從而獲得采樣信號。光