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1、分類號Y908730密級學校代碼!Q5地攤|【亡工繁火港’碩士學位論文題目墨鎏量王洼洼壟納苤盡匿型量生盥厘崩英文題目!迪』!i二!型!!!韭!墜!吐!!壘!!墮!!Y!毆!i!dnNanometerScaleMeasurement研究生姓名c簽名,三斌指導教師姓名(簽名)2紐聾職稱熬援』副塾攫申請學位學科名稱塑』這讓量基盔壁邋墨學科代碼Q8Q4Q2論文答辯日期2QQ生旦28日學f節(jié)授予日期學院負責人c簽名,—_主蘭堂毒三墨;二—一評閱人
2、姓名逝迭超:評閱人姓名他星丕——知咕年6月5日湖北工業(yè)大學碩士學位論文AbstractWith廿ledevelopmemofnanotecllllology,nallome廿ologyisanemergemtaskfortheindustryandscienceresearchTothepresentmaIlymeasurememmemodshavebeendevised,butseldomofthemcaIlsatisfythereq
3、uirementofmasspmduction,hi曲一speedmeasurementandhighratioofperf0HIl柚ceaIldprice0nt11isproblem,thisstudywastomakethemulti、vaveleng山sinterfbmmetryresearchesonnanometer。scalemeasurememWhenthespacingisnanometerscalebetweentwD
4、obiects,oneofwhichistransparent,aminairfilm、vitllopticcharacteristicscanbefoⅡned、撕t11theairstufredbetweenthetwoaniclesInmulti—wavelen礎sinterferometrv’incidentravscombinedwithseveralwavelengmsdirectt11rou曲mefilm,andtherec
5、ombmationoftheraysrenectedby廿leuppera11dlowersurfkeoftbethinfilmresultsinthegenerationof灑terfbrence銜ngesIntensitvrenectivit、,ofmethinfilm,theratiooftherenectionrayintensitiestot上1eincidentrayintcnsities,isdetenninedbythe
6、wavelengthofincidentrayandtheheightofthethin6lm,whileo出erparameterske印invariableIndividualrenectivitvofacertaintllinfilmaccordingtodi仃色rentwavelengmscanbemeasuredwithtllehelpofselectionbytllreedi療ercIltcoIornhersToestabl
7、ishequationsetbasedont11econ℃lationofthefilmheight,wavelengthsoftheincidentraysa11dcorrespondingintensitvrenectivitiesoft11efilmThefilmheimcanbecalculatedout丘omtheequationset,ThemainfactorswhichinnuencethercsultsinvOlveS
8、NRofmechannel,phaseo凰etonrenection,bandwidthoft11efilters,vibmtionandsoonWithcorrespondingeⅡorcompensationtbemeasurememprecisecanbeimprovedThemuhi—wavelengthsinterferometrycanaVoidⅡ1eerrorbmughtonbyphaseshifcerinPSl0hase
9、—shiftinterfbrom哪)anditalsocancoⅡectmeasurementrcsultsofdi丘brentwavelengthraysmutuaUvteduceenDrThis咖dyprcseIltcdameasllrementsystemtomeasurcthenyingheightofharddiskmagnetichead111esystemincludesa11opticsubsystem,Electro一
10、0pticconvertersubsystem,Digital—AnalogConVenersubsystemandsoftwarepm伊帥mingAnexperimemwittl血ismeasurcmentsystemwaScarriedout,andthcresultsdisplayedthatmeaccumcvofmeasurementwaslowerthan0,2m,soitfmlvdemonstratesthecorrectn
11、essofsvstemandtheoreticalbasisThemuhi一Ⅵravelengmsimerfcromenvcharacterizesrealtimearldumouchedmeasurementfornanometerscalespacingwiththeexcellenceofhighprecision,simpleinstall“ionandeasyuseKeywords:Nano—scalemeasurement,
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