版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、湖北大學(xué)碩士學(xué)位論文鈦酸鍶鋇薄膜熱釋電非致冷紅外探測器陣列的制備工藝研究姓名:胡蘭申請學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師:章天金20080501AbstractItwassystematicallyinvestigatedthatthes仃ucturedesignmaskfigurationandfabricationprocessingofbariumstrontiumtitanate((BalxSr)Ti03,BST)
2、ferroelectricthinfilmforpyroelectricuncooledinfrareddetectorarraysapplicationDielectricandferroelectricpropertiesoftheunitofdetectorarraysweremeasuredbyusingAgilent4294AandPrecisionmaterialsAnalyzeThemainworksarelistedas
3、follows:(1)ThemaskfigurationsofthedetectorarraysweredesignedanddrawnbyusingLeditsonwareTheunitareasforlx8andlxl6arrayswere300x300pm2Theunitareasfor8x8detectorarraywere600x6001anzBottomelectrodesfordetectorarrayswereserie
4、s,topelectrodesfordetectorarrayswereindependent(2)BasedonthemaskfigurationdesignofBSTpyroelectricinfraredsensors,themicro—patternphotolithographyandetchingofelectrodesandBSTthinfilmshadbeeninvestigatedThemicro—patternofP
5、telectrodesWaspreparedusingliftofftechniqueFirstlyphotoresistthinfilmsweredepositedonsiliconsubstratebyspin—coatingandthenthephotolithographypatternWasobtainedbyUVexposuresystem,afterthatPtelectrodeswerefabricatedbyradio
6、frequencymagnetronsputteringsystemonphotoresis,finallyPtelectrodeswereobtainedbyremovingexcessphotoresistandPtTheopticalmicrographyresultsshowedthatthesurfaceofPtelectrodesWassmoothandtheedgesofelectrodesweresharp,cleara
7、ndcontinuousThemicro—patternofBSTthinfilmswasfabricatedbyetchingFirstlytheBSTthinfilmswerepreparedbymeansofamodifiedsol—geltechniqueonPtelectrodes,andthenthemicro—pattemofBSTthinfilmsWasfabricatedbyconventionalphotolitho
8、graphy,finallythefastandsuccessfuletchingshavebeenactualizedwithnewetchantsTheresultsshowedthattheedgesofBSTthinfilmswereclearandthesurfaceWassmooth,withoutsidewallresidues(3)Dielectricandferroelectricpropertiesoftheunit
9、ofBST20thinfilmpyroelectricuncooledinfrareddetectorarraysweremeasuredrehenappliedvoltageWas25V,remanentpolarizationoftheunitofdetectorarraysWas107C。cm2,coercivefieldWas65kV。鋤~Thedielectricconstantanddielectriclossoftheun
10、itofdetectorarrayswere322and004at100kHz,respectivelyResistivityWas2x1010QGTnTheBSTthinfilmhadgooddielectricandferroelectricpropertiesandcouldbeusedassensormaterialsforpyroelectricuncooledinfrareddetectorarraysapplication
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 鈦酸鍶鋇的熱釋電特性與紅外探測器的研制.pdf
- 鈦酸鍶鋇陶瓷熱釋電性能研究及紅外探測器驅(qū)動(dòng)電路的設(shè)計(jì).pdf
- 鈦酸鍶鋇熱釋電陶瓷的制備工藝及其熱釋電性能研究.pdf
- 紅外探測器用高性能鈦酸鍶鋇薄膜的制備與表征.pdf
- 氧化釩薄膜及非致冷紅外探測器陣列研究.pdf
- 熱釋電鉭酸鋰薄膜紅外探測器原理和制備研究.pdf
- 熱釋電紅外探測器陣列的設(shè)計(jì)、制備及電性能研究.pdf
- 鈦酸鍶鋇熱釋電陶瓷的制備及其性能研究.pdf
- 鐵電薄膜的制備及熱釋電紅外探測器相關(guān)問題研究.pdf
- 水熱法制備鈦酸鍶鋇鐵電薄膜的研究.pdf
- 非致冷紅外探測器用氧化釩薄膜工藝研究.pdf
- 鉭酸鋰熱釋電紅外探測器特性研究.pdf
- 鈦酸鍶鋇場致效應(yīng)及熱釋電特性研究.pdf
- 摻雜鈦酸鍶鋇薄膜的制備與電性能的研究.pdf
- 氧化釩非致冷紅外探測器陣列讀出電路結(jié)構(gòu)研究.pdf
- 超聲噴霧熱解法制備鈦酸鍶鋇薄膜工藝及性能研究.pdf
- 高性能非制冷熱釋電紅外探測器的制備.pdf
- 水熱法制備鈦酸鍶鋇鐵電陶瓷的研究.pdf
- 鈦酸鍶鋇鐵電薄膜的制備及微細(xì)加工.pdf
- 鈦酸鍶鋇鐵電薄膜的制備及電熱效應(yīng).pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論