醫(yī)用壓電陶瓷片的超精密磨削加工實驗研究.pdf

1、自1880年居里兄弟發(fā)現晶體的壓電效應以來，壓電器件已在水聲、超聲、傳感技術等領域取得了廣泛的應用。隨著科學技術的發(fā)展，航空航天、醫(yī)療器械等新技術領域對壓電器件的要求也越來越高。特別是在醫(yī)療超聲傳感器技術中，作為核心部分的壓電陶瓷(PZT)，由于具有非常強和非常穩(wěn)定的壓電效應，受到越來越多的重視。 壓電陶瓷材料雖然具有其他材料無法比擬的優(yōu)越性能，但是它也有自己最顯著的缺點、即脆性；同時它還存在加工極困難，很難象普通材料一樣對陶瓷

2、進行機械加工。要實現壓電陶瓷所具備的優(yōu)異性能，就必須加工成具有一定形狀精度和尺寸精度的元件，因此，研究壓電陶瓷的加工技術，特別是精密、超精密加工技術具有重大的應用價值，有很大的現實意義。 本文采用了特制超薄金剛石鋸片砂輪，使用超精密磨削機床對壓電陶瓷片進行磨削加工實驗研究，運用正交實驗常用的數據分析方法一直觀分析法，對加工后的工件表面粗糙度和砂輪磨損狀況進行了分析，得出如下結論： ①磨削參數的變化直接影響加工表面的表面質