基于Bitmap工具的SDRAM晶圓失效分析.pdf

1、在半導體制造業(yè)高度激烈的市場競爭中，如何將成品率快速提升是企業(yè)生存的關鍵。SDRAM是一種高密度的存儲器件，可以通過電性測試，并且運用bitmap這一有效工具診斷出其具體的失效區(qū)域，通過進一步的物性失效分析來找出工藝上失效的原因。 本論文開展了對0．2um64MSDRAM產(chǎn)品良率提升的工作，研究學習了該種器件的工作原理，然后從工藝和版圖的特性入手，將可能出現(xiàn)的失效模式進行歸類，并通過測試實驗方法，特別是加強對Bitmap的分析來

2、做進一步的分析和判斷，最后利用物性失效手段進行驗證。在以往的工作中Bitmap被視為很用用的定位失效點的工具，在本課題的研究中發(fā)現(xiàn)，深入對Bitmap信息的解讀可以得到更多有用的信息來輔助對失效模式的診斷，從而提高判斷的正確性。這種帶有預判性的失效解析思路，可以有效的提高失效分析的準確度，縮短失效分析工作的時間，從而快速提升產(chǎn)品良率，為企業(yè)帶來直接的經(jīng)濟效益。本文共分為五章，第一章對失效分析在半導體生產(chǎn)中的作用和地位進行了闡述，對失效分

3、析的一般流程進行說明。引出對SDARAM器件的失效分析的研究；第二章，對失效分析過程中應用到的物性失效和電性失效的實驗方法做簡單的介紹和研究；第三章，先對SDRAM器件的工作原理、版圖和進行研究和分析，結合實際案例對不同的失效案例進行說明，重點對硬失效故障的分析進行研究和闡述。同時深入對Bitmap在分析過程中的重要性來加以體現(xiàn)和說明；第四章，對不同的軟失效故障的模式進行研究和分析，結合實際案例進行闡述和說明；第五章，總結了SDRAM晶