場地微動作用下防微振平臺的振動分析.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著現(xiàn)代工業(yè)的迅速發(fā)展和城市規(guī)模的日益擴大,振動對生產(chǎn)和生活環(huán)境的影響越來越大,而現(xiàn)代高科技生產(chǎn)設(shè)備對振動的要求卻越來越嚴(yán)格,因此對防微振平臺振動控制的研究成為工程界面臨的重要課題之一。本文結(jié)合廣東省某半導(dǎo)體公司手機芯片生產(chǎn)平臺的防微振測試和分析計算,對防微振平臺結(jié)構(gòu)在場地微動作用下的振動進(jìn)行了研究。
　　 本文結(jié)合振動控制要求,對該工程的自由場地微動進(jìn)行現(xiàn)場測試,并且對自由場場地微動的時域、頻域特性進(jìn)行分析,得到防微動平臺時程

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