光學(xué)SPR傳感器相位檢測系統(tǒng)研究.pdf

1、表面等離子體波共振（SPR）傳感器自提出以來，得到了廣泛研究。本文圍繞基于相位調(diào)制的SPR傳感系統(tǒng)的設(shè)計(jì)展開研究，全文內(nèi)容包括SPR相位檢測的原理、系統(tǒng)設(shè)計(jì)和改進(jìn)等內(nèi)容。本文從以下幾個(gè)方面展開： 本文首先回顧了SPR的研究歷程，闡述了SPR產(chǎn)生的基本原理。根據(jù)Kretschmann結(jié)構(gòu)模型，以 Fresnel 公式為理論指導(dǎo), 通過數(shù)值模擬，分析了 SPR 相位檢測的機(jī)理和特性以及影響因素。指出相位調(diào)節(jié)具有其它調(diào)節(jié)方式的優(yōu)勢，提

2、出了通過干涉進(jìn)行檢測的途徑。 其次，根據(jù)邁克爾遜干涉的原理，設(shè)計(jì)了一種SPR相位檢測的系統(tǒng)，開展了初步的實(shí)驗(yàn)，給出了從干涉圖像中解調(diào)相位的方法和源程序，同時(shí)，對(duì)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)進(jìn)行了分析討論，提出了改進(jìn)的方案。 再次，提出了通過共光路干涉檢測SPR相位變化的方法，設(shè)計(jì)了一套干涉檢測系統(tǒng)，并對(duì)系統(tǒng)的各個(gè)部件進(jìn)行了設(shè)計(jì)，通過渥拉斯頓棱鏡引入空間相位調(diào)制的方法，確定了從干涉圖形中進(jìn)行相位解調(diào)的方法。 最后，根據(jù)SPR的基本原理