電沉積ZnO薄膜及其氣敏性的研究.pdf

1、ZnO薄膜是一種纖鋅礦結(jié)構(gòu)的n型半導(dǎo)體材料，具有良好的電學(xué)和光學(xué)特性，廣泛應(yīng)用于表面聲波器件、透明電極、太陽能電池材料、紫外探測器、氣敏傳感器、短波發(fā)光器件等方面。 制備ZnO薄膜的方法很多，有磁控濺射鍍膜、金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)、脈沖激光沉積(PLD)、原子層外延(ALE)、噴射熱解、溶膠．凝膠等方法。電沉積方法因其所需設(shè)備簡單、成本低、易于工業(yè)化生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)，成為近年來研究的熱點(diǎn)。 本文以Zn(NO<,3

2、>)<,2>為主鹽，采用恒電位電沉積法在導(dǎo)電玻璃表面制備氧化鋅薄膜。分別研究了電壓、溫度、濃度、pH值和沉積時(shí)間對薄膜組成和表面形貌的影響。確定最佳實(shí)驗(yàn)條件為：電壓-0.80V；溫度50℃；主鹽濃度1mol/L；溶液pH值在4～6之間；沉積時(shí)間為1h。制備出的純凈的ZnO薄膜，具有六方纖鋅礦結(jié)構(gòu)，結(jié)晶完整，呈現(xiàn)多晶態(tài)。將制備的ZnO薄膜做成氣體傳感器，檢測對乙醇和CO的響應(yīng)。結(jié)果表明該ZnO薄膜對這兩種氣體具有良好的響應(yīng)靈敏度，可用作氣