等離子體浸沒注入對(duì)材料表面改性的研究.pdf_第1頁
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1、復(fù)旦大學(xué)碩士學(xué)位論文等離子體浸沒注入對(duì)材料表面改性的研究姓名：李慧申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：材料物理與化學(xué)指導(dǎo)教師：吳曉京20080515AbstractAbstractPlasmaimmersionionimplantation(PIII)isanewlydevelopedtechniqueformaterialstransformationThistechniquehastheobviousadvantagesofhighimplan

2、tation—doseandlowimplantation—voltageItwasfirstlyusedinimprovingthemechanicalfeaturesofmetalmaterials，andthenwasappliedinprocessingbiologicalmaterials，ceramicsandmacromoleculematerialsTheapplicationinmicroelectronicshasb

3、ecomepopularinrecentyearsWesimulatedtheimplantationprocessinmaterials肫alsoconstructedthePIIIequipmentwithourpartnersanddidalotoftestingsbeforeexperimentsThen，someexperimentsweredoneonthisequipmenttochangethecharacteristi

4、csofsomephotoelectricalmaterialsPtypetransparentmetaloxidesarethemainbottleneckinthisfieldWetriedtodopeN2inIn203nano—filmsbyPIIInechangesofresistanceandtransmittancewereanalyzedinthisPaperWealsotriedtodopeN2iIlZn0nanofil

5、msbyPIIIThehalltransformationsofZnOnanofilmswereobviousPossiblemechanismswerealsodiscussedMoreattemptsinhydroacidfreemethodhavebeenmadeforthepreparationofporoussilicon(PS)DifferentetchantdosesgeneratedPSstructureswithdif

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