已閱讀1頁(yè)，還剩50頁(yè)未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說(shuō)明：本文檔由用戶(hù)提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、集成電路產(chǎn)業(yè)一直向著集成度越來(lái)越高,關(guān)鍵尺寸越來(lái)越小的方向發(fā)展。將光刻部分的線寬做到更小的關(guān)鍵就是分辨率R值的降低,這會(huì)導(dǎo)致聚焦深度(DOF)減小,隨著DOF越來(lái)越小,就對(duì)現(xiàn)在的光刻工藝制程中焦距的穩(wěn)定性提出越來(lái)越高的要求,所以對(duì)光刻機(jī)臺(tái)焦距的監(jiān)測(cè)精度和穩(wěn)定度要求越來(lái)越高。本文實(shí)驗(yàn)并闡述了一種新型的光刻機(jī)臺(tái)焦距的監(jiān)測(cè)方法。傳統(tǒng)的監(jiān)測(cè)方法是通過(guò)焦距矩陣的方式曝光后用線寬測(cè)量機(jī)臺(tái)進(jìn)行測(cè)量找到最佳焦距。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,通過(guò)利用相移光掩膜(光掩膜
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶(hù)所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶(hù)上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶(hù)上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶(hù)因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 液晶實(shí)時(shí)掩膜光刻技術(shù)研究.pdf
- 掩膜版霧狀缺陷改善與光刻良率提升.pdf
- 玻璃基光刻鉻掩膜板的膜系研究.pdf
- 光刻機(jī)精細(xì)對(duì)準(zhǔn)方法研究.pdf
- 基于DMD動(dòng)態(tài)掩膜微立體光刻系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)與研究.pdf
- S公司光刻機(jī)項(xiàng)目商業(yè)計(jì)劃.pdf
- 可變線寬的無(wú)掩膜光刻理論與技術(shù)研究.pdf
- 數(shù)字無(wú)掩膜光刻技術(shù)及其大面積曝光方案研究.pdf
- 基于Mg-Cu-Y金屬玻璃薄膜的相變光刻及其光刻機(jī)理研究.pdf
- 浸沒(méi)式光刻機(jī)密封氣體濕度調(diào)制.pdf
- 光刻機(jī)換臺(tái)過(guò)程控制算法研究.pdf
- 畢業(yè)論文范文——無(wú)掩膜光刻圖形的數(shù)據(jù)提取技術(shù)
- 浸潤(rùn)式光刻機(jī)工藝缺陷數(shù)量的優(yōu)化.pdf
- 浸沒(méi)式光刻機(jī)浸液溫度控制算法研究.pdf
- 光刻機(jī)硅片對(duì)準(zhǔn)軟件系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf
- 光刻機(jī)結(jié)構(gòu)動(dòng)力學(xué)建模與仿真.pdf
- 帶型納米壓印光刻機(jī)的研究與開(kāi)發(fā).pdf
- 光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)的FMECA分析.pdf
- 光刻機(jī)掩模臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制器設(shè)計(jì).pdf
- 投影步進(jìn)光刻機(jī)主控軟件研究與開(kāi)發(fā).pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論