基于機(jī)器視覺的光刻機(jī)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng).pdf

1、在半導(dǎo)體芯片制造中，最關(guān)鍵的設(shè)備是光刻機(jī)，同時(shí)它也是投資最大的設(shè)備，光刻機(jī)的成本幾乎占到整個(gè)生產(chǎn)線成本的30%，而且光刻機(jī)也是技術(shù)最復(fù)雜的設(shè)備，是高精密的光、機(jī)、電系統(tǒng)。對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)是光刻機(jī)關(guān)鍵子系統(tǒng)之一，提高對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)精度將直接提高套刻精度，進(jìn)而提高產(chǎn)品質(zhì)量，同時(shí)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)速度和效率也將影響產(chǎn)品生產(chǎn)率。
　　 設(shè)計(jì)了基于機(jī)器視覺的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)流程，包括工件臺(tái)對(duì)準(zhǔn)流程、掩模對(duì)準(zhǔn)流程和硅片對(duì)準(zhǔn)流程。利用自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)結(jié)果，建立了對(duì)準(zhǔn)分系統(tǒng)所涉及的關(guān)

2、鍵測(cè)量模型，包括工件臺(tái)對(duì)準(zhǔn)測(cè)量模型、掩模平移量和旋轉(zhuǎn)量測(cè)量模型、硅片平移量和旋轉(zhuǎn)量測(cè)量模型。
　　 在對(duì)準(zhǔn)分系統(tǒng)控制層次架構(gòu)的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了基于機(jī)器視覺的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)硬件架構(gòu)，對(duì)所涉及的各個(gè)硬件模塊進(jìn)行了選型，并搭建了自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)硬件系統(tǒng)。
　　 對(duì)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)軟件系統(tǒng)進(jìn)行了需求分析，在此基礎(chǔ)上對(duì)軟件系統(tǒng)的層次和模塊進(jìn)行了設(shè)計(jì)和分析。通過(guò)消息機(jī)制達(dá)到了客戶端和服務(wù)器端通信的目的，并實(shí)現(xiàn)了相應(yīng)的客戶端軟件和服務(wù)器端軟件

3、。
　　 在搭建好的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)軟硬件平臺(tái)上，驗(yàn)證了本實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)軟硬件的可行性，重復(fù)定位精度可達(dá)到200nm，滿足了對(duì)準(zhǔn)的性能要求，同時(shí)進(jìn)行了一系列相關(guān)實(shí)驗(yàn)，并對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行了分析，得出了一些有益的結(jié)論：為了減小標(biāo)記定位誤差，硬件方面要盡量采用高信噪比的CCD、穩(wěn)定的光源和一定的隔振系統(tǒng)；軟件方面可以考慮使用高斯濾波和中值濾波等圖像預(yù)處理方法；基于Euresys/eVision的模板匹配算法對(duì)光照改變有較好的適應(yīng)性，尤其是其重復(fù)定