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1、Fe-Zr-B-Cu合金是迄今報(bào)告的具有最高飽和磁感的非晶納米晶合金。其薄膜化的研究意義重大,且目前在國(guó)內(nèi)外還是一片空白。本課題采用磁控濺射的方法,制取Fe-Zr-B-Cu非晶合金薄膜。用正交試驗(yàn)方法研究磁控濺射的工藝因素:濺射功率、濺射氣壓、基片到靶材的距離等對(duì)Fe-Zr-B-Cu非晶合金薄膜制備效果的影響;使用SEM能譜儀研究獲得Fe-Zr-B-Cu非晶合金薄膜的成分;借助XRD研究濺射所得薄膜的結(jié)構(gòu)特征;利用AFM得到制備薄膜的表
2、面粒徑分布狀態(tài)以及表面粗糙程度。借此得到:①本實(shí)驗(yàn)中靶材合金組分配比最優(yōu)方案為Fe:84 at%、Zr:7 at%、B:8 at%、Cu:1 at%,所得粉末壓制靶和燒結(jié)靶的結(jié)構(gòu)其橫斷面均呈多層狀態(tài),層與層之間呈現(xiàn)出不同的形態(tài)和致密度,而燒結(jié)靶則顯示出最優(yōu)的制膜效果;②磁控濺射制備Fe-Zr-B-Cu非晶合金薄膜的優(yōu)選工藝條件為,基片到靶材的距離60mm、工作氣壓1.37Pa、濺射功率100w;③對(duì)制備態(tài)的Fe-Zr-B-Cu非晶合金薄
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