SNOM非線性校正和高精度位移檢測.pdf_第1頁
已閱讀1頁,還剩77頁未讀 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、納米科技及納米探測的迅速發(fā)展,對納米尺度內(nèi)精確測量和成像技術(shù)提出高要求,具有納米量級分辨率的顯微鏡技術(shù)也得到了飛速發(fā)展。由于掃描近場光學(xué)顯微鏡具有突破光學(xué)衍射極限的分辨率,可以進(jìn)行納米尺度的探測,又具有光學(xué)顯微鏡所具有的廣泛適應(yīng)性,在納米科技領(lǐng)域中有廣泛地應(yīng)用。但是和其他掃描探針顯微鏡一樣由于壓電陶瓷驅(qū)動器的非線性,掃描成像產(chǎn)生畸變,限制了在納米尺度量化研究的應(yīng)用。 基于實驗室曾經(jīng)制作過樣品掃描工作模式的掃描近場光學(xué)顯微鏡的背景

2、,我們設(shè)計了探針掃描工作模式的帶有位移檢測機(jī)構(gòu)的掃描近場光學(xué)顯微鏡,來研究和校正掃描近場光學(xué)顯微鏡中的由壓電陶瓷驅(qū)動器非線性引起的圖像畸變。實驗系統(tǒng)中的位移檢測機(jī)構(gòu)利用凸透鏡成像光路的光學(xué)放大原理,將探針的微位移通過光路放大到遠(yuǎn)處的PSD位置檢測器,記錄探針的位置隨壓電陶瓷驅(qū)動電壓的變化關(guān)系。根據(jù)記錄的驅(qū)動電壓控制信號和探針的位移用三次多項式擬合出壓電陶瓷驅(qū)動器的非線性特性方程。掃描系統(tǒng)根據(jù)非線性特性方程計算出到達(dá)指定位置點的驅(qū)動電壓信

3、息,輸出驅(qū)動壓電陶瓷驅(qū)動器。同時也可以利用PSD結(jié)合PID控制電路實現(xiàn)閉環(huán)反饋控制,校正壓電陶瓷驅(qū)動器的非線性。根據(jù)擬合的三次多項式的結(jié)果,三次項系數(shù)和二次項系數(shù)相對于一次項系數(shù)和常數(shù)項,非常小,所以在進(jìn)行成本較低,精度要求不是很高的非線性校正時,可以采用關(guān)鍵點線性插值的方法進(jìn)行非線性逐段擬合,而且可以根據(jù)校正精度要求調(diào)整分段的長度和分段量,在保證一定精度的要求下,降低系統(tǒng)復(fù)雜度。 采用集成芯片構(gòu)成的等值電阻鏈細(xì)分電路,既實現(xiàn)了

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論