2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、納米科技及納米探測的迅速發(fā)展,對納米尺度內精確測量和成像技術提出高要求,具有納米量級分辨率的顯微鏡技術也得到了飛速發(fā)展。由于掃描近場光學顯微鏡具有突破光學衍射極限的分辨率,可以進行納米尺度的探測,又具有光學顯微鏡所具有的廣泛適應性,在納米科技領域中有廣泛地應用。但是和其他掃描探針顯微鏡一樣由于壓電陶瓷驅動器的非線性,掃描成像產生畸變,限制了在納米尺度量化研究的應用。 基于實驗室曾經制作過樣品掃描工作模式的掃描近場光學顯微鏡的背景

2、,我們設計了探針掃描工作模式的帶有位移檢測機構的掃描近場光學顯微鏡,來研究和校正掃描近場光學顯微鏡中的由壓電陶瓷驅動器非線性引起的圖像畸變。實驗系統(tǒng)中的位移檢測機構利用凸透鏡成像光路的光學放大原理,將探針的微位移通過光路放大到遠處的PSD位置檢測器,記錄探針的位置隨壓電陶瓷驅動電壓的變化關系。根據記錄的驅動電壓控制信號和探針的位移用三次多項式擬合出壓電陶瓷驅動器的非線性特性方程。掃描系統(tǒng)根據非線性特性方程計算出到達指定位置點的驅動電壓信

3、息,輸出驅動壓電陶瓷驅動器。同時也可以利用PSD結合PID控制電路實現閉環(huán)反饋控制,校正壓電陶瓷驅動器的非線性。根據擬合的三次多項式的結果,三次項系數和二次項系數相對于一次項系數和常數項,非常小,所以在進行成本較低,精度要求不是很高的非線性校正時,可以采用關鍵點線性插值的方法進行非線性逐段擬合,而且可以根據校正精度要求調整分段的長度和分段量,在保證一定精度的要求下,降低系統(tǒng)復雜度。 采用集成芯片構成的等值電阻鏈細分電路,既實現了

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