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1、本文總結(jié)了目前廣泛研究的透明導(dǎo)電薄膜材料。對(duì)CdO薄膜的各種生長(zhǎng)技術(shù)及原理進(jìn)行了綜述和展望。利用反應(yīng)磁控濺射首次成功的在室溫下有機(jī)襯底(聚對(duì)苯二甲酸乙二醇乙脂PET(Polyethyleneterephthalate))和玻璃襯底上制備了結(jié)晶取向的CdO薄膜,并利用X射線衍射儀、Hall測(cè)試儀,紫外—可見(jiàn)光譜儀,場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡等對(duì)CdO薄膜的結(jié)構(gòu)性能和光學(xué)性能進(jìn)行了測(cè)試和分析,并研究了氧氣含量、襯底溫度、濺射功率、濺射時(shí)間等參數(shù)對(duì)CdO
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