15160.曲折型夾心結(jié)構(gòu)薄膜巨磁阻抗效應(yīng)及生物傳感研究

1、申請上海交通大學(xué)博士學(xué)位論文曲折型夾心結(jié)構(gòu)薄膜曲折型夾心結(jié)構(gòu)薄膜巨磁阻抗效應(yīng)及巨磁阻抗效應(yīng)及生物傳感生物傳感研究研究學(xué)科專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)博士生：王韜指導(dǎo)教師：周勇上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院2015年09月上海交通大學(xué)博士學(xué)位論文摘要I曲折型夾心結(jié)構(gòu)薄膜曲折型夾心結(jié)構(gòu)薄膜巨磁阻抗效應(yīng)及巨磁阻抗效應(yīng)及生物傳感生物傳感研究研究摘要巨磁阻抗（GiantmagoimpedanceGMI）效應(yīng)自從發(fā)現(xiàn)伊始便獲得了國內(nèi)外學(xué)術(shù)界的廣泛

2、關(guān)注，因為由其可發(fā)展一種新型的高性能磁傳感器，即GMI傳感器。GMI傳感器具有靈敏度高、響應(yīng)速度快、體積小和功耗低等優(yōu)點，在磁場傳感、電流傳感、應(yīng)力傳感和生物傳感領(lǐng)域具有巨大的應(yīng)用潛力。迄今為止，關(guān)于GMI效應(yīng)的大部分研究還駐足在基礎(chǔ)研究層面，而對其應(yīng)用研究關(guān)注較少，特別是GMI效應(yīng)在磁敏傳感和生物傳感領(lǐng)域的應(yīng)用研究還處于初級階段?；诖?，本論文致力于研究GMI傳感器應(yīng)用于磁珠和生物標(biāo)志物檢測，旨在開拓GMI傳感器在磁敏傳感和生物傳感領(lǐng)

3、域的應(yīng)用價值，為GMI傳感器的實用化奠定基礎(chǔ)。本論文主要包括曲折型夾心結(jié)構(gòu)薄膜的GMI理論模型、微機(jī)電系統(tǒng)（MicroElectroMechanicalSystemMEMS）技術(shù)制造微型GMI傳感器、薄膜GMI效應(yīng)研究、超順磁性磁珠檢測、以及甲胎蛋白（Alphafetoprotein，AFP）抗原和癌胚抗原（Carcinoembryonicantigen，CEA）檢測五大方面內(nèi)容，同時結(jié)合了掃描電子顯微鏡、X射線光電子能譜、振動樣品磁強(qiáng)