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1、<p> 畢業(yè)設(shè)計(jì)報(bào)告(論文)</p><p> 報(bào)告(論文)題目: 電子封裝知識(shí)總結(jié) </p><p> 作者所在系部: 電子工程系 </p><p> 作者所在專業(yè): 電子工藝與管理 </p><p> 作者所在班級(jí): &l
2、t;/p><p> 作 者 姓 名 : 楊軍 </p><p> 作 者 學(xué) 號(hào) : </p><p> 指導(dǎo)教師姓名: </p><p> 完 成 時(shí) 間 : 2011年11月5日 </p>&l
3、t;p> 畢業(yè)設(shè)計(jì)(論文)任務(wù)書</p><p><b> 摘 要</b></p><p> 電子封裝技術(shù)是微電子工藝中的重要一環(huán),通過封裝技術(shù)不僅可以在運(yùn)輸與取置過程中保護(hù)器件還可以與電容、電阻等無緣器件組合成一個(gè)系統(tǒng)發(fā)揮特定的功能。按照密封材料區(qū)分電子封裝技術(shù)可以分為塑料和陶瓷兩種主要的種類。陶瓷封裝熱傳導(dǎo)性質(zhì)優(yōu)良,可靠度佳,塑料的熱性質(zhì)與可靠度
4、雖遜于陶瓷封裝,但它具有工藝自動(dòng)化自動(dòng)化、低成本、薄型化等優(yōu)點(diǎn),而且隨著工藝技術(shù)與材料的進(jìn)步,其可靠度已有相當(dāng)大的改善,塑料封裝為目前市場(chǎng)的主流。</p><p> 電子封裝是一個(gè)富于挑戰(zhàn)、引人入勝的領(lǐng)域。它是集成電路芯片生產(chǎn)完成后不可缺少的一道工序,是器件到系統(tǒng)的橋梁。封裝這一生產(chǎn)環(huán)節(jié)對(duì)微電子產(chǎn)品的質(zhì)量和競(jìng)爭(zhēng)力都有極大的影響。按目前國際上流行的看法認(rèn)為,在微電子器件的總體成本中,設(shè)計(jì)占了三分之一,芯片生產(chǎn)占了
5、三分之一,而封裝和測(cè)試也占了三分之一,真可謂三分天下有其一。封裝研究在全球范圍的發(fā)展是如此迅猛,而它所面臨的挑戰(zhàn)和機(jī)遇也是自電子產(chǎn)品問世以來所從未遇到過的;封裝所涉及的問題之多之廣,也是其它許多領(lǐng)域中少見的,它需要從材料到工藝、從無機(jī)到聚合物、從大型生產(chǎn)設(shè)備到計(jì)算力學(xué)等等許許多多似乎毫不關(guān)連的專家的協(xié)同努力,是一門綜合性非常強(qiáng)的新型高科技學(xué)科。</p><p> 關(guān)鍵詞 電子封裝 集成電路芯片 微電子器件
6、 測(cè)試</p><p><b> 目 錄</b></p><p><b> 第1章 緒論1</b></p><p> 1.1 封裝技術(shù)發(fā)展八大趨勢(shì)1</p><p> 1.2 在電子產(chǎn)品行業(yè)中電子封裝工藝技術(shù)的重要性1</p><p> 1.3 電子
7、封裝,電子燒結(jié)技術(shù)在電子產(chǎn)品中的歷史演變2</p><p> 1.4 社會(huì)再發(fā)展,電子產(chǎn)業(yè)再發(fā)展,那電子封裝行業(yè)呢?2</p><p> 第2章 電子封裝技術(shù)3</p><p> 2.1 電子封裝的定義3</p><p> 2.2 電子封裝的類型3</p><p> 2.2.1 金屬封裝3<
8、;/p><p> 2.2.2 陶瓷封裝4</p><p> 2.2.3 塑料封裝4</p><p> 2.2.4 SIP、DIP和SO封裝4</p><p> 2.2.5 四方扁平封裝5</p><p> 2.2.6 BGA封裝6</p><p><b> 2.3 小
9、結(jié)6</b></p><p> 第3章 電子封裝匯總7</p><p> 3.1 封裝技術(shù)的方法與原理7</p><p> 3.2 塑料封裝技術(shù)的發(fā)展7</p><p> 3.3 其他封裝技術(shù)9</p><p> 3.3.1 DIP直插式封裝10</p><p&g
10、t; 3.3.2 QFP塑料方型扁平式封裝和PFP塑料扁平組件式封裝10</p><p> 3.3.3 PGA插針網(wǎng)格陣列封裝11</p><p> 3.3.4 BGA球柵陣列封裝11</p><p> 3.3.5 CSP芯片尺寸封裝12</p><p> 3.3.6 MCM多芯片模塊13</p><p
11、> 3.3.7 各封裝形式詳細(xì)圖樣13</p><p> 第4章 總結(jié)20</p><p> 第5章 結(jié)論29</p><p><b> 致 謝30</b></p><p><b> 參考文獻(xiàn)31</b></p><p><b>
12、 電子封裝知識(shí)總結(jié)</b></p><p><b> 第1章 緒論</b></p><p> 1.1 封裝技術(shù)發(fā)展八大趨勢(shì)</p><p> 1.IC封裝正從引線封裝向球柵陣列封裝發(fā)展。</p><p> 2.BGA封裝正向增強(qiáng)型BGA、倒裝片積層多層基板BGA、帶載BGA等方向進(jìn)展,以適應(yīng)多端子
13、、大芯片、薄型封裝及高頻信號(hào)的要求。</p><p> 3.CSP的球柵節(jié)距正由1.0mm向0.8mm、0.5mm,封裝厚度正向0.5mm以下的方向發(fā)展,以適應(yīng)超小型封裝的要求。</p><p> 4.晶圓級(jí)的封裝工藝(wafer level package,WLP)則采用將半導(dǎo)體技術(shù)與高密度封裝技術(shù)有機(jī)結(jié)合在一起,其工藝特點(diǎn)是:在硅圓片狀態(tài)下,在芯片表面再布線,并由樹脂作絕緣保護(hù),構(gòu)
14、成球形凸點(diǎn)后再切片。由此可以獲得真正與芯片尺寸大小一致的CSP封裝,以降低單位芯片的生產(chǎn)成本。</p><p> 5.為適應(yīng)市場(chǎng)快速增長(zhǎng)的以手機(jī)、筆記本電腦、平板顯示等為代表的便攜式電子產(chǎn)品的需求,IC封裝正在向著微型化、薄型化、不對(duì)稱化、低成本化方向發(fā)展。</p><p> 6.為了適應(yīng)綠色環(huán)保的需要,IC封裝正向無鉛化、無溴阻燃化、無毒低毒化方向快速發(fā)展。</p>&
15、lt;p> 7.為了適應(yīng)多功能化需要,多芯片封裝成為發(fā)展潮流,采用兩芯片重疊,三芯片重疊或多芯片疊裝構(gòu)成存儲(chǔ)器模塊等方式,以滿足系統(tǒng)功能的需要。</p><p> 8.三維封裝可實(shí)現(xiàn)超大容量存儲(chǔ),有利于高速信號(hào)傳播,最大限度地提高封裝密度,并有可能降低價(jià)格,因此,它將成為發(fā)展高密度封裝的一大亮點(diǎn)。</p><p> 1.2 在電子產(chǎn)品行業(yè)中電子封裝工藝技術(shù)的重要性</p&
16、gt;<p> 電子產(chǎn)品行業(yè)成長(zhǎng)最快的三大版塊,囊括“測(cè)試與測(cè)量”、“電子部件 ”和“電子封裝工藝”.近十年來,無限元仿真已被推行到微電子封裝(含板級(jí)與微系統(tǒng)拼裝)方案與靠得住性分析的范圍。無限元仿真豈但能夠正在多種規(guī)范作機(jī)器應(yīng)力及形變分析,還能夠作熱傳分析,甚至是熱傳與工具嚙合分析.電子封裝產(chǎn)品的檢測(cè)也非常主要,要有罕用元機(jī)件的檢測(cè)要領(lǐng)和經(jīng)歷。電子燒結(jié)工藝正常材料有非金屬,金屬燒結(jié),玻璃燒結(jié)陶瓷,玻璃等,是由重型電子燒
17、結(jié)爐燒結(jié)的產(chǎn)品,其比熱,材料的用量,溫度,氣體的供給都密沒有可分,假如內(nèi)中哪個(gè)環(huán)節(jié)出現(xiàn)了問題,那燒結(jié)出的產(chǎn)品將會(huì)拋棄。所以電子封裝這個(gè)行業(yè)必須要掌握著一定的技能手段,同時(shí)電子封裝事業(yè)的利潤(rùn)也是碩大的,成本不到幾塊的產(chǎn)品將會(huì)賣幾十甚至幾百等。這個(gè)新起的事業(yè)將會(huì)給電子事業(yè)帶來巨大的發(fā)展。</p><p> 1.3 電子封裝,電子燒結(jié)技術(shù)在電子產(chǎn)品中的歷史演變</p><p> 電子封裝界廣
18、泛展望21百年的頭十年將迎來微電子封裝技能的第四個(gè)前進(jìn)階段3D 疊層封裝時(shí)期--其專人性的貨物將是零碎級(jí)封裝,它正在封裝觀點(diǎn)上發(fā)作了反動(dòng) 性的變遷,從本來的封裝部件概念演化成封裝零碎它是將多個(gè)芯片和能夠的無源部件集成正在同一封裝內(nèi), 構(gòu)成存正在零碎性能的模塊,因此能夠完成較高的功能密度、更高的集成度、更 小的利潤(rùn)和更大的靈敏性。隨著信息時(shí)期的到來,電子輕工業(yè)失去了快速前進(jìn),電腦、挪動(dòng)電話等貨物的疾 速提高,使得電子財(cái)物變化最有目共睹和最
19、具前進(jìn)后勁的財(cái)物之一,電子產(chǎn)物的 前進(jìn)也牽動(dòng)了與之親密有關(guān)的電子封裝業(yè)的前進(jìn),其主要性越來越一般。電子封裝已從晚期的為芯片需要機(jī)器支持、掩護(hù)和電熱聯(lián)接性能,逐步融人到芯片打造 技能和零碎集成技能之中。電子產(chǎn)品行業(yè)的前進(jìn)離不了電子封裝的前進(jìn),20百年最 初二十年,隨著微電子、光電子輕工業(yè)的劇變,為封裝技能的前進(jìn)創(chuàng)舉了許多時(shí) 機(jī)和應(yīng)戰(zhàn),各族保守的封裝技能一直出現(xiàn),電子燒結(jié)技術(shù)曾經(jīng)變化20年前進(jìn) 最快、使用最廣的技能之一。</p>
20、<p> 1.4 社會(huì)再發(fā)展,電子產(chǎn)業(yè)再發(fā)展,那電子封裝行業(yè)呢?</p><p> 隨著微電子機(jī)械系統(tǒng)器件和微電子集成電路的不斷發(fā)展,電子封裝起到了很多的作用,滿足化學(xué)和大氣環(huán)境的要求。為此人們密切關(guān)注并積極投身于電子封裝的研究,以滿足這一重要領(lǐng)域不斷發(fā)展的要求。。隨著我國四大支柱產(chǎn)業(yè)之微電子產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展,電子封裝,電子燒結(jié)工藝在此領(lǐng)域中的應(yīng)用必將會(huì)有大幅度的增長(zhǎng)。電子燒結(jié)出的微電子產(chǎn)品要達(dá)到
21、介電性能好、粘接性能好、耐腐蝕性能好,尺寸穩(wěn)定性好,工藝性好,在各種環(huán)境的適應(yīng)能力強(qiáng),綜合性能佳的要求。近年,隨電子產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展,我國已擁有一支優(yōu)秀的電子產(chǎn)品開發(fā)隊(duì)伍蚌埠鐘鉦電子廠,規(guī)模壯大,產(chǎn)品商品化程度高,已形成了無論技術(shù)還是素質(zhì)都是終合性最強(qiáng)的隊(duì)伍。</p><p> 第2章 電子封裝技術(shù)</p><p> 2.1 電子封裝的定義</p><p> 什
22、么是電子封裝 (electronic packaging)? 封裝最初的定義是:保護(hù)電路芯片免受周圍環(huán)境的影響(包括物理、化學(xué)的影響)。所以,在最初的微電子封裝中,是用金屬罐 (metal can) 作為外殼,用與外界完全隔離的、氣密的方法,來保護(hù)脆弱的電子元件。但是,隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展,尤其是芯片鈍化層技術(shù)的不斷改進(jìn),封裝的功能也在慢慢異化。通常認(rèn)為,封裝主要有四大功能,即功率分配、信號(hào)分配、散熱及包裝保護(hù),它的作用是從集成電路器
23、件到系統(tǒng)之間的連接,包括電學(xué)連接和物理連接。目前,集成電路芯片的I/O線越來越多,它們的電源供應(yīng)和信號(hào)傳送都是要通過封裝來實(shí)現(xiàn)與系統(tǒng)的連接;芯片的速度越來越快,功率也越來越大,使得芯片的散熱問題日趨嚴(yán)重;由于芯片鈍化層質(zhì)量的提高,封裝用以保護(hù)電路功能的作用其重要性正在下降。</p><p> 2.2 電子封裝的類型</p><p> 電子封裝的類型也很復(fù)雜。從使用的包裝材料來分,我們可
24、以將封裝劃分為金屬封裝、陶瓷封裝和塑料封裝;從成型工藝來分,我們又可以將封裝劃分為預(yù)成型封裝(pre-mold)和后成型封裝(post-mold);至于從封裝外型來講,則有SIP(single in-line package)、DIP(dual in-line package)、PLCC(plastic-leaded chip carrier)、PQFP(plastic quad flat pack)、SOP(small-outline
25、 package)、TSOP(thin small-outline package)、PPGA(plastic pin grid array)、PBGA(plastic ball grid array)、CSP (chip scale package)等等;若按第一級(jí)連接到第二級(jí)連接的方式來分,則可以劃分為PTH(pin-through-hole)和SMT(surface-mount-technology)二大類,即通常所稱的插孔式(或
26、通孔式)和表面貼裝式。</p><p> 2.2.1 金屬封裝</p><p> 金屬封裝是半導(dǎo)體器件封裝的最原始的形式,它將分立器件或集成電路置于一個(gè)金屬容器中,用鎳作封蓋并鍍上金。金屬圓形外殼采用由可伐合金材料沖制成的金屬底座,借助封接玻璃,在氮?dú)獗Wo(hù)氣氛下將可伐合金引線按照規(guī)定的布線方式熔裝在金屬底座上,經(jīng)過引線端頭的切平和磨光后,再鍍鎳、金等惰性金屬給與保護(hù)。在底座中心進(jìn)行芯片
27、安裝和在引線端頭用鋁硅絲進(jìn)行鍵合。組裝完成后,用10號(hào)鋼帶所沖制成的鍍鎳封帽進(jìn)行封裝,構(gòu)成氣密的、堅(jiān)固的封裝結(jié)構(gòu)。金屬封裝的優(yōu)點(diǎn)是氣密性好,不受外界環(huán)境因素的影響。它的缺點(diǎn)是價(jià)格昂貴,外型靈活性小,不能滿足半導(dǎo)體器件日益快速發(fā)展的需要?,F(xiàn)在,金屬封裝所占的市場(chǎng)份額已越來越小,幾乎已沒有商品化的產(chǎn)品。少量產(chǎn)品用于特殊性能要求的軍事或航空航天技術(shù)中。</p><p> 2.2.2 陶瓷封裝</p>&
28、lt;p> 陶瓷封裝是繼金屬封裝后發(fā)展起來的一種封裝形式,它象金屬封裝一樣,也是氣密性的,但價(jià)格低于金屬封裝,而且,經(jīng)過幾十年的不斷改進(jìn),陶瓷封裝的性能越來越好,尤其是陶瓷流延技術(shù)的發(fā)展,使得陶瓷封裝在外型、功能方面的靈活性有了較大的發(fā)展。目前,IBM的陶瓷基板技術(shù)已經(jīng)達(dá)到100多層布線,可以將無源器件如電阻、電容、電感等都集成在陶瓷基板上,實(shí)現(xiàn)高密度封裝。陶瓷封裝由于它的卓越性能,在航空航天、軍事及許多大型計(jì)算機(jī)方面都有廣泛的
29、應(yīng)用,占據(jù)了約10%左右的封裝市場(chǎng)(從器件數(shù)量來計(jì))。陶瓷封裝除了有氣密性好的優(yōu)點(diǎn)之外,還可實(shí)現(xiàn)多信號(hào)、地和電源層結(jié)構(gòu),并具有對(duì)復(fù)雜的器件進(jìn)行一體化封裝的能力。它的散熱性也很好。缺點(diǎn)是燒結(jié)裝配時(shí)尺寸精度差、介電系數(shù)高(不適用于高頻電路),價(jià)格昂貴,一般主要應(yīng)用于一些高端產(chǎn)品中。</p><p> 2.2.3 塑料封裝</p><p> 塑料封裝自七十年代以來發(fā)展更為迅猛,已占據(jù)了90%
30、(封裝數(shù)量)以上的封裝市場(chǎng)份額,而且,由于塑料封裝在材料和工藝方面的進(jìn)一步改進(jìn),這個(gè)份額還在不斷上升。塑料封裝最大的優(yōu)點(diǎn)是價(jià)格便宜,其性能價(jià)格比十分優(yōu)越。隨著芯片鈍化層技術(shù)和塑料封裝技術(shù)的不斷進(jìn)步,尤其是在八十年代以來,半導(dǎo)體技術(shù)有了革命性的改進(jìn),芯片鈍化層質(zhì)量有了根本的提高,使得塑料封裝盡管仍是非氣密性的,但其抵抗潮氣侵入而引起電子器件失效的能力已大大提高了,因此,一些以前使用金屬或陶瓷封裝的應(yīng)用,也已漸漸被塑料封裝所替代。</
31、p><p> 2.2.4 SIP、DIP和SO封裝</p><p> SIP是從封裝體的一邊引出管腳。通常,它們是通孔式的,管腳插入印刷電路板的金屬孔內(nèi)。這種形式的一種變化是鋸齒型單列式封裝(ZIP),它的管腳仍是從封裝體的一邊伸出,但排列成鋸齒型。這樣,在一個(gè)給定的長(zhǎng)度范圍內(nèi),提高了管腳密度。SIP的吸引人之處在于它們占據(jù)最少的電路板空間,但在許多體系中,封閉式的電路板限制了SIP的高度
32、和應(yīng)用。</p><p> DIP封裝的管腳從封裝體的兩端直線式引出。DIP的外形通常是長(zhǎng)方形的,管腳從長(zhǎng)的一邊伸出。絕大部分的DIP是通孔式,但亦可是表面貼裝式。對(duì)DIP來說,其管腳數(shù)通常在8至64(8、14、16、18、20、22、24、28、40、48、52和64)之間,其中,24至40管腳數(shù)的器件最常用于邏輯器件和處理器,而14至20管腳的多用于記憶器件,主要取決于記憶體的尺寸和外形。當(dāng)器件的管腳數(shù)超過
33、48時(shí),DIP結(jié)構(gòu)變得不實(shí)用并且浪費(fèi)電路板空間。</p><p> 稱為芯片載體(chip carrier)或quad的封裝,四邊都有管腳,對(duì)高引腳數(shù)器件來說,是較好的選擇。之所以稱之為芯片載體,可能是由于早期為保護(hù)多引腳封裝的四邊引腳,絕大多數(shù)模塊是封裝在預(yù)成型載體中。而后成型技術(shù)的進(jìn)步及塑料封裝可靠性的提高,已使高引腳數(shù)四邊封裝成為常規(guī)封裝技術(shù)。其它一些縮寫字可以區(qū)分是否有引腳或焊盤的互連,或是塑料封裝還是
34、陶瓷封裝體。諸如LLC(lead chip carrier),LLCC(leadless chip carrier)用于區(qū)分管腳類型。PLCC(plastic leaded chip carrier)是最常見的四邊封裝。PLCC的管腳間距是0.050英寸,與DIP相比,其優(yōu)勢(shì)是顯而易見的。PLCC的引腳數(shù)通常在20至84之間(20、28、32、44、52、68和84)。</p><p> 還有一種劃分封裝類型的
35、參數(shù)是封裝體的緊湊程度。小外形封裝通常稱為SO,SOP或SOIC。它封裝的器件相對(duì)于它的芯片尺寸和所包含的引腳數(shù)來說,在電路板上的印跡(footprint)是出乎尋常的小。它們能達(dá)到如此的緊湊程度是由于其引腳間距非常小,框架特殊設(shè)計(jì),以及模塊厚度極薄。在SO封裝結(jié)構(gòu)中,兩邊或四邊引腳設(shè)計(jì)都有。這些封裝的特征是在芯片周圍的模封料及其薄,因而,SO封裝發(fā)展和可靠性的關(guān)鍵是模封料在防止開裂方面的性能。SOP的引腳數(shù)一般為8、14和16。<
36、;/p><p> 2.2.5 四方扁平封裝</p><p> 四方扁平封裝(QFP)其實(shí)是微細(xì)間距、薄體LCC,在正方或長(zhǎng)方形封裝的四周都有引腳。其管腳間距比PLCC的0.050英寸還要細(xì),引腳呈歐翅型與PLCC的J型不同。QFP可以是塑料封裝,可以是陶瓷封裝,塑料QFP通常稱為PQFP。PQFP有二種主要的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn),電子工業(yè)協(xié)會(huì)(EIA)的連接電子器件委員會(huì)(Joint Electron
37、ic Device Committee, JEDEC)注冊(cè)的PQFP是角上有凸緣的封裝,以便在運(yùn)輸和處理過程中保護(hù)引腳。在所有的引腳數(shù)和各種封裝體尺寸中,其引腳間距是相同的,都為0.025英寸。日本電子工業(yè)協(xié)會(huì)(EIAJ)注冊(cè)的PQFP沒有凸緣,其引腳間距用米制單位,并有三種不同的間距:1.0mm,0.8mm和0.65mm,八種不同的封裝體尺寸,從10mm*10mm到40mm*40mm,不規(guī)則地分布到三種不同的引腳間距上,提供十五種不同
38、的封裝形式,其引腳數(shù)可達(dá)232個(gè)。隨著引腳數(shù)的增加,還可以增加封裝的類型?同一模塊尺寸可以有不同的引腳數(shù)目,是封裝技術(shù)的一個(gè)重要進(jìn)展,這意味著同一模具、同一切筋打彎工具可用于一系列引腳數(shù)的封裝。但是,EIAJ的PQFP沒有凸緣,這</p><p> 2.2.6 BGA封裝</p><p> 當(dāng)引腳數(shù)目更高時(shí),采用PQFP的封裝形式就不太合適了,這時(shí),BGA封裝應(yīng)該是比較好的選擇,其中P
39、BGA也是近年來發(fā)展最快的封裝形式之一。BGA封裝技術(shù)是在模塊底部或上表面焊有許多球狀凸點(diǎn),通過這些焊料凸點(diǎn)實(shí)現(xiàn)封裝體與基板之間互連的一種先進(jìn)封裝技術(shù)。廣義的BGA封裝還包括矩柵陣列(LGA)和柱柵陣列(CGA)。矩柵陣列封裝是一種沒有焊球的重要封裝形式,它可直接安裝到印制線路板(PCB)上,比其它BGA封裝在與基板或襯底的互連形式要方便得多,被廣泛應(yīng)用于微處理器和其他高端芯片封裝上。BGA技術(shù)在二十世紀(jì)九十年代中期開始應(yīng)用,現(xiàn)在已成為
40、高端器件的主要封裝技術(shù),同時(shí),它仍處于上升期,發(fā)展空間還相當(dāng)大。目前用于BGA封裝的基板有BT樹脂、柔性帶、陶瓷、FR-5等等。在BGA封裝中,基板成本要占總成本的80%左右。BT樹脂是BGA封裝中應(yīng)用最廣的基板,同時(shí),隨著BGA封裝在整個(gè)IC封裝市場(chǎng)地位的不斷提高,也導(dǎo)致對(duì)基板材料數(shù)量和種類的需求不斷增長(zhǎng)。</p><p><b> 2.3 小結(jié)</b></p><p
41、> 綜上所述,電子封裝技術(shù)所涉及的范圍相當(dāng)廣泛,本培訓(xùn)課程不可能一一詳述。在本節(jié)中,將介紹最普遍的塑料封裝技術(shù)及相關(guān)的一些材料。一般所說的塑料封裝,如無特別的說明,都是指轉(zhuǎn)移成型封裝(transfer molding),封裝工序一般可分成二部分:在用塑封料包封起來以前的工藝步驟稱為裝配(assembly)或前道操作(front end operation),在成型之后的工藝步驟稱為后道操作(back end operation)
42、。在前道工序中,凈化室級(jí)別為100到1,000級(jí)。有些成型工序也在凈化室中進(jìn)行,但是,機(jī)械水壓機(jī)和預(yù)成型品中的粉塵,很難使凈化室達(dá)到10,000級(jí)以上。</p><p> 一般來講,隨著硅芯片越來越復(fù)雜和日益趨向微型化,將使更多的裝配和成型工序在粉塵得到控制的環(huán)境下進(jìn)行。轉(zhuǎn)移成型工藝一般包括晶圓減薄(wafer ground)、晶圓切割(wafer dicing or wafer saw)、芯片貼裝(die a
43、ttach or chip bonding)、引線鍵合(wire bonding)、轉(zhuǎn)移成型(transfer molding)、后固化(post cure)、去飛邊毛刺(deflash)、上焊錫(solder plating)、切筋打彎(trim and form)、打碼(marking)等多道工序。</p><p> 第3章 電子封裝匯總</p><p> 3.1 封裝技術(shù)的方法
44、與原理</p><p> 塑料封裝的流程圖如圖所示,現(xiàn)將IC芯片粘接于用腳架的芯片承載座上,然后將其移入鑄模機(jī)中灌入樹脂原料將整個(gè)IC芯片密封,經(jīng)烘烤硬化與引腳截?cái)嗪蠹纯傻玫剿璧某善贰?lt;/p><p> 塑料封裝的化學(xué)原理可以通過了解他的主要材料的性能與結(jié)構(gòu)了解。常用塑料封裝材料有環(huán)氧樹脂、硅氧型高聚物、聚酰亞胺等</p><p> 環(huán)氧樹脂是在其分子結(jié)構(gòu)中
45、兩個(gè)活兩個(gè)以上環(huán)氧乙烷換的化合物。它是穩(wěn)定的線性聚合物,儲(chǔ)存較長(zhǎng)時(shí)間不會(huì)固化變質(zhì),在加入固化劑后才能交聯(lián)固化成熱固性塑料。硅氧型高聚物的基本結(jié)構(gòu)是硅氧交替的共價(jià)鍵和諒解在硅原子上的羥基。因此硅氧型高聚物既具有一般有機(jī)高聚物的可塑性、彈性及可溶性等性質(zhì),又具有類似于無極高聚物——石英的耐熱性與絕緣性等優(yōu)點(diǎn)。聚酰亞胺又被稱為高溫下的“萬能”塑料。它具有耐高溫、低溫,耐高劑量的輻射,且強(qiáng)度高的特點(diǎn)。</p><p>
46、 3.2 塑料封裝技術(shù)的發(fā)展</p><p> 塑封料作為IC封裝業(yè)主要支撐材料,它的發(fā)展,是緊跟整機(jī)與封裝技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展。 整機(jī)的發(fā)展趨勢(shì):輕、?。蓴y帶性);高速化;增加功能;提高可靠性;降低成本;對(duì)環(huán)境污染少。封裝技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì):封裝外形上向小、薄、輕、高密度方向發(fā)展;規(guī)模上由單芯片向多芯片發(fā)展;結(jié)構(gòu)上由兩維向三維組裝發(fā)展;封裝材料由陶封向塑封發(fā)展;價(jià)格上成本呈下降趨勢(shì)。 隨著高新技術(shù)日新月異不斷發(fā)展對(duì)
47、半導(dǎo)體應(yīng)用技術(shù)不斷促進(jìn),所以對(duì)其環(huán)氧封裝材料提出了更加苛刻的要求,今后環(huán)氧塑封料主要向以下五個(gè)方面發(fā)展: </p><p> 1 向適宜表面封裝的高性化和低價(jià)格化方向發(fā)展。為了滿足塑封料高性化和低價(jià)格,適宜這種要求的新型環(huán)氧樹脂不斷出現(xiàn),結(jié)晶性樹脂,因分子量低,熔融粘度低,但熔點(diǎn)高具有優(yōu)良的操作性,適用于高流動(dòng)性的封裝材料。目前已經(jīng)有的結(jié)晶性環(huán)氧樹脂,為了得到適用于封裝材料的熔點(diǎn)范圍,多數(shù)接枝了柔軟的分子鏈段,
48、但是成型性和耐熱性難以滿足封裝材料的要求,所以必須開發(fā)新的結(jié)晶性的環(huán)氧樹脂。 </p><p> 2 向適宜倒裝型的封裝材料方向發(fā)展 。最近隨著電子工業(yè)的發(fā)展,作為提高高密度安裝方法,即所謂裸管芯安裝引起人們的高度重視。在裸管芯倒裝法安裝中,為了保護(hù)芯片防止外界環(huán)境的污染,利用液體封裝材料。在液體封裝料中,要求對(duì)芯片和基板間隙的浸潤(rùn)和充填,因這種浸潤(rùn)和充填最終是通過毛細(xì)管原理進(jìn)行的,因此要求樹脂具有非常高的流動(dòng)
49、性,同時(shí)無機(jī)填充率要降低。但液體封裝料與芯片之間的應(yīng)力會(huì)增大,因此要求塑封料必須具有低的線膨脹系數(shù),現(xiàn)在國外采用具有萘環(huán)結(jié)構(gòu)的新型環(huán)氧樹脂制備塑封料。 </p><p> 3 BGA、CSP等新型封裝方式要求開發(fā)新型材料。裸管芯安裝方法,雖然是實(shí)現(xiàn)高密度化封裝的理想方法,但目前仍有一些問題,如安裝裝置和芯片質(zhì)量保證等,出現(xiàn)了一種新的封裝方式即 BGA或CSP,這是一種格子接頭方式的封裝,不僅可以實(shí)現(xiàn)小型化、輕量
50、化而且可達(dá)到高速傳遞化,目前這種封裝形式正處于快速增長(zhǎng)期。但這種工藝成型后在冷卻工藝出現(xiàn)翹曲現(xiàn)象,這是因?yàn)榛迮c封裝材料收縮率不同引起的??朔椒ㄊ潜M量使封裝料與基板線膨脹系數(shù)接近,從封裝材料和基板粘合劑兩方面均需開發(fā)新型塑封料的同時(shí)提高保護(hù)膜與材料的密著性。 </p><p> 4 高散熱性的塑封料。隨著電子儀器的發(fā)展,封裝材料散熱性的課題已提出,因?yàn)樗芊饬匣w材料—— 環(huán)氧樹脂屬于有機(jī)高分子材料,基于分子結(jié)
51、構(gòu)的不同,熱傳導(dǎo)性的改善受到局限,因此從引線框架的金屬材料著手,采用42#銅合金,因?yàn)橛斜容^高的熱傳導(dǎo)率,銅合金引線框架表面有一層氧化膜,因此要求塑封料與之有良好的粘接密著性。國外有些廠家正在研究開發(fā),通過引入鏈段,提高范德瓦爾引力,以提高塑封料與銅框架的引力。 </p><p> 5 綠色環(huán)保型塑封料:隨著全球環(huán)保呼聲日益高漲,綠色環(huán)保封裝是市場(chǎng)發(fā)展的要求,上海常祥實(shí)業(yè) 采用不含阻燃劑的環(huán)氧樹脂體系或更高填充
52、量不含阻燃劑的綠色環(huán)保塑封料已經(jīng)全面上市。也有一些國外公司正在試用含磷化合物,包括紅磷和瞵。 </p><p> 總之,隨著集成電路向高超大規(guī)模、超高速、高密度、大功率、高精度、多功能方向的迅速發(fā)展及電子封裝技術(shù)由通孔插裝(PHT)向表面貼裝技術(shù)發(fā)展,封裝形式由雙列直插(DIP)向(薄型)四邊引線扁平封裝(TQFP/QFP)和球柵陣列塑裝(PBGA)以及芯片尺寸封裝(CSP)方向發(fā)展,塑封料專家劉志認(rèn)為:塑封料
53、的發(fā)展方向正在朝著無后固化、高純度、高可靠性、高導(dǎo)熱、高耐焊性、高耐濕性、高粘接強(qiáng)度、低應(yīng)力、低膨脹、低粘度、易加工、低環(huán)境污染等方向發(fā)展。</p><p> 3.3 其他封裝技術(shù)</p><p> 1.多芯片(MCP)封裝。多芯片封裝(MCP,Multichip Package),許多FLASH就是采用這種封裝,通常把ROM和RAM封裝在一塊兒。多芯封裝(MCP)技術(shù)是在高密度多層互
54、連基板上,采用微焊接、封裝工藝將構(gòu)成電子電路的各種微型元器件(裸芯片及片式元器件)組裝起來,形成高密度、高性能、高可靠性的微電子產(chǎn)品(包括組件、部件、子系統(tǒng)、系統(tǒng))。它是為適應(yīng)現(xiàn)代電子系統(tǒng)短、小、輕、薄和高速、高性能、高可靠、低成本的發(fā)展方向而在PCB和SMT的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的新一代微電子封裝與組裝技術(shù),是實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)集成的有力手段。</p><p> 2.PGA(Pin Grid Array)與PAC(Pad A
55、rray Carrier)。圖1-8(a)描述了LCC(Leadless Chip Carrier)與PAC的差別。顯然,隨著有源器件I/O管腳的增加,對(duì)于I/O管腳分布在四周的封裝形式,其整個(gè)尺寸也以驚人的速度龐大起來,這與封裝尺寸最小化趨勢(shì)背道而馳。從圖1-8(b)可以看出不同封裝形式的管腳數(shù)與芯片表面積的變化關(guān)系。很明顯,對(duì)于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路,當(dāng)半導(dǎo)體元器件的I/O管腳數(shù)超過100時(shí),PGA和PAC封裝具有不可替代的優(yōu)勢(shì)。
56、</p><p> 3球形陣列封裝BGA是封裝形式的一大進(jìn)步,封裝材料有塑料或陶瓷等。PBGA的焊球一般為可回流的共晶合金Sn62Pb36Ag2或Sn63Pb37,在焊接時(shí)自對(duì)中能力很好;CBGA和TBGA的焊球?yàn)镾n10Pb60,熔點(diǎn)溫度很高(304度左右),在回流焊時(shí)不會(huì)融化,其自對(duì)中能力較差。隨著無鉛化的逐步實(shí)施,大部分BGA器件開始采用SnAgCu作為引腳材料。</p><p>
57、 4倒裝芯片 (Flip-Chip)。倒裝芯片是一種IC芯片與下一級(jí)封裝連接的技術(shù)。IC的活化面對(duì)著基板,在封裝效率方面,倒裝芯片技術(shù)達(dá)到了減少芯片尺寸的終點(diǎn)。倒裝芯片的圖電技術(shù)包括鍍金屬凸點(diǎn)、金柱、金屬柱加聚合物、銅柱、焊料凸點(diǎn)和聚合物凸點(diǎn)等。倒裝芯片的鍵合工藝包括熱壓、各向異性導(dǎo)電膠(ACA)、各向同性導(dǎo)電膠(ICA)、非導(dǎo)電膠和焊接等。</p><p> 3.3.1 DIP直插式封裝</p>
58、<p> DIP(DualIn-line Package)是指采用雙列直插形式封裝的集成電路芯片,絕大多數(shù)中小規(guī)模集成電路(IC)均采用這種封裝形式,其引腳數(shù)一般不超過100個(gè)。采用DI P封裝的CPU芯片有兩排引腳,需要插入到具有DIP結(jié)構(gòu)的芯片插座上。當(dāng)然,也可以直接插在有相同焊孔數(shù)和幾何排列的電路板上進(jìn)行焊接。DIP封裝的芯片在從芯片插座上插拔時(shí)應(yīng)特別小心,以免損壞引腳。 DIP封裝具有以下特點(diǎn):1.適合在PCB
59、 (印刷電路板)上穿孔焊接,操作方便。2.芯片面積與封裝面積之間的比值較大,故體積也較大。Intel系列CPU中8088就采用這種封裝形式,緩存(Cache )和早期的內(nèi)存芯片也是這種封裝形式。</p><p> 3.3.2 QFP塑料方型扁平式封裝和PFP塑料扁平組件式封裝</p><p> QFP(Plastic Quad Flat Package)封裝的芯片引腳之間距離很小,
60、管腳很細(xì),一般大規(guī)?;虺笮图呻娐范疾捎眠@種封裝形式, 其引腳數(shù)一般在100個(gè)以上。用這種形式封裝的芯片必須采用SMD(表面安裝設(shè)備技術(shù))將芯片與主板焊接起來。采用S MD安裝的芯片不必在主板上打孔, 一般在主板表面上有設(shè)計(jì)好的相應(yīng)管腳的焊點(diǎn)。將芯片各腳對(duì)準(zhǔn)相應(yīng)的焊點(diǎn),即可實(shí)現(xiàn)與主板的焊接。用這種方法焊上去的芯片,如果不用專用工具是很難拆卸下來的。</p><p> PFP(Plastic Flat Pack
61、age)方式封裝的芯片與QFP方式基本相同。唯一的區(qū)別是QFP一般為正方形,而PFP既可以是正方形,也可以是長(zhǎng)方形。</p><p> QFP/PFP封裝具有以下特點(diǎn):</p><p> 1.適用于SMD表面安裝技術(shù)在P CB電路板上安裝布線。</p><p><b> 2.適合高頻使用。</b></p><p>
62、 3.操作方便,可靠性高。</p><p> 4.芯片面積與封裝面積之間的比值較小。</p><p> Intel系列CPU中80286 、80386和某些486主板采用這種封裝形式。</p><p> 3.3.3 PGA插針網(wǎng)格陣列封裝</p><p> PGA(Pin Grid Array Package)芯片封裝形式在芯片的內(nèi)
63、外有多個(gè)方陣形的插針,每個(gè)方陣形插針沿芯片的四周間隔一定距離排列。根據(jù)引腳數(shù)目的多少,可以圍成2-5圈。安裝時(shí),將芯片插入專門的PGA插座。為使CPU能夠更方便地安裝和拆卸,從 486芯片開始,出現(xiàn)一種名為ZIF的CPU插座,專門用來滿足PGA封裝的CPU在安裝和拆卸上的要求。</p><p> ZIF(Zero Inser tion Force Socket)是指零插拔力的插座。把這種插座上的扳手輕輕抬起,C
64、PU就可很容易、輕松地插入插座中。然后將扳手壓回原處,利用插座本身的特殊結(jié)構(gòu)生成的擠壓力,將CPU的引腳與插座牢牢地接觸,絕對(duì)不存在接觸不良的問題。而拆卸 CPU芯片只需將插座的扳手輕輕抬起,則壓力解除,CPU芯片即可輕松取出。</p><p> PGA封裝具有以下特點(diǎn):</p><p> 1.插拔操作更方便,可靠性高。</p><p> 2.可適應(yīng)更高的頻率
65、。</p><p> I ntel系列C PU中,80486和Pentium、Pentium Pro均采用這種封裝形式。</p><p> 3.3.4 BGA球柵陣列封裝</p><p> 隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展,對(duì)集成電路的封裝要求更加嚴(yán)格。這是因?yàn)榉庋b技術(shù)關(guān)系到產(chǎn)品的功能性,當(dāng)IC的頻率超過100MHz時(shí),傳統(tǒng)封裝方式可能會(huì)產(chǎn)生所謂的“CrossTalk”
66、現(xiàn)象,而且當(dāng)IC的管腳數(shù)大于208 Pin時(shí),傳統(tǒng)的封裝方式有其困難度。因此,除使用QFP封裝方式外,現(xiàn)今大多數(shù)的高腳數(shù)芯片(如圖形芯片與芯片組等)皆轉(zhuǎn)而使用BGA(Ball Grid Array P ackage)封裝技術(shù)。BGA一出現(xiàn)便成為CPU、主板上南/北橋芯片等高密度、高性能、多引腳封裝的最佳選擇。</p><p> BGA封裝技術(shù)又可詳分為五大類:</p><p> 1.P
67、BGA(Plasric BG A)基板:一般為2-4層有機(jī)材料構(gòu)成的多層板。Intel系列CPU中,Pentium II、I II、IV處理器均采用這種封裝形式。</p><p> 2.CBGA(CeramicBGA)基板:即陶瓷基板,芯片與基板間的電氣連接通常采用倒裝芯片(FlipChip,簡(jiǎn)稱FC)的安裝方式。Intel系列CPU中,Pentium I、II、Pentium Pro處理器均采用過這種封裝形式
68、。</p><p> 3. FCBGA(FilpChipBGA)基板:硬質(zhì)多層基板。</p><p> 4.TBGA(TapeBGA)基板:基板為帶狀軟質(zhì)的1-2層PCB電路板。</p><p> 5.CDPBGA(Carity Do wn PBGA)基板:指封裝中央有方型低陷的芯片區(qū)(又稱空腔區(qū))。</p><p> BGA封裝具有
69、以下特點(diǎn):</p><p> 1.I/O引腳數(shù)雖然增多,但引腳之間的距離遠(yuǎn)大于QFP封裝方式,提高了成品率。</p><p> 2.雖然BGA的功耗增加,但由于采用的是可控塌陷芯片法焊接,從而可以改善電熱性能。</p><p> 3.信號(hào)傳輸延遲小,適應(yīng)頻率大大提高。</p><p> 4.組裝可用共面焊接,可靠性大大提高。</
70、p><p> BGA封裝方式經(jīng)過十多年的發(fā)展已經(jīng)進(jìn)入實(shí)用化階段。1987年,日本西鐵城(Citizen)公司開始著手研制塑封球柵面陣列封裝的芯片(即BGA)。而后,摩托羅拉、康柏等公司也隨即加入到開發(fā)BGA的行列。1993年,摩托羅拉率先將BGA應(yīng)用于移動(dòng)電話。同年,康柏公司也在工作站、PC電腦上加以應(yīng)用。直到五六年前,Intel公司在電腦CPU 中(即奔騰II、奔騰III、奔騰IV等),以及芯片組(如i850)中
71、開始使用BGA,這對(duì)B GA應(yīng)用領(lǐng)域擴(kuò)展發(fā)揮了推波助瀾的作用。目前,BGA已成為極其熱門的IC封裝技術(shù),其全球市場(chǎng)規(guī)模在200 0年為12億塊,預(yù)計(jì)2005年市場(chǎng)需求將比2000年有70%以上幅度的增長(zhǎng)。</p><p> 3.3.5 CSP芯片尺寸封裝</p><p> 隨著全球電子產(chǎn)品個(gè)性化、輕巧化的需求蔚為風(fēng)潮,封裝技術(shù)已進(jìn)步到CSP(Chip Size P ackage)。它減
72、小了芯片封裝外形的尺寸,做到裸芯片尺寸有多大,封裝尺寸就有多大。即封裝后的IC尺寸邊長(zhǎng)不大于芯片的1.2倍,IC面積只比晶粒(Die)大不超過1.4倍。</p><p> CSP封裝又可分為四類:</p><p> 1.Lead Frame Type(傳統(tǒng)導(dǎo)線架形式),代表廠商有富士通、日立、Rohm、高士達(dá)(Goldstar)等等。</p><p> 2.R
73、igid Interposer Type( 硬質(zhì)內(nèi)插板型),代表廠商有摩托羅拉、索尼、東芝、松下等等。</p><p> 3. Flexible Interposer Type(軟質(zhì)內(nèi)插板型),其中最有名的是Tessera公司的microBGA,CTS的sim-BGA也采用相同的原理。其他代表廠商包括通用電氣(GE)和NEC。</p><p> 4.Wafer Level Packag
74、e(晶圓尺寸封裝):有別于傳統(tǒng)的單一芯片封裝方式,WLCSP是將整片晶圓切割為一顆顆的單一芯片,它號(hào)稱是封裝技術(shù)的未來主流,已投入研發(fā)的廠商包括FCT、Aptos、卡西歐、EPIC、富士通、三菱電子等。</p><p> CSP封裝具有以下特點(diǎn):</p><p> 1.滿足了芯片I/O引腳不斷增加的需要。</p><p> 2.芯片面積與封裝面積之間的比值很小
75、。</p><p> 3.極大地縮短延遲時(shí)間。</p><p> CSP封裝適用于腳數(shù)少的IC ,如內(nèi)存條和便攜電子產(chǎn)品。未來則將大量應(yīng)用在信息家電(IA)、數(shù)字電視(DTV)、電子書(E-Book)、無線網(wǎng)絡(luò)WLAN/GigabitEthemet、ADSL/手機(jī)芯片、藍(lán)芽(Bluetooth)等新興產(chǎn)品中。</p><p> 3.3.6 MCM多芯片模塊&l
76、t;/p><p> 為解決單一芯片集成度低和功能不夠完善的問題,把多個(gè)高集成度、高性能、高可靠性的芯片,在高密度多層互聯(lián)基板上用SMD技術(shù)組成多種多樣的電子模塊系統(tǒng),從而出現(xiàn)MCM(Mult i Chip Model)多芯片模塊系統(tǒng)。</p><p> MCM具有以下特點(diǎn):</p><p> 1.封裝延遲時(shí)間縮小,易于實(shí)現(xiàn)模塊DIM 單列直插式。</p>
77、;<p> QUIP 蜘蛛腳狀四排直插式。</p><p> DBGA BGA系列中陶瓷芯片。</p><p> CBGA BGA系列中金屬封裝芯片。</p><p> MODULE 方形狀金屬殼雙列直插式。</p><p> RQFP QFP封裝系列中,表面帶金屬散裝體。</p><p>
78、DIMM 電路正面或背面鑲有LCC封裝小芯片,陶瓷,雙列直插式。</p><p> DIP-BATTERY 電池與微型芯片內(nèi)封SRAM芯片,塑料雙列直插。</p><p> 3.3.7 各封裝形式詳細(xì)圖樣</p><p><b> 第4章 總結(jié)</b></p><p> 隨著硅芯片越來越復(fù)雜和日益趨向微型化,將
79、使更多的裝配和成型工序在粉塵得到控制的環(huán)境下進(jìn)行。轉(zhuǎn)移成型工藝一般包括晶圓減薄(wafer ground)、晶圓切割(wafer dicing or wafer saw)、芯片貼裝(die attach or chip bonding)、引線鍵合(wire bonding)、轉(zhuǎn)移成型(transfer molding)、后固化(post cure)、去飛邊毛刺(deflash)、上焊錫(solder plating)、切筋打彎(trim
80、 and form)、打碼(marking)等多道工序。</p><p> 下面,將對(duì)各個(gè)工序作簡(jiǎn)單的介紹。</p><p> 晶圓減薄是在專門的設(shè)備上,從晶圓背面進(jìn)行研磨,將晶圓減薄到適合封裝的程度。由于晶圓的尺寸越來越大(從4英寸、5英寸、6英寸,發(fā)展到8英寸、甚至12英寸),為了增加晶圓的機(jī)械強(qiáng)度,防止晶圓在加工過程中發(fā)生變形、開裂,晶圓的厚度也一直在增加。但是,隨著系統(tǒng)朝輕薄短
81、小的方向發(fā)展,芯片封裝后模塊的厚度變得越來越薄,因此,在封裝之前,一定要將晶圓的厚度減薄到可以接受的程度,以滿足芯片裝配的要求。如6英寸晶圓,厚度是675微米左右,減薄后一般為150微米。在晶圓減薄的工序中,受力的均勻性將是關(guān)鍵,否則,晶圓很容易變形、開裂。晶圓減薄后,可以進(jìn)行劃片(sawing or dicing)。較老式的劃片機(jī)是手動(dòng)操作的,現(xiàn)在,一般的劃片機(jī)都已實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。劃片機(jī)同時(shí)配備脈沖激光束、鉆石尖的劃片工具或是包金剛石的
82、鋸刀。無論是部分劃線還是完全分割硅片,鋸刀都是最好的,因?yàn)樗鼊澇龅倪吘壵R,很少有碎屑和裂口產(chǎn)生。硅芯片常常稱為die,也是由于這個(gè)裝配工序(die的原意是骰子,即小塊的方形物,劃開后的芯片一般是很小的方形體,很象散落一地的骰子)。已切割下來的芯片要貼裝到框架的中間焊盤(die-paddle)上。焊</p><p> 用芯片粘結(jié)劑貼裝的工藝過程如下:用針筒或注射器將粘結(jié)劑涂布到芯片焊盤上(要有合適的厚度和輪廓,
83、對(duì)較小芯片來講,內(nèi)圓角形可提供足夠的強(qiáng)度,但不能太靠近芯片表面,否則會(huì)引起銀遷移現(xiàn)象),然后用自動(dòng)拾片機(jī)(機(jī)械手)將芯片精確地放置到芯片焊盤的粘結(jié)劑上面。對(duì)于大芯片,誤差<25微米(1 mil),角誤差<0.3°。對(duì)15到30微米厚的粘結(jié)劑,壓力在5N/cm2。芯片放置不當(dāng),會(huì)產(chǎn)生一系列問題:如空洞造成高應(yīng)力;環(huán)氧粘結(jié)劑在引腳上造成搭橋現(xiàn)象,引起內(nèi)連接問題;在引線鍵合時(shí)造成框架翹曲,使得一邊引線應(yīng)力大,一邊引線應(yīng)力
84、小,而且為了找準(zhǔn)芯片位置,還會(huì)使引線鍵合的生產(chǎn)力降低,成品率下降。聚合物粘結(jié)劑通常需要進(jìn)行固化處理,環(huán)氧基質(zhì)粘結(jié)劑的固化條件一般是150°C,1小時(shí)(也有用186°C,0.5小時(shí)固化條件的)。聚酰亞胺的固化溫度要更高一些,時(shí)間也更長(zhǎng)。具體的工藝參數(shù)可通過差分量熱儀(Differential Scanning Calorimetry, DSC)實(shí)驗(yàn)來確定。</p><p> 在塑料封裝中,引線
85、鍵合是主要的互連技術(shù),盡管現(xiàn)在已發(fā)展了TAB(tape automated bonding)、FC(flip chip)等其它互連技術(shù),但占主導(dǎo)地位的技術(shù)仍然是引線鍵合技術(shù)。在塑料封裝中使用的引線主要是金線,其直徑一般在0.025mm到0.032mm(1.00mil到1.25mil)。引線的長(zhǎng)度常在1.5mm到3mm (60mil到120mil) 之間,而弧圈的高度可比芯片所在平面到0.75mm(30mil)。鍵合技術(shù)有熱壓焊(ther
86、mocompression),熱超聲焊(thermosonic)等。這些技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是容易形成球形(所謂的球焊技術(shù),ball bonding),并且可以防止金線氧化。為了降低成本,也在研究用其它金屬絲,如鋁、銅、銀、鈀等來替代金絲鍵合。熱壓焊的條件是二種金屬表面緊緊接觸,控制時(shí)間、溫度、壓力,使得二種金屬發(fā)生連接。表面粗糙(不平整)、有氧化層形成或是有化學(xué)沾污、吸潮等都會(huì)影響到鍵合效果,降低鍵合強(qiáng)度。熱壓焊的溫度在300°C到4
87、00°C,時(shí)間一般為40毫秒(通常,加上尋找鍵合位置等程序,鍵合速度是每秒二線)。超聲焊的優(yōu)點(diǎn)是可避免高溫,因?yàn)?lt;/p><p> 塑料封裝的成型技術(shù)也有許多種,包括轉(zhuǎn)移成型技術(shù)、噴射成型技術(shù)(inject molding)、預(yù)成型技術(shù)(pre-molding)等,但最主要的成型技術(shù)是轉(zhuǎn)移成型技術(shù)(transfer molding)。轉(zhuǎn)移成型使用的材料一般為熱固性聚合物(thermosetting p
88、olymer)。所謂的熱固性聚合物是指在低溫時(shí),聚合物是塑性的或流動(dòng)的,但當(dāng)將其加熱到一定溫度時(shí),即發(fā)生所謂的交聯(lián)反應(yīng)(cross-linking),形成剛性固體。再將其加熱時(shí),只能變軟而不可能熔化、流動(dòng)。在塑料封裝中使用的典型成型技術(shù)的工藝過程如下:將已貼裝好芯片并完成引線鍵合的框架帶置于模具中,將塑封料的預(yù)成型塊在預(yù)熱爐中加熱(預(yù)熱溫度在90℃到95℃之間),然后放進(jìn)轉(zhuǎn)移成型機(jī)的轉(zhuǎn)移罐中。在轉(zhuǎn)移成型活塞的壓力之下,塑封料被擠壓到澆道
89、中,并經(jīng)過澆口注入模腔(在整個(gè)過程中,模具溫度保持在170℃到175℃左右)。塑封料在模具中快速固化,經(jīng)過一段時(shí)間的保壓,使得模塊達(dá)到一定的硬度,然后用頂桿頂出模塊,成型過程就完成了。</p><p> 用轉(zhuǎn)移成型法密封微電子器件,有許多優(yōu)點(diǎn)。它的技術(shù)和設(shè)備都比較成熟,工藝周期短,成本低,幾乎沒有后整理(finish)方面的問題,適合于大批量生產(chǎn)。當(dāng)然,它也有一些明顯的缺點(diǎn):塑封料的利用率不高(在轉(zhuǎn)移罐、壁和澆
90、道中的材料均無法重復(fù)使用,約有20%到40%的塑封料被浪費(fèi));使用標(biāo)準(zhǔn)的框架材料,對(duì)于擴(kuò)展轉(zhuǎn)移成型技術(shù)至較先進(jìn)的封裝技術(shù)(如TAB等)不利;對(duì)于高密度封裝有限制。對(duì)于大多數(shù)塑封料來說,在模具中保壓幾分鐘后,模塊的硬度足可以達(dá)到允許頂出,但是,聚合物的固化(聚合)并未全部完成。由于材料的聚合度(固化程度)強(qiáng)烈影響材料的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度及熱應(yīng)力,所以,促使材料全部固化以達(dá)到一個(gè)穩(wěn)定的狀態(tài),對(duì)于提高器件可靠性是十分重要的,后固化就是為了提高塑封
91、料的聚合度而必須的工藝步驟,一般后固化條件為170℃ 到175℃,2至4小時(shí)。目前,也發(fā)展了一些快速固化(fastcure molding compound)的塑封料,在使用這些材料時(shí),就可以省去后固化工序,提高生產(chǎn)效率。</p><p> 在封裝成型過程中,塑封料可能會(huì)從二塊模具的合縫處滲出來,流到模塊外的框架材料上。若是塑封料只在模塊外的框架上形成薄薄的一層,面積也很小,通常稱為樹脂溢出(resin ble
92、ed)。若滲出部分較多、較厚,則稱為毛刺(flash)或是飛邊毛刺(flash and strain)。造成溢料或毛刺的原因很復(fù)雜,一般認(rèn)為是與模具設(shè)計(jì)、注模條件及塑封料本身有關(guān)。毛刺的厚度一般要薄于10微米,它對(duì)于后續(xù)工序如切筋打彎等工藝帶來麻煩,甚至?xí)p壞機(jī)器。因此,在切筋打彎工序之前,要進(jìn)行去飛邊毛刺工序(deflash)。隨著模具設(shè)計(jì)的改進(jìn),以及嚴(yán)格控制注模條件,毛刺問題越來越不嚴(yán)重了,在一些比較先進(jìn)的封裝工藝中,已不再進(jìn)行去飛
93、邊毛刺的工序了。去飛邊毛刺工序工藝主要有:介質(zhì)去飛邊毛刺(media deflash)、溶劑去飛邊毛刺(solvent deflash)、水去飛邊毛刺(water deflash)。另外,當(dāng)溢料發(fā)生在框架堤壩(dam bar)背后時(shí),可用所謂的dejunk工藝。其中,介質(zhì)和水去飛邊毛刺的方法用得最多。用介質(zhì)去飛邊毛刺時(shí),是將研磨料,如粒狀的塑料球和高壓空氣一起沖洗模塊。在去飛邊毛刺過程</p><p> 對(duì)封裝
94、后框架外引腳的后處理可以是電鍍(solder plating)或是浸錫(solder dipping)工藝,該工序是在框架引腳上作保護(hù)性鍍層,以增加其抗蝕性,并增加其可焊性。電鍍目前都是在流水線式的電鍍槽中進(jìn)行,包括首先進(jìn)行清洗,然后在不同濃度的電鍍槽中進(jìn)行電鍍,最后沖淋、吹干,然后放入烘箱中烘干。浸錫也包括清洗工序,然后放到助焊劑(flux)中進(jìn)行浸泡,再放入熔融的焊錫中浸泡,最后用熱水沖淋。焊錫的成分一般是63Sn/37Pb。這是一
95、種低共融合金,其熔點(diǎn)在183-184℃之間。也有用成分為85Sn/15Pb、90Sn/10Pb、95Sn/5Pb的,有的日本公司甚至用98Sn/2Pb的焊料。減少鉛的用量,主要是出于環(huán)境的考慮,因?yàn)殂U對(duì)環(huán)境的影響正日益引起人們的高度重視。而鍍鈀工藝,則可以避免鉛的環(huán)境污染問題。但是,由于通常鈀的粘結(jié)性并不太好,需要先鍍一層較厚的、致密的、富鎳的阻擋層。鈀層的厚度僅為76微米(3密爾)。由于鈀層可以承受成型溫度,所以,可以在成型之前完成框
96、架的上焊錫工藝。并且,鈀層對(duì)于芯片粘結(jié)和引線鍵合都適用,可以避免在芯片粘結(jié)和引線鍵合之前必須對(duì)芯片焊盤和框架內(nèi)引腳</p><p> 切筋打彎其實(shí)是二道工序,但通常同時(shí)完成。所謂的切筋工藝,是指切除框架外引腳之間的堤壩(dam bar)以及在框架帶上連在一起的地方;所謂的打彎工藝則是將引腳彎成一定的形狀,以適合裝配(assembly)的需要。對(duì)于打彎工藝,最主要的問題是引腳的變形。對(duì)于PTH裝配要求來講,由于引
97、腳數(shù)較少,引腳又比較粗,基本上沒有問題。而對(duì)SMT裝配來講,尤其是高引腳數(shù)目框架和微細(xì)間距框架器件,一個(gè)突出的問題是引腳的非共面性(lead non coplanarity)。造成非共面性的原因主要有二個(gè):一是在工藝過程中的不恰當(dāng)處理,但隨著生產(chǎn)自動(dòng)化程度的提高,人為因素大大減少,使得這方面的問題幾乎不復(fù)存在;另一個(gè)原因是由于成型過程中產(chǎn)生的熱收縮應(yīng)力。在成型后的降溫過程中,一方面由于塑封料在繼續(xù)固化收縮,另一方面由于塑封料和框架材料之
98、間熱膨脹系數(shù)失配引起的塑封料收縮程度要大于框架材料的收縮,有可能造成框架帶的翹曲,引起非共面問題。所以,針對(duì)封裝模塊越來越薄、框架引腳越來越細(xì)的趨勢(shì),需要對(duì)框架帶重新設(shè)計(jì),包括材料的選擇、框架帶長(zhǎng)度及框架形狀等,以克服這一困難。</p><p> 打碼就是在封裝模塊的頂表面印上去不掉的、字跡清楚的字母和標(biāo)識(shí),包括制造商的信息、國家、器件代碼等,主要是為了識(shí)別并可跟蹤。打碼的方法有多種,其中最常用的是印碼(pri
99、nt)方法。它又包括油墨印碼(ink marking)和激光印碼(laser marking)二種。使用油墨來打碼,工藝過程有點(diǎn)象敲橡皮圖章,因?yàn)橐话愦_實(shí)是用橡膠來刻制打碼所用的標(biāo)識(shí)。油墨通常是高分子化合物,常常是基于環(huán)氧或酚醛的聚合物,需要進(jìn)行熱固化,或使用紫外光固化。使用油墨打碼,主要是對(duì)模塊表面要求比較高,若模塊表面有沾污現(xiàn)象,油墨就不易印上去。另外,油墨比較容易被擦去。有時(shí),為了節(jié)省生產(chǎn)時(shí)間和操作步驟,在模塊成型之后首先進(jìn)行打碼
100、,然后將模塊進(jìn)行后固化,這樣,塑封料和油墨可以同時(shí)固化。此時(shí),特別要注意在后續(xù)工序中不要接觸模塊表面,以免損壞模塊表面的印碼。粗糙表面有助于加強(qiáng)油墨的粘結(jié)性。激光印碼是利用激光技術(shù)在模塊表面刻寫標(biāo)識(shí)。激光源常常是CO2或Nd:YAG。與油墨印碼相比,激光印碼最大的優(yōu)點(diǎn)是不易被擦去,而且,它也不涉及油墨的質(zhì)量問題,對(duì)模塊表面的要求相對(duì)較低,不需要后固化工序。激光印碼的缺點(diǎn)是它的字跡較淡,即,與</p><p>
101、器件裝配的方式有二種,一種是所謂的波峰焊(wave soldering),另一種是所謂的回流焊(reflow soldering)。波峰焊主要用在插孔式PTH封裝類型器件的裝配,而表面貼裝式SMT及混合型器件裝配則大多使用回流焊。波峰焊是早期發(fā)展起來的一種PCB板上元器件裝配工藝,現(xiàn)在已經(jīng)較少使用。波峰焊的工藝過程包括上助焊劑、預(yù)熱及將PCB板在一個(gè)焊料峰(solder wave)上通過,依靠表面張力和毛細(xì)管現(xiàn)象的共同作用將焊料帶到PC
102、B板和器件引腳上,形成焊接點(diǎn)。在波峰焊工藝中,熔融的焊料被一股股噴射出來,形成焊料峰,故有此名。目前,元器件裝配最普遍的方法是回流焊工藝(reflow soldering),因?yàn)樗m合表面貼裝的元器件,同時(shí),也可以用于插孔式器件與表面貼裝器件混合電路的裝配。由于現(xiàn)在的元器件裝配大部分是混合式裝配,所以,回流焊工藝的應(yīng)用更為廣泛?;亓鞴に嚳此坪?jiǎn)單,其實(shí)包含了多個(gè)工藝階段:將焊膏(solder paste)中的溶劑蒸發(fā)掉;激活助焊劑(flu
103、x),并使助焊作用得以發(fā)揮;小心地將要裝配的元器件和PCB板進(jìn)行預(yù)熱;讓焊料熔化并潤(rùn)濕所有的焊接點(diǎn);以可控的降溫速率將整</p><p> 封裝質(zhì)量必須是封裝設(shè)計(jì)和制造中壓倒一切的考慮因素。質(zhì)量低劣的封裝可危害集成電路器件性能的其它優(yōu)點(diǎn),如速度、價(jià)格低廉、尺寸小等等。封裝的質(zhì)量低劣是由于從價(jià)格上考慮比從達(dá)到高封裝質(zhì)量更多而造成的。事實(shí)上,塑料封裝的質(zhì)量與器件的性能和可靠性有很大的關(guān)系,但封裝性能更多取決于封裝設(shè)
104、計(jì)和材料選擇而不是封裝生產(chǎn),可靠性問題卻與封裝生產(chǎn)密切相關(guān)。</p><p> 在完成封裝模塊的打碼(marking)工序后,所有的器件都要100%進(jìn)行測(cè)試,在完成模塊在PCB板上的裝配之后,還要進(jìn)行整塊板的功能測(cè)試。這些測(cè)試包括一般的目檢、老化試驗(yàn)(burn-in)和最終的產(chǎn)品測(cè)試(final testing)。老化試驗(yàn)是對(duì)封裝好的電路進(jìn)行可靠性測(cè)試(reliability test),它的主要目的是為了檢出
105、早期失效的器件,稱為infant mortality。在該時(shí)期失效的器件一般是在硅制造工藝中引起的缺陷(即,它屬于壞芯片,但在片上測(cè)試時(shí)并未發(fā)現(xiàn))。在老化試驗(yàn)中,電路插在電路板上,加上偏壓,并放置在高溫爐中。老化試驗(yàn)的溫度、電壓負(fù)載和時(shí)間都因器件的不同而不同,同一種器件,不同的供應(yīng)商也可能使用不同的條件。但比較通用的條件是在125℃到150 ℃溫度下,通電電壓在6.2到7.0伏(一般高出器件工作電壓20%到40%)通電測(cè)試24到48小時(shí)
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