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文檔簡介
1、EPA ESD Estimate Report,為何要做ESD防護(hù),由于集成電路元器件的線路縮小,耐壓降低,線路面積減小,使得器件耐靜電沖擊能力的減弱,靜電電場(Static Electric Field)和靜電電流(ESD current)成為這些高密度元器件的致命殺手。同時(shí)大量的塑料制品等高絕緣材料的普遍應(yīng)用,導(dǎo)致產(chǎn)生靜電的機(jī)會(huì)大增。日常生活中如走動(dòng),空氣流動(dòng),搬運(yùn)等都能產(chǎn)生靜電。人們一般認(rèn)為只有CMOS類的晶片才對靜電敏感,實(shí)際上
2、,集成度高的元器件電路都很敏感。 隨著越來越多的客戶(國內(nèi)外的)認(rèn)識(shí)到ESD對元件的破壞性,也有示例因?yàn)楣疽駿SD沒做好而導(dǎo)致失去訂單的。,ESD/EOS的危害,ESD/EOS 59%電子測試 3%氧化/鈍化 3%導(dǎo)體失效 3%硅片斷裂 3% 引腳短路/開路7%引腳連接15%其它6%,以上是根據(jù)專業(yè)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)得出的結(jié)論,按該數(shù)據(jù)所示ESD/EOS在元器件損傷類的問題占到近60%,靜電對電子產(chǎn)品的
3、主要影響以及特點(diǎn),靜電吸附灰塵,改變線路間的阻抗,影響產(chǎn)品的功能與壽命。 因電場或電流破壞元件的絕緣或?qū)w,使元件不能工作(完全破壞)。因瞬間的電場或電流產(chǎn)生的熱,元件受傷,仍能工作,壽命受損。4. 高電位:可達(dá)數(shù)萬至數(shù)十萬伏,操作時(shí)常達(dá)數(shù)百至數(shù)千伏(人通常 對3KV以下靜電不易感覺到)。5. 低電量:靜電流多為微安級(尖端瞬間放電例外)。 6. 作用時(shí)間短:微秒級。7. 受環(huán)境
4、影響大:特別是濕度,濕度上升則靜電積累減少,靜電壓下降。,靜電對電子產(chǎn)品的主要影響以及特點(diǎn),① 隱蔽性:人體不能直接感知靜電,除非發(fā)生靜電放電,但發(fā)生靜電放電,人體也不一定能有電擊的感覺。這是因?yàn)槿梭w感知的靜電放電電壓為2-3KV。 ② 潛伏性:有些電子元器件受到靜電損傷后性能沒有明顯的下降,但多次累加放電會(huì)給器件造成內(nèi)傷而形成隱患,而且增加了器件對靜電的敏感性。已產(chǎn)生的問題并無任何方法可治愈。 ③ 隨機(jī)性:電子元件什么情況下會(huì)遭受
5、到靜電破壞呢?可以這么說,從一個(gè)元件生產(chǎn)后一直到它損壞以前所有的過程都受到靜電的威脅,而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機(jī)性。由于靜電的產(chǎn)生和放電都是瞬間發(fā)生的,極難預(yù)測和防護(hù)。 ④ 復(fù)雜性:靜電放電損傷分板工作,因電子產(chǎn)品的精細(xì),微小的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)而費(fèi)時(shí)、費(fèi)事、費(fèi)錢,要求較復(fù)雜的技術(shù)往往需要使用掃描電鏡等精密儀器,即使如此有些靜電損傷現(xiàn)象也 難以與其他原因造成的損傷加以區(qū)別,使人誤把靜電損傷失效當(dāng)作其它失效,這是對靜電放電損害未充分認(rèn)識(shí)之前,常常
6、歸咎于早期失效或情況不明的失效 ,從而不自覺的掩蓋了失效的真正原因。 ⑤ 嚴(yán)重性:ESD問題會(huì)造成發(fā)到客戶處的零件功能不穩(wěn)定或喪失功能而帶來抱怨,甚至導(dǎo)致大批退貨和主機(jī)廠停線。,靜電控制,為什么要進(jìn)行ESD控制(Why) 哪些人要參與進(jìn)行ESD控制(Who) 在哪些地方需要進(jìn)行ESD控制(Where) 控制什么(WHAT) 怎樣進(jìn)行ESD控制(How),靜電控制(WHY),靜電只能被控制,不能被消除除非在真空狀
7、態(tài)內(nèi)部損失:時(shí)間,人力資源等外部損失:信譽(yù)度喪失、客戶滿意度下降,靜電控制(WHO),供應(yīng)商研發(fā)人員采購人員倉庫人員生產(chǎn)以及測試人員包裝人員所有接觸產(chǎn)品的人員,特別是主管和技術(shù)人員。,靜電控制(WHERE),供應(yīng)商實(shí)驗(yàn)室IQC(重點(diǎn)控制)倉庫生產(chǎn)線裝配和測試維修(重點(diǎn)控制),靜電控制(WHAT),EPA(ESD PROTECTION AREA)環(huán)境 個(gè)人
8、 材料地板 個(gè)人物品 原材料溫濕度 工衣 周轉(zhuǎn)材料工作臺(tái) 工鞋 包裝材料工裝夾具 接地 …………
9、 …… 另外還需要相應(yīng)的 流程制度 來保證?。?靜電控制(HOW),靜電控制的原則在EPA控制區(qū)域操作所有靜電敏感器件存放、運(yùn)輸所有靜電敏感器件要用 法拉第籠測試和監(jiān)控整個(gè)靜電控制流程,靜電控制(HOW),防靜電工作臺(tái)防靜電臺(tái)墊的尺寸應(yīng)不小于工作臺(tái)面的大??;防靜電臺(tái)墊均須正面(即防靜電面、耗散層)朝上、背面(即導(dǎo)電層)朝下鋪設(shè);多個(gè)防靜電工作臺(tái)的接地線不能相互串接,應(yīng)以并聯(lián)方
10、式與公共接地線連接,每塊臺(tái)墊(地墊)必須且只需接一根防靜電地線。,靜電控制(HOW),1.護(hù)腕部分的金屬鐵皮一定要緊貼人體手腕,即保證靜電測試時(shí)通過的狀態(tài)即可2.接地端一定要通過接地插口,將手腕部分連接至大地3.離開座位時(shí),將連接于接地插口的接地端拔起即可,護(hù)腕部分不需移動(dòng) 靜電腕帶準(zhǔn)確佩戴及注意事項(xiàng) 靜電腕帶的接觸面,如下圖紅圈部分,該金屬片必須在佩戴時(shí)和人體手臂接觸良好 靜電手環(huán) 普通防靜電手腕帶使用柔軟而
11、富用彈性的材料配以導(dǎo)電絲混編而成。內(nèi)置電阻:1M? ±%5。靜電泄放時(shí)間: < 0.1S 兼顧人體安全,強(qiáng)烈建議取消無線靜電手環(huán),因?yàn)樵撌汁h(huán)的效果遠(yuǎn)遠(yuǎn)達(dá)不到理論效果,靜電控制(HOW),ESD防護(hù)區(qū)域的的所有設(shè)備與設(shè)施都應(yīng)該與大地保持硬接地或軟接地狀態(tài),以實(shí)現(xiàn)ESD防護(hù)的作用針對ESD防護(hù)區(qū)域的桌子,都應(yīng)用黃綠線接地.且有的桌子需鋪設(shè)ESD防護(hù)桌布。依據(jù)ESD防護(hù)標(biāo)準(zhǔn):與敏感元器件接觸的桌子需鋪設(shè)防靜電桌布,如
12、IQC電子來料檢驗(yàn)。,靜電控制(HOW),人員在正常作業(yè)時(shí),通過椅子/人體本身,使手上的產(chǎn)品與大地形成一個(gè)導(dǎo)通的回路,起到ESD防護(hù)的作用。根據(jù)ESD20.20標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)線上所有的椅子必須使用防靜電椅,椅子需要使用接地鏈鏈接(表面電阻為1*105到1*109歐姆、對地電阻為1*105到1*109)作業(yè)人員的坐姿需雙腳接觸到地面,不允許單腳或雙腳離地,靜電控制(HOW),人員規(guī)范防靜電工作服、工作鞋操作指引每月定期對生產(chǎn)人員的
13、衣服、鞋子及裝料的tray進(jìn)行抽檢,以保證其在ESD防護(hù)規(guī)格內(nèi)。定期的對衣服,鞋子進(jìn)行清洗,保持其整潔靜電是表面積累,尖端放電,單純的手或腳都不好,人體放電最經(jīng)常的是指尖、毛發(fā),所以防靜電帽也是很有必要的,不能留長發(fā),帽子必須戴好,不允許頭發(fā)在帽外。,靜電控制(HOW),人員規(guī)范作業(yè)過程的防靜電指引進(jìn)入EPA區(qū)域前,測試腕帶和人體電阻,測試通過并做好記錄方可進(jìn)入;接觸ESSD及組件之前應(yīng)戴好防靜電腕帶,防靜電腕帶插入香焦插孔中
14、接地,要保證腕帶與皮膚接觸良好;確認(rèn)工作區(qū)域內(nèi)的工具、設(shè)備和儀器安全、可靠接地,尤其對那些經(jīng)常移動(dòng)的設(shè)備要特別注意;確認(rèn)工作區(qū)內(nèi)的靜電源(例如:非防靜電塑料袋、非防靜電泡膜、橡膠等)遠(yuǎn)離ESD敏感器件和敏感單板(至少30CM)。,靜電控制(HOW),人員規(guī)范防靜電工作服、工作鞋操作指引所有人員進(jìn)入防靜電區(qū)域必須穿好防靜電工作服、防靜電工作鞋或防靜電鞋套,已配發(fā)工作帽的還必須戴好工作帽。工作服外部嚴(yán)禁攜帶除工卡和筆之外的金屬物件
15、,防靜電鞋內(nèi)不得墊鞋墊。更換工作服應(yīng)在指定地點(diǎn)進(jìn)行,不允許在設(shè)備旁邊穿、脫工作服。,靜電控制(HOW),防靜電包裝、存儲(chǔ)、轉(zhuǎn)運(yùn) 溫度:20~25℃;相對濕度(RH):40%~60% 注意:對環(huán)境有特殊要求的,如潮濕敏感器件等,請遵照相應(yīng)的專用操作指導(dǎo)書執(zhí)行。 存儲(chǔ)器具:可用于直接存儲(chǔ)靜電敏感器件及組件的器具有--防靜電器件盒、IC管、防靜電袋、防靜電周轉(zhuǎn)箱、單板周轉(zhuǎn)車等。,靜電控制(HOW),防靜電包裝
16、、存儲(chǔ)、轉(zhuǎn)運(yùn)A 靜電敏感器件須使用防靜電器件盒、屏蔽袋、防靜電器件管包裝存放,靜電敏感單板和組件需使用屏蔽袋、防靜電Tray、周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn)車包裝存放。B 靜電敏感器件盡量保持原包裝狀態(tài),嚴(yán)禁隨意拆封。C 用于靜電敏感器件散裝清點(diǎn)和發(fā)料的工作臺(tái)必須鋪設(shè)防靜電臺(tái)墊,并可靠接地。操作人員應(yīng)佩帶防靜電手套、指套或?qū)⒂欣K防靜電腕帶接入防靜電接地系統(tǒng)。D 靜電敏感器件在儲(chǔ)運(yùn)過程中,勿靠近強(qiáng)靜電、強(qiáng)電磁場,如電腦主機(jī)及其顯示器
17、上方、公共人行通道兩側(cè)等。,靜電控制(HOW),離子風(fēng)機(jī)、地板1.定期用離子風(fēng)機(jī)測試儀進(jìn)行抽查校準(zhǔn)離子風(fēng)扇,且保證且扇葉的清潔度,工作時(shí)須保證其對準(zhǔn)有效工作區(qū)域其spec為:消散時(shí)間為≤±3S 平衡電壓為≤±35V測試方式:測試板與離子風(fēng)機(jī)的距離為 30-50cm,測3次取平均值記錄,2.每月針對ESD防護(hù)區(qū)域的地板進(jìn)行點(diǎn)檢,每天需保證其干凈,定期保養(yǎng),減少其磨損度,ES
18、D防護(hù)管理的重點(diǎn)事項(xiàng)-員工的ESD知識(shí)培訓(xùn),為了更好的維護(hù)公司的ESD20.20的體系正常運(yùn)行,需要進(jìn)行對員工的ESD培訓(xùn)。培訓(xùn)的對象:工程師、生產(chǎn)主管、班組長、一線作業(yè)人員;培訓(xùn)計(jì)劃分為:新員工入職培訓(xùn)、在職員工的年度培訓(xùn)。培訓(xùn)內(nèi)容主要是講:讓員工認(rèn)識(shí)到ESD/EOS對電子類的產(chǎn)品的風(fēng)險(xiǎn)性。,結(jié)論,引入ESD20.20體系需要有如下文件表單來維護(hù)該體系的正常運(yùn)行:靜電防護(hù)程序書靜電手環(huán)點(diǎn)檢表靜電防護(hù)點(diǎn)檢表表面電阻測試作業(yè)指
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