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1、五、濕氣與濕熱應(yīng)力分析,張 云 marblezy@hust.edu.cn 周華民 hmzhou@hust.edu.cn,目錄,5.1 熱應(yīng)力分析5.2 濕氣分析理論5.3 微電子封裝仿真自動化系統(tǒng)5.4 分析案例5.5 正交實驗設(shè)計,5.1 熱應(yīng)力分析,5.1.1 熱應(yīng)力分析方法5.1.2 Workbench 熱應(yīng)力分析,5.1.1 熱應(yīng)力分析方法,熱應(yīng)力產(chǎn)生結(jié)構(gòu)受熱或變冷時,由于熱脹冷縮產(chǎn)生變形。若變形
2、受到某些限制 — 如位移約束或相反的壓力 — 則在結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生熱應(yīng)力。產(chǎn)生熱應(yīng)力的另一個原因,是由于材料不同而形成的不均勻變形(如,不同的熱膨脹系數(shù))。,由約束產(chǎn)生熱應(yīng)力,由不同材料產(chǎn)生熱應(yīng)力,5.1.1 熱應(yīng)力分析方法,在 ANSYS 中求解熱-應(yīng)力問題有兩種方法。順序耦合傳統(tǒng)方法是使用兩種單元類型,將熱分析的結(jié)果作為結(jié)構(gòu)的溫度荷載。當(dāng)熱瞬態(tài)分析時間點很多,但結(jié)構(gòu)時間點很少時效率較高。很容易用輸入文件實現(xiàn)自動處理。直接
3、耦合比較新的方法,用一種單元類型就能求解兩種物理場問題。熱和結(jié)構(gòu)之間可實現(xiàn)真正的耦合。在某些分析中可能耗費過多開銷。,5.1.1 熱應(yīng)力分析方法,順序耦合方法涉及兩種分析:,1.先作穩(wěn)態(tài)(或瞬態(tài))熱分析。建立熱單元模型。施加熱荷載。求解并檢查結(jié)果。2.然后作靜力結(jié)構(gòu)分析。把單元類型轉(zhuǎn)換成結(jié)構(gòu)單元。定義包括熱膨脹系數(shù)在內(nèi)的結(jié)構(gòu)材料特性。施加包括從熱分析得到的溫度在內(nèi)的結(jié)構(gòu)荷載。求解并檢查結(jié)果。,5.1.1 熱應(yīng)力
4、分析方法,直接耦合方法,通常只涉及用耦合單元的分析,單元必須包括熱、結(jié)構(gòu)的自由度。,1.首先用以下耦合單元之一建立模型并劃分網(wǎng)格。PLANE13 (平面實體單元)。SOLID5 (六面體單元)。SOLID98 (四面體單元)。在模型上施加結(jié)構(gòu)荷載、熱荷載及約束。求解并查看熱和結(jié)構(gòu)結(jié)果。,5.1.1 熱應(yīng)力分析方法,順序方法對非高度非線性耦合情況,順序方法更有效、靈活,因為它可以獨立執(zhí)行兩種分析。 在順序方法熱-應(yīng)力分析中
5、,例如,在非線性瞬態(tài)分析之后可以緊接著進行線性靜力分析,然后可以把熱分析中任意荷載步或時間點的節(jié)點溫度作為應(yīng)力分析的荷載。,直接方法對耦合場是高度非線性情況,直接方法更好,并且該方法用耦合公式單一求解時是最好的。 直接耦合的例子,包括壓電分析,有流體流動的共軛傳熱分析及電路電磁分析。,5.1.2 Workbench熱應(yīng)力分析,1. 穩(wěn)態(tài)或瞬態(tài)熱分析2. 將熱分析結(jié)果(溫度場)傳遞到結(jié)構(gòu)分析,5.2 濕氣分析理論,5.2.1 濕氣
6、擴散理論5.2.2 濕氣膨脹應(yīng)力分析5.2.3 蒸汽壓力分析5.2.4 等效熱應(yīng)力分析,5.2.1 濕氣擴散分析,常用塑封材料:一般為環(huán)氧樹脂類熱固性塑料聚合物特點:多孔性、親水性。濕氣:指進入到封裝材料中的水蒸氣或液態(tài)形式的水分子濕氣存在形式:(1)單一氣態(tài);(2)氣液混合態(tài);(3)結(jié)合水,5.2.1 濕氣擴散分析,據(jù)美國汽車工程師協(xié)會的調(diào)查結(jié)果,在汽車工業(yè)中使用的電子設(shè)備所接觸的濕度環(huán)境一般是38℃/95%R
7、H,局部位置可以達到66℃/80%RH濕氣引起的封裝器件失效:(1)濕應(yīng)力破壞;(2)爆米花失效;(3)材料性能下降,5.2.1 濕氣擴散分析,濕氣使環(huán)氧樹脂玻璃化轉(zhuǎn)變溫度降低了30℃,5.2.1 濕氣擴散分析,熱應(yīng)變與吸濕應(yīng)變的對比,5.2.1 濕氣擴散分析,根據(jù)Fick第二定律,得到濕擴散方程C是濕氣濃度對于各向同性材料,濕擴散方程可簡化為,5.2.1 濕氣擴散分析,對比濕擴散與熱擴散熱傳導(dǎo)微分方程濕擴散方
8、程 a)相同點:濕擴散方程和熱傳導(dǎo)微分方程數(shù)學(xué)形式相同,所以可以用有限元熱傳導(dǎo)模塊代替濕氣擴散模塊進行分析。,5.2.1 濕氣擴散分析,b)不同點熱平衡會在短時間達到通常在10秒左右,對于外形尺寸較小的器件回流過程中整個封裝體內(nèi)的溫差小于l℃濕氣擴散非常慢,需要幾天,十幾天甚至幾個月才能達到濕平衡,5.2.1 濕氣擴散分析,熱傳導(dǎo)過程中,溫度是連續(xù)變化的;濕擴散過程中,濕氣濃度在不同界面間的變化不連續(xù),尤其是材料的飽和濕氣濃度
9、在不同的聚合物材料交界處會有不同。這就限制了有限元法的使用。,不同材料間的飽和濕氣濃度 𝐶 𝑠𝑎𝑡 不連續(xù),5.2.1 濕氣擴散分析,解決方案使用相對濃度來代替絕對濃度。其中, 𝐶 𝑠𝑎𝑡 為材料對應(yīng)的飽和濃度,𝐶為材料局部的絕對濃度,𝑤為相對濃度。,5.2.1 濕氣擴
10、散分析,濕擴散方程,圖3 相對濕度𝑤在不同界面間保持連續(xù),5.2.1 濕氣擴散分析,有限元分析中用于濕氣擴散分析的熱——濕類比關(guān)系,5.2.1 濕氣擴散分析,表征物質(zhì)的吸濕能力的主要的物理量是(1)擴散系數(shù)D擴散系數(shù)通常用Arrhenius方程來表示:,5.2.1 濕氣擴散分析,(2)溶解度S溶解度也可定義為,𝐶 𝑠𝑎𝑡 (𝜙
11、,𝑇 ?是飽和含濕量,單位是𝑘𝑔/𝑚3,𝑃(𝜙,𝑇 ?是相對濕度為𝜙,溫度為T時水蒸汽分壓,單位MPa𝜙?是相對濕度,𝑅𝐻,𝑃 𝑠 (𝜙,𝑇 ?是溫度為T時水的飽和蒸汽壓,單位,單位MPa,5.2
12、.1 濕氣擴散分析,水的飽和蒸汽壓遵循Antoine方程式中A, B, C是Antoine常數(shù)相對濕度𝜙(RH)相對濕度的定義是,𝑃(𝜙,𝑇 ?是相對濕度為𝜙,溫度為T時水蒸汽分壓,單位MPa,𝑃 𝑠 (𝜙,𝑇 ?是溫度為T時水的飽和蒸汽壓,單位,單位MPa,5.2.2 濕氣膨脹應(yīng)力分
13、析,(1)濕應(yīng)力:由于聚合物材料易于吸收周圍環(huán)境中的濕氣而產(chǎn)生濕膨脹,而封裝器件中不同材料的吸濕性質(zhì)不一,進而會產(chǎn)生濕應(yīng)力。(2)聚合物中吸收的水分子存在形式A)自由水:在微空洞中以自由分子的方式存在;B)結(jié)合水:水分子與聚合物分子鏈間形成氫鍵。,5.2.2 濕氣膨脹應(yīng)力分析,(3)實驗A)熱機械分析儀(Thermal mechanical analyzer, TMA):測量吸濕過程中的尺寸變化;B)熱重分析儀(Ther
14、mal gravitational analyzer,TGA):測量吸濕過程中的重量變化。,封裝材料吸濕特征參數(shù)的實驗測量裝置與原理,5.2.2 濕氣膨脹應(yīng)力分析,實驗中兩塊相同的試樣被置于相同的濕度/溫度條件下進行預(yù)處理,然后將試樣放置在高溫爐中進行高溫解吸收過程,在此過程中分別使用TGA測量試樣質(zhì)量的損失(即對應(yīng)著試樣內(nèi)濕氣濃度的變化),使用TMA測量試樣幾何尺寸的變化(即對應(yīng)著試樣產(chǎn)生的應(yīng)變量),然后將試樣在此過程中發(fā)生的應(yīng)變量與
15、對應(yīng)的濕氣濃度畫成一張函數(shù)關(guān)系圖,兩者之間的線性關(guān)系就是所謂的材料濕膨脹系數(shù)𝛽(coefficient of moisture expansion,CME或者coefficient of hygroscopic swelling,CHS)。,5.2.2 濕氣膨脹應(yīng)力分析,,有限元分析中濕應(yīng)力分析的熱——濕類比關(guān)系,5.2.3 蒸汽壓力分析,塑封器件吸濕后所產(chǎn)生的內(nèi)部蒸汽壓力,被認為是引起“爆米花”開裂現(xiàn)象最接的因素,也是
16、最主要的破壞機制,5.2.3 蒸汽壓力分析,(1)代表性單元(RVE):從宏觀上看,在吸濕材料局部選取一塊足夠小的可代表性材料特性的體積單元,而從微觀看此單元足夠大。 空隙體積分數(shù) 濕氣濃度空隙內(nèi)的濕氣密度其中,𝑑𝑚為多孔材料內(nèi)單位空隙體積𝑑 𝑉 𝑓 中所含的濕氣質(zhì)量,𝑑
17、19881;為多孔材料所占的空間單位體積。,Fan, X., G. Zhang, et al. (2002). "A Micro-mechanics approach in polymeric material failures in microelectronic packaging." Proc. ESIME.,5.2.3 蒸汽壓力分析,Fan估算了在85℃/85%RH環(huán)境條件下,模塑料中可吸收的最大飽和濕氣濃度
18、 𝐶 𝑠𝑎𝑡 =41 𝜌 𝑒𝑥𝑡 ( 𝜌 𝑒𝑥𝑡 為周圍環(huán)境的濕氣密度),再假設(shè)孔隙體積分數(shù)𝑓=0.05,可得這一數(shù)值更清晰地表明了模塑料可吸收的濕氣量。吸收如此大量的濕氣后,在材料內(nèi)部這些濕氣一定會以氣/液混合的狀態(tài)。,5
19、.2.3 蒸汽壓力分析,(2)濕氣狀態(tài)的判斷標準其中, 𝜌 𝑔 對應(yīng)溫度下的飽和蒸汽密度。處于氣液混合狀態(tài)的濕氣,須知狀態(tài)轉(zhuǎn)變溫度 𝑇 1 ,在此溫度下,濕氣全部轉(zhuǎn)為氣態(tài)。,5.2.3 蒸汽壓力分析,(3)不同狀態(tài)的蒸汽壓計算公式1)升溫過程中,濕氣一直處于氣液混合狀態(tài),內(nèi)部蒸汽壓力則為相應(yīng)溫度下的飽和蒸汽壓力,即2)升溫過程中,濕氣一直處于氣態(tài),則使用氣體狀態(tài)方程來計
20、算蒸汽壓力式中,𝑅為氣體常數(shù),𝑅=8.314 𝐽 𝑚 𝑜𝑙,5.2.3 蒸汽壓力分析,(3)不同狀態(tài)的蒸汽壓計算公式另外,再假設(shè)材料不可壓縮,由溫度引起的空洞體積的改變其中,𝛥𝑇=𝑇? 𝑇 0 ,𝛼為熱膨脹系數(shù),可得濕氣濃度變化,5.2.3 蒸汽壓
21、力分析,(4)封裝材料內(nèi)部蒸汽壓力計算1)第一種情況:材料空隙內(nèi)的濕氣濃度很小,在預(yù)處理溫度 𝑇 0 時就處于單一氣態(tài),即狀態(tài)轉(zhuǎn)變溫度𝑇 1 < 𝑇 0 ,也即𝜌(𝑇 0 ) ≤ 𝜌 𝑔 (𝑇 0 ) 此時的蒸汽壓力 𝑃(𝑇′ 計算如下,5.2.3 蒸汽壓力分析
22、,2)第二種情況:濕氣從開始溫度 𝑇 0 至回流溫度𝑇一直處于氣液混合狀態(tài),即 𝑇 1 >𝑇,此時的蒸汽壓力 𝑃(𝑇′ 計算如下,5.2.3 蒸汽壓力分析,3)第三種情況:介于前面兩種情況之間,即在預(yù)處理溫度 𝑇 0 處于氣液混合狀態(tài),在回流溫度𝑇處于氣態(tài),意味著[ 𝑇 0 ,Ү
23、79;]區(qū)間內(nèi)存在狀態(tài)轉(zhuǎn)變溫度 𝑇 1 ,使得濕氣全部轉(zhuǎn)化氣態(tài),,5.2.4 等效熱應(yīng)力分析,(1)五個模型:濕氣擴散分析模型、熱分析模型、濕應(yīng)力分析模型、熱應(yīng)力分析模型和蒸汽壓力分析模型。模型之間相互聯(lián)系,互不獨立。蒸汽壓力分析模型和濕氣應(yīng)力分析模型要用到濕氣擴散分析模型得到的濕氣分布結(jié)果。溫度分析模型得到的溫度分布結(jié)果將施加到蒸汽壓力分析型和熱應(yīng)力分析模型。,5.2.4 等效熱應(yīng)力分析,,回流時的綜合應(yīng)力分析
24、流程,5.2.4 等效熱應(yīng)力分析,(2)等效應(yīng)力:由熱應(yīng)力、濕氣應(yīng)力、蒸汽壓力引起的應(yīng)力應(yīng)變合并而成,這為處于回流溫度封裝體的應(yīng)力應(yīng)變計算帶來很大的方便。1)濕氣引起的膨脹應(yīng)變等效為熱應(yīng)變處理:𝛽為膨脹系數(shù),𝐶為濕度, 𝑇 0 為聚合物的玻璃化溫度。,5.2.4 等效熱應(yīng)力分析,2)蒸汽壓力引起的膨脹應(yīng)變等效為熱應(yīng)變處理:則由蒸汽壓力引起的膨脹的等效熱膨脹系數(shù)為,5.2.
25、4 等效熱應(yīng)力分析,3)由熱、濕氣膨脹應(yīng)力=、蒸汽壓力引起的綜合等效熱膨脹系數(shù)變?yōu)槔蒙厦嫠械牡刃釕?yīng)力計算公式,分別得到濕氣等效熱膨脹系數(shù)、蒸汽壓力等效熱膨脹系數(shù)和綜合等效熱膨脹系數(shù),再加上其他一些材料參數(shù),就可以進行等效熱應(yīng)力的分析模擬了。,5.3 微電子封裝仿真自動化系統(tǒng),5.3.1 思路與系統(tǒng)結(jié)構(gòu)5.3.2 系統(tǒng)功能5.3.3 系統(tǒng)實現(xiàn),5.3 微電子封裝仿真自動化系統(tǒng),在對微電子封裝結(jié)構(gòu)進行熱分析、熱應(yīng)力分析及濕
26、氣分析時,可以發(fā)現(xiàn)同一個封裝家族產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)大致是相同的,只是尺寸不一樣。很多時候用戶是在分析同一個封裝模型在不同環(huán)境條件下的結(jié)果,或者是分析同一個封裝模型在不同材料下的結(jié)果等。這樣的分析過程包含了很多相同或相似的操作,如果每個產(chǎn)品都進行獨立的分析,必然會造成重復(fù)勞動,而且還會出現(xiàn)不同的分析者得出不同的分析結(jié)果。針對這種情況,可以利用Workbench的二次開發(fā)工具,基于Workbench平臺上制定專門的微電子封裝仿真自動化系統(tǒng)。,夏楊建
27、 (2009). 基于 ANSYS Workbench 的微電子封裝自動化濕氣分析系統(tǒng)開發(fā), 浙江工業(yè)大學(xué).,5.3.1 思路與系統(tǒng)結(jié)構(gòu),思路:先對大量封裝模型在Workbench中的熱、熱應(yīng)力及濕氣分析作仔細研究,總結(jié)分析經(jīng)驗,確定其模型化方案,如載荷如何施加、網(wǎng)格如何劃分、載荷步如何設(shè)置、應(yīng)該提取哪些計算結(jié)果等,再將這些分析經(jīng)驗固化到程序中,所有與模型相關(guān)的過程完全封裝在后臺運行。,5.3.1 思路與系統(tǒng)結(jié)構(gòu),,微電子封裝仿真自動化
28、系統(tǒng)的總體設(shè)計思路,5.3.1 思路與系統(tǒng)結(jié)構(gòu),系統(tǒng)最核心的部分是封裝在用戶界面后臺的固化程序,它是用JScript語言編制的通用分析程序,用于啟動和調(diào)Workbench,并在Workbench中自動完成導(dǎo)入模型、加材料、網(wǎng)格劃分、施加邊界條件、求解等過程。固化程序涉及Workbench的Design Modeler和Design Simulation兩個模塊。其中,在Design Modeler主要完成導(dǎo)入CAD模型的處理,為實現(xiàn)自動
29、化的仿真分析做準備;在Design Simulation主要完成加材料、網(wǎng)格劃分、施加邊界條件以及求解等過程。固化程序最后將分析結(jié)果輸出到用戶界面上。,5.3.2 系統(tǒng)功能,系統(tǒng)實現(xiàn)的功能(1)傳熱分析(2)熱應(yīng)力分析(3)濕氣擴散分析(4)濕應(yīng)力分析(5)蒸汽壓力分析(6)等效熱應(yīng)力分析,5.3.2 系統(tǒng)功能,,微電子封裝仿真自動化系統(tǒng)的組成,5.3.2 系統(tǒng)功能,,微電子封裝仿真自動化系統(tǒng)的分析流程圖,5.3.2 系統(tǒng)功
30、能,,模型信息界面,5.3.2 系統(tǒng)功能,,向?qū)Ы缑?5.3.2 系統(tǒng)功能,,材料數(shù)據(jù)庫,5.3.2 系統(tǒng)功能,,材料數(shù)據(jù)庫,5.3.2 系統(tǒng)功能,,環(huán)境信息,5.3.3 實現(xiàn)技術(shù),基于Workbench開發(fā)實施的協(xié)同仿真環(huán)境將從根本上消除成熟CAE軟件對研發(fā)流程的不適用性,按照研發(fā)流程對CAE技術(shù)改造,使之無論在整體思想上還是流程上都與數(shù)字化研發(fā)流程相吻合,5.3.3 實現(xiàn)技術(shù),Workbench在保持CAE核心多樣化的同時,建立由A
31、NSYSCAE技術(shù)組件裝配而成的協(xié)同仿真環(huán)境“用戶可以根據(jù)本單位產(chǎn)品研發(fā)流程將這些拆散的技術(shù)重新組合,并集成為具有自主知識產(chǎn)權(quán)的技術(shù),形成既能夠充分滿足分析需求又充分融入產(chǎn)品研發(fā)流程的仿真體系”通過調(diào)用ANSYS Workbench標準的APIS,可以達到如下目的:(l)集成用戶和第三方應(yīng)用程序到框架結(jié)構(gòu)的開始頁與項目頁里;(2)通過項目頁可以集成外部應(yīng)用程序到框架中;(3)生成ANSYS Workbench的自定義界面;(4)
32、生成可以管理和使用自己的圖形引擎與GUI工具的應(yīng)用程序,5.3.3 實現(xiàn)技術(shù),Workbench在保持CAE核心多樣化的同時,建立由ANSYSCAE技術(shù)組件裝配而成的協(xié)同仿真環(huán)境“用戶可以根據(jù)本單位產(chǎn)品研發(fā)流程將這些拆散的技術(shù)重新組合,并集成為具有自主知識產(chǎn)權(quán)的技術(shù),形成既能夠充分滿足分析需求又充分融入產(chǎn)品研發(fā)流程的仿真體系”通過調(diào)用ANSYS Workbench標準的APIS,可以達到如下目的:(l)集成用戶和第三方應(yīng)用程序到框架結(jié)
33、構(gòu)的開始頁與項目頁里;(2)通過項目頁可以集成外部應(yīng)用程序到框架中;(3)生成ANSYS Workbench的自定義界面;(4)生成可以管理和使用自己的圖形引擎與GUI工具的應(yīng)用程序,5.3.3 實現(xiàn)技術(shù),Workbench提供多種客戶化工具方便用戶進行二次開發(fā),主要有:simulation Wizard Editor、 ANSYS Workbench SDK和Jscript,VBscript和HTML腳本語言編制專用設(shè)計分析軟件
34、Workbench提供的SDK對象是基于COM的對象,它可以直接被腳本程序訪問目前ANSYS公司公開出來SDK對象,主要可以分成服務(wù)對象(Service Objects)和Simulation對象(Simulation Objects)服務(wù)對象包含了組成Workbeneh SDK的主要對象,主要有Workbench對象(Workbench Objeets)模型管理對象(PartManager Objects)和輔助對象(Auxil
35、iary Objects)Simulation對象包含了Design simulation模塊中控制網(wǎng)格劃分、施加邊界條件、求解等功能的對象,Simulation對象最頂層的對象名稱是“DsApplication",其他所有的simulation對象都是“DsApplication"的子集,5.4.1 工程應(yīng)用實例——熱傳導(dǎo)和熱應(yīng)力分析,PCB級封裝模型采用MLP封裝家族的MLP 6×6模型結(jié)構(gòu),本實例采
36、用它的1/4模型進行分析。整個模型結(jié)構(gòu)包含印刷電路板(PCB)、芯片、黏結(jié)層、環(huán)氧塑封料、引線框架、焊接層、銅墊、印刷跡線。其中印刷電路板的尺寸是76.2mm * 114.3mm * 1.6mm, 印刷跡線的尺寸是 50mm * 50mm * 0.071mm 。,MLP 6 X 6 封裝模型的整體結(jié)構(gòu)圖,MLP 6 X 6 封裝模型的局部結(jié)構(gòu)圖,5.4 分析案例,5.4.1 熱傳導(dǎo)和熱應(yīng)力分析5.4.2 濕氣擴散和濕應(yīng)力分析5.
37、4.3 蒸汽壓力分析5.4.4 MLP 6 X 6 封裝模型的仿真實驗設(shè)計,5.4.1 工程應(yīng)用實例——熱傳導(dǎo)和熱應(yīng)力分析,,MLP 6 X 6 封裝模型的材料屬性,5.4.1 工程應(yīng)用實例——熱傳導(dǎo)和熱應(yīng)力分析,PCB級封裝的載荷與邊界條件:(1)芯片的功率為0.5W。(2)為了比較對流方式對封裝模型傳熱的影響,分別采用自然對流和強迫對流兩種方式進行加載,環(huán)境溫度為25℃。下表是自然對流時封裝模型外表面的對流系數(shù);對于強迫對
38、流時,取風(fēng)速為400ft/min,封裝模型外表面的對流系數(shù)為2.83× 10 ?5 𝑊 𝑚 𝑚 2 ·𝐾.,5.4.1 工程應(yīng)用實例——熱傳導(dǎo)和熱應(yīng)力分析,(3)在熱傳導(dǎo)分析時,其1/4邊界上沒有對流,參考溫度定為25℃。圖11是熱傳導(dǎo)分析時,封裝模型載荷的示意圖。,封裝模型載荷與邊界條件的示意圖,5.4.1 工程應(yīng)用實例——熱傳導(dǎo)和熱應(yīng)力分析,自然
39、對流條件下分別使用Autosim和ANSYS計算出的溫度和熱阻結(jié)果的比較,5.4.1 工程應(yīng)用實例——熱傳導(dǎo)和熱應(yīng)力分析,強迫對流條件下分別使用Autosim和ANSYS計算出的溫度和熱阻結(jié)果的比較,5.4.1 工程應(yīng)用實例——熱傳導(dǎo)和熱應(yīng)力分析,自然對流下封裝體von mises分布云圖的比較,圖13 強迫對流下封裝體von mises分布云圖的比較,強迫對流下封裝體von mises分布云圖的比較,5.4.2 工程實例應(yīng)用—濕氣擴
40、散和濕應(yīng)力分析,將微電子封裝仿真自動化系統(tǒng)對MLP 6×6封裝模型進行濕氣擴散分析和濕應(yīng)力分析,列出了封裝模型材料吸收濕氣和濕膨脹參數(shù)。,MLP 6×6的材料特性,5.4.2 工程實例應(yīng)用—濕氣擴散和濕應(yīng)力分析,設(shè)置了三種不同的濕氣環(huán)境:85℃/85%RH,60℃/60%RH和30℃/30%RH。在不同的環(huán)境下,材料有不同的擴散系數(shù)D和飽和濕度C。濕氣處理的時間一般為168h、96h、48h、36h、24h、12h,
41、允許用戶根據(jù)實際的情況來選擇不同的濕氣處理時間,從而得到不同的分析結(jié)果。,5.4.2 工程實例應(yīng)用—濕氣擴散和濕應(yīng)力分析,5.4.2 工程實例應(yīng)用—濕氣擴散和濕應(yīng)力分析,5.4.2 工程實例應(yīng)用—濕氣擴散和濕應(yīng)力分析,經(jīng)過168h的吸濕時間后,封裝體環(huán)氧塑封材料吸濕量基本達到飽和,5.4.2 工程實例應(yīng)用—濕氣擴散和濕應(yīng)力分析,85℃/85%RH潮濕環(huán)境條件下經(jīng)過96h的吸濕時間后,綜合變形,5.4.2 工程實例應(yīng)用—濕氣擴散和濕應(yīng)力分
42、析,85℃/85%RH潮濕環(huán)境條件下經(jīng)過96h的吸濕時間后,應(yīng)力情況,5.4.3 工程應(yīng)用實例——蒸汽壓力分析,蒸汽壓力分析是在得到濕氣分布結(jié)果的基礎(chǔ)上進行的。在封裝產(chǎn)品處于回流溫度分析過程中,在封裝體內(nèi)吸收的濕氣會變成水蒸氣,并在封裝體內(nèi)聚集產(chǎn)生壓力,直至封裝體失效。對于一種普遍的模塑料在85℃/85%RH的環(huán)境下, 𝐶 𝑠𝑎𝑡 =1.25× 10 ?2
43、𝑔 𝑐 𝑚 3 , 𝜌 𝑔 =3.576× 10 ?4 𝑔 𝑐 𝑚 3 , 𝜌 𝑒𝑥𝑡 =0.85 𝜌 𝑔 =3.04× 10 ?4 𝑔 𝑐 Ү
44、98; 3 。計算得到 𝐶 𝑠𝑎𝑡 ≈41 𝜌 𝑒𝑥𝑡 。該關(guān)系式直觀地說明,模塑料中所含的濕氣密度要比周圍環(huán)境中的濕氣密度大得多,模塑料所吸收的濕氣在材料的微孔隙中絕大部分都會凝結(jié)成水,因此材料所吸收的濕氣將會以氣/液混合狀態(tài)存在。,5.4.3 工程應(yīng)用實例——蒸汽壓力分析,ANSYS Workbench中
45、沒有直接分析蒸汽壓力的功能,但是可以利用不同溫度下飽和蒸汽的密度和蒸汽壓力編寫APDL計算蒸汽壓力分析程序.,5.4.3 工程應(yīng)用實例——蒸汽壓力分析,MLP 6 X 6封裝模型在85℃/85%RH條件下吸濕168h后,放在220℃的回流溫度中時的蒸汽壓力分布情況。發(fā)現(xiàn)在經(jīng)過168h后封裝體環(huán)氧塑封料和粘結(jié)層的蒸汽壓力基本上已經(jīng)達到飽和蒸汽壓力狀態(tài)。,蒸汽壓力分布,5.4.4 MLP 6 X 6 封裝模型的仿真實驗設(shè)計,利用微電子封裝仿
46、真自動化系統(tǒng)計算封裝模型在不同材料參數(shù)的結(jié)果,通過這一系列的計算比較,設(shè)計人員和用戶可以對封裝模型進行優(yōu)化設(shè)計,得出最優(yōu)的設(shè)計方案。為了易于比較,選用了MLP 6×6模型來分析比較。模型尺寸如表所示,其中芯片有兩種尺寸。分析16種不同情況下封裝模型由熱應(yīng)力、濕氣應(yīng)力、蒸汽壓力引起的綜合等效熱應(yīng)力分布情況。表10列出了16種情況下環(huán)氧塑封料和黏結(jié)層的部分材料參數(shù)。,,MLP 6 X 6 封裝模型的結(jié)構(gòu)尺寸,環(huán)氧塑封料和粘結(jié)層
47、的部分材料參數(shù),,,環(huán)氧塑封料、芯片、引線框架和芯片之間的粘結(jié)層的應(yīng)力樹脂表,5.4.4 MLP 6 X 6 封裝模型的仿真實驗設(shè)計,結(jié)果分析(1)第5種參數(shù)情況下的芯片第一主應(yīng)力數(shù)值最大,Mises接近700MPa,同時環(huán)氧塑封料和黏結(jié)層的von Mises應(yīng)力數(shù)值都很大,顯然這種參數(shù)設(shè)計的封裝模型是不可取的。(2)第16種參數(shù)情況下得到的黏結(jié)層的vonMises應(yīng)力數(shù)值8.31 MPa,在所有的參數(shù)計算中是最小的,但是相應(yīng)的芯片
48、第一主應(yīng)力和環(huán)氧塑封料的von Mises應(yīng)力數(shù)值都很大,分別排在第9和第10的位置。(3)第6種參數(shù)情況下得到的芯片第一主應(yīng)力和環(huán)氧塑封料的von Mises應(yīng)力數(shù)值最小,在此情況下的黏結(jié)層的von Mises應(yīng)力數(shù)值為10.02MPa,與最小值8.31MPa相比,相差約2.7MPa,不是很明顯。,5.4.4 MLP 6 X 6 封裝模型的仿真實驗設(shè)計,在本例中,黏結(jié)層的黏結(jié)強度為12MPa,芯片的抗拉強度為200MPa,環(huán)氧樹脂的
49、抗拉強度為120MPa。通過這一系列的分析,可看出第6種設(shè)計方案得到的綜合等效熱應(yīng)力的樹脂結(jié)果最令人滿意,也是最優(yōu)設(shè)計方案。,5.5 正交實驗設(shè)計,5.5.1 正交試驗設(shè)計的概念及原理5.5.2 Workbench 熱應(yīng)力分析,5.5 正交試驗設(shè)計,對于單因素或兩因素試驗,因其因素少 ,試驗的設(shè)計 、實施與分析都比較簡單 。但在實際工作中 ,常常需要同時考察 3個或3個以上的試驗因素 ,若進行全面試驗 ,則試驗的規(guī)模將很大 ,往往因
50、試驗條件的限制而難于實施 。正交試驗設(shè)計就是安排多因素試驗 、尋求最優(yōu)水平組合 的一種高效率試驗設(shè)計方法。,5.5.1 正交試驗設(shè)計的概念及原理,正交試驗設(shè)計是利用正交表來安排與分析多因素試驗的一種設(shè)計方法。它是由試驗因素的全部水平組合中,挑選部分有代表性的水平組合進行試驗的,通過對這部分試驗結(jié)果的分析了解全面試驗的情況,找出最優(yōu)的水平組合。,5.5.1 正交試驗設(shè)計的概念及原理,因素和水平根據(jù)實驗條件決定,例:分化酸堿滴定實驗——
51、測定石灰水中Ca(OH)2的濃度,用鹽酸滴定,用酚酞作指示劑,因素——Ca(OH)2、鹽酸、酚酞;水平——Ca(OH)2分別用2%、5%、10%,這稱為3水平;鹽酸用1%、2%、3%滴定,是鹽酸因素的3水平,依此類推,5.5.1 正交試驗設(shè)計的概念及原理,例如,要考察增稠劑用量、pH值和殺菌溫度對豆奶穩(wěn)定性的影響。每個因素設(shè)置3個水平進行試驗 。 A因素是增稠劑用量,設(shè)A1、A2、A3 3個水平;B因素是pH值,設(shè)
52、B1、B2、B3 3個水平;C因素為殺菌溫度,設(shè)C1、C2、C3 3個水平。這是一個3因素3水平的試驗,各因素的水平之間全部可能組合有27種 。 全面試驗:可以分析各因素的效應(yīng) ,交互作用,也可選出最優(yōu)水平組合。但全面試驗包含的水平組合數(shù)較多,工作量大 ,在有些情況下無法完成 。 若試驗的主要目的是尋求最優(yōu)水平組合,則 可利用正交表來設(shè)計安排試驗。,5.5.1 正交試驗設(shè)計的概念及原理,正交試驗設(shè)計的基本特點是
53、:用部分試驗來代替全面試驗,通過對部分試驗結(jié)果的分析,了解全面試驗的情況。 正因為正交試驗是用部分試驗來代替全面試驗的,它不可能像全面試驗?zāi)菢訉Ω饕蛩匦?yīng)、交互作用一一分析;當(dāng)交互作用存在時,有可能出現(xiàn)交互作用的混雜。雖然正交試驗設(shè)計有上述不足,但它能通過部分試驗找到最優(yōu)水平組合 。,5.5.1 正交試驗設(shè)計的概念及原理,如對于上述3因素3水平試驗,若不考慮交互作用,可利用正交表L9(34)安排,試驗方案僅包含9個水平組合,就能反映
54、試驗方案包含27個水平組合的全面試驗的情況,如果是3因素4水平,試驗方案僅包含9個水平組合,就能反映試驗方案包含81個水平組合的全面試驗的情況,這加快了實驗進程,并能找出最佳的生產(chǎn)條件。,L9(34),5.5.1 正交試驗設(shè)計的概念及原理,正交設(shè)計就是從選優(yōu)區(qū)全面試驗點(水平組合)中挑選出有代表性的部分試驗點(水平組合)來進行試驗。圖10-1中標有試驗號的九個“(·)”,就是利用正交表L9(34)從27個試驗點中挑選出來的9個
55、試驗點。即:(1)A1B1C1 (2)A2B1C2 (3)A3B1C3(4)A1B2C2 (5)A2B2C3 (6)A3B2C1(7)A1B3C3 (8)A2B3C1 (9)A3B3C2,下一張,主 頁,退 出,上一張,5.5.1 正交試驗設(shè)計的概念及原理,上述選擇 ,保證了A因素的每個水平與B因素、C因素的各個水平在試驗中各搭配一次 。對于A
56、、B、C 3個因素來說 , 是在27個全面試驗點中選擇9個試驗點 ,僅 是全面試驗的 三分之一。 從下可以看到 ,9個試驗點在選優(yōu)區(qū)中分布是均衡的,在立方體的每個平面上 ,都恰是3個試驗點;在立方體的每條線上也恰有一個試驗點。 9個試驗點均衡地分布于整個立方體內(nèi) ,有很強的代表性 , 能 夠比較全面地反映選優(yōu)區(qū)內(nèi)的基本情況。,3 因 素 3 水 平 的 全 面試驗水平組合數(shù)為33=27,4 因素
57、3水平的全面試驗水平組合數(shù)為34=81 ,5因素3水平的全面試驗水平組合數(shù)為35=243,這在科學(xué)試驗中是有可能做不到的。,,,,,,,,,,,La(bc),正交設(shè)計,試驗總次數(shù),行數(shù),因素水平數(shù),因素個數(shù),列數(shù),等水平正交表 La(bc),5.5.1 正交試驗設(shè)計的概念及原理,5.5.1 正交試驗設(shè)計的概念及原理,常用的正交表已由數(shù)學(xué)工作者制定出來,供進行正交設(shè)計時選用。2水平正交表除L8(27)外,還有L4(23)、L16(21
58、5)等;3水平正交表有L9(34)、L27(213)……等(詳見附表14及有關(guān)參考書)。正交表的基本性質(zhì) 正交性 任一列中,各水平都出現(xiàn),且出現(xiàn)的次數(shù)相等 例如L8(27)中不同數(shù)字只有1和2,它們各出現(xiàn)4次;L9(34)中不同數(shù)字有1、2和3,它們各出現(xiàn)3次 。,5.5.2 正交試驗設(shè)計的基本程序,試驗?zāi)康呐c要求,試驗指標,選因素、定水平,因素、水平確定,選擇合適正交表,表頭設(shè)計,列試驗方案,,,,,,,試驗結(jié)
59、果分析,進行試驗,記錄試驗結(jié)果,試驗結(jié)果極差分析,計算K值,計算k值,計算極差R,繪制因素指標趨勢圖,優(yōu)水平,因素主次順序,優(yōu)組合,結(jié) 論,,,,,,,,,,,,,試驗結(jié)果方差分析,,列方差分析表,進行F 檢驗,計算各列偏差平方和、自由度,分析檢驗結(jié)果,寫出結(jié)論,,,,5.5.2 正交試驗設(shè)計的基本程序,試驗方案設(shè)計(1) 明確試驗?zāi)康模_定試驗指標 試驗設(shè)計前必須明確試驗?zāi)康?,即本次試驗要解決什么問題。試驗?zāi)康拇_定后,對試驗結(jié)
60、果如何衡量,即需要確定出試驗指標。試驗指標可為定量指標,如強度、硬度、產(chǎn)量、出品率、成本等;也可為定性指標如顏色、口感、光澤等。一般為了便于試驗結(jié)果的分析,定性指標可按相關(guān)的標準打分或模糊數(shù)學(xué)處理進行數(shù)量化,將定性指標定量化。,5.5.2 正交試驗設(shè)計的基本程序,(2) 選因素、定水平,列因素水平表 根據(jù)專業(yè)知識、以往的研究結(jié)論和經(jīng)驗,從影響試驗指標的諸多因素中,通過因果分析篩選出需要考察的試驗因素。一般確定試驗因素時,應(yīng)以對試驗指
61、標影響大的因素、尚未考察過的因素、尚未完全掌握其規(guī)律的因素為先。試驗因素選定后,根據(jù)所掌握的信息資料和相關(guān)知識,確定每個因素的水平,一般以2-4個水平為宜。對主要考察的試驗因素,可以多取水平,但不宜過多(≤6),否則試驗次數(shù)驟增。因素的水平間距,應(yīng)根據(jù)專業(yè)知識和已有的資料,盡可能把水平值取在理想?yún)^(qū)域。,5.5.2 正交試驗設(shè)計的基本程序,(3) 選擇合適的正交表 正交表的選擇是正交試驗設(shè)計的首要問題。確定了因素及其水平后,根
62、據(jù)因素、水平及需要考察的交互作用的多少來選擇合適的正交表。正交表的選擇原則是在能夠安排下試驗因素和交互作用的前提下,盡可能選用較小的正交表,以減少試驗次數(shù)。 一般情況下,試驗因素的水平數(shù)應(yīng)等于正交表中的水平數(shù);因素個數(shù)(包括交互作用)應(yīng)不大于正交表的列數(shù);各因素及交互作用的自由度之和要小于所選正交表的總自由度,以便估計試驗誤差。若各因素及交互作用的自由度之和等于所選正交表總自由度,則可采用有重復(fù)正交試驗來估計試驗誤差。,L
63、4(23)正交表,4次實驗,水平數(shù),因素,,,決定列數(shù),結(jié)合L4(23)正交表安排實驗如下,4次實驗較常規(guī)安排(8次)實驗少一半,5.5.3 實驗結(jié)果分析,分清各因素及其交互作用的主次順序,分清哪個是主要因素,哪個是次要因素;判斷因素對試驗指標影響的顯著程度;找出試驗因素的優(yōu)水平和試驗范圍內(nèi)的最優(yōu)組合,即試驗因素各取什么水平時,試驗指標最好;分析因素與試驗指標之間的關(guān)系,即當(dāng)因素變化時,試驗指標是如何變化的。找出指標隨因素變化的規(guī)
64、律和趨勢,為進一步試驗指明方向;了解各因素之間的交互作用情況;估計試驗誤差的大小。,按下表安排實驗,完成實驗,實驗分析:每兩個試驗都有兩個條件不同,不能直接比較,,,綜合可比性:兩種水平出現(xiàn)次數(shù)相同,組合不同不影響指標,1)計算因素1(加熱溫度℃)的變化導(dǎo)致指標變動,2、因素影響指標的主次加熱溫度℃ 保溫時間 出爐溫度℃ (通過R)3、因素的最佳搭配 800 8 400,因素對指標的影
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