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1、1復(fù)習(xí)2013一章緒論一章緒論1光電系統(tǒng),光電檢測系統(tǒng)的特點、實例(光盤機、光刻機等)光電系統(tǒng),光電檢測系統(tǒng)的特點、實例(光盤機、光刻機等)2技術(shù)指標(biāo)技術(shù)指標(biāo)測量范圍,示值范圍,放大倍數(shù)測量范圍,示值范圍,放大倍數(shù)3基本組成(基本組成(8個部分)個部分)二章二章光電檢測的基本原則(光電檢測的基本原則(9個基本原則)個基本原則)重點重點:阿貝原則阿貝原則(要串聯(lián)要串聯(lián)不要并聯(lián)不要并聯(lián))及計算及計算艾賓斯坦原理艾賓斯坦原理三章三章光電檢測儀
2、器的精度理論光電檢測儀器的精度理論1誤差分類誤差分類按數(shù)學(xué)特征分按數(shù)學(xué)特征分:系統(tǒng)誤差、偶然誤差系統(tǒng)誤差、偶然誤差(隨機隨機)四章四章光電瞄準(zhǔn)(橫向瞄準(zhǔn))光電瞄準(zhǔn)(橫向瞄準(zhǔn))1瞄準(zhǔn)誤差瞄準(zhǔn)誤差2分類分類3.3.光學(xué)瞄準(zhǔn)法光學(xué)瞄準(zhǔn)法對線法(角誤差對線法(角誤差α)、重合法(對徑讀數(shù))、重合法(對徑讀數(shù))、雙象法、互補色、雙象法、互補色法、反射法。法、反射法。4激光掃描式光電自動對準(zhǔn)(光刻機)激光掃描式光電自動對準(zhǔn)(光刻機)3絕對式編碼器、
3、絕對式編碼器、容量和分辨率、容量和分辨率、循環(huán)碼與二進(jìn)制碼互換、循環(huán)碼與二進(jìn)制碼互換、電路圖路圖八章八章光電傳感器及其應(yīng)用光電傳感器及其應(yīng)用1傳感器的一般特性傳感器的一般特性靜態(tài)特性:線性度、靈敏度、遲滯、重復(fù)性靜態(tài)特性:線性度、靈敏度、遲滯、重復(fù)性動態(tài)特性動態(tài)特性2CCD工作原理、工作原理、CCD驅(qū)動電路驅(qū)動電路CCD的七個應(yīng)用領(lǐng)域的七個應(yīng)用領(lǐng)域CCD用于尺寸測量(微小尺寸的檢測用于尺寸測量(微小尺寸的檢測、小尺寸的檢測、大尺、小尺寸
4、的檢測、大尺寸檢測)寸檢測)CCD用于光譜測量(光柵式、棱鏡式)用于光譜測量(光柵式、棱鏡式)十一章十一章激光干涉、衍射測量系統(tǒng)激光干涉、衍射測量系統(tǒng)一.干涉基本原理干涉基本原理1.原理原理1)計量厚度或位移的變化)計量厚度或位移的變化干涉條紋是以干涉條紋是以λ2為單位的為單位的:Δh=?(2n)2)條紋的形狀隨兩出瞳位置的變化關(guān)系)條紋的形狀隨兩出瞳位置的變化關(guān)系——用于測面形及測長用于測面形及測長2.干涉的兩個問題:干涉的兩個問題:
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