真空泵的應(yīng)用

1、真空泵選型真空泵選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。因此，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到最佳配置，選擇真空系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)考慮下述各點(diǎn)：確定工作真空范圍:首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍，必須

2、認(rèn)真研究確定之。確定極限真空度在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的最佳工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級(jí)泵的極限真空度低50%。被抽氣體種類與抽氣量檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。真空容積檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空

3、管道的流阻與泄漏?？紤]達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。主真空泵的選擇計(jì)算S=2.303VtLog(P1P2)其中：S為真空泵抽氣速率(Ls)V為真空室容積（L）t為達(dá)到要求真空度所需時(shí)間(s)P1為初始真空度(Tr)P2為要求真空度(Tr)例如：V=500Lt=30sP1=760TrP2=50Tr則:S=2.303VtLog(P1P2)=2.303x50030xLog(76050)=35.4Ls當(dāng)然上式只是理

4、論計(jì)算結(jié)果，還有若干變量因素未考慮進(jìn)去，如管道流阻、泄漏、過濾器的流阻、被抽氣體溫度等。實(shí)際上還應(yīng)當(dāng)將安全系數(shù)考慮在內(nèi)。目前工業(yè)中應(yīng)用最多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等一般的要求是：1、真空度、真空容積、主要介質(zhì)、溫度、主要容積類設(shè)備。(或縮小)1273。3、查理定律當(dāng)氣體的體積V保持不變，一定質(zhì)量的氣體，壓強(qiáng)P與其他絕對(duì)溫度T成正比，即：P1P2＝T1T2在一定的體積下，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或降低)1℃，它的壓強(qiáng)比原來增加(

5、或減少)1273。4、平均程：λ＝(5103)P(cm)5、抽速：S＝dvdt(升秒)或S＝QPQ＝流量(托?升秒)P＝壓強(qiáng)(托)V＝體積(升)t＝時(shí)間(秒)6、通導(dǎo)：C＝Q(P2P1)(升秒)7、真空抽氣時(shí)間：對(duì)于從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式：t＝8VS(經(jīng)驗(yàn)公式)（V為體積，S為抽氣速率，通常t在5~10分鐘內(nèi)選擇。）8、維持泵選擇：S維＝S前109、擴(kuò)散泵抽速估算：S＝3D2(D＝直徑cm）10、羅茨泵的前級(jí)抽速：S＝(0.1~0

6、.2)S羅(ls)11、漏率：Q漏＝V(P2P1)(t2t1)Q漏－系統(tǒng)漏率(mmHg?ls)V－系統(tǒng)容積(l)P1－真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg)P2－真空室經(jīng)過時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg)t－壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過的時(shí)間(s)12、粗抽泵的抽速選擇：S＝Q1P預(yù)(ls)S=2.3V?lg(PaP預(yù))tS－機(jī)械泵有效抽速Q(mào)1－真空系統(tǒng)漏氣率(托?升秒)P預(yù)－需要達(dá)到的預(yù)真空度(托)V－真空系統(tǒng)容積(升)t－達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間

7、Pa－大氣壓值(托）13、前級(jí)泵抽速選擇：排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時(shí)需要前級(jí)泵來維持其前級(jí)壓力低于臨界值，選用的前級(jí)泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：PnSg≥PgS或Sg≥PgsPnSg－前級(jí)泵的有效抽速(ls)Pn－主泵臨界前級(jí)壓強(qiáng)(最大排氣壓強(qiáng))(ls)Pg－真空室最高工作壓強(qiáng)(托)S－主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。(ls)14、擴(kuò)散泵抽速