真空泵的選擇

1、真空泵的選擇真空泵的選擇一、選用真空泵時，需要注意下列事項：一、選用真空泵時，需要注意下列事項：1、真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1105mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5106mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為103~107mmHg，在這樣寬壓強范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強而變化，其

2、穩(wěn)定的工作壓強范圍為5104~5106mmHg。因而，泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在108mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在102mmHg下工作，但其工作壓強應(yīng)小于1105mmHg為好。3、真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽

3、氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到

4、清潔真空要求。6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采

5、取防振動措施。9、真空泵的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用。二、水環(huán)式真空泵的選擇二、水環(huán)式真空泵的選擇（一）、泵類型的確定泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。泵工作時，需要注意以下兩個方面：1.盡可能要求在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運行。2.應(yīng)避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運行。在此區(qū)域內(nèi)運行，不僅效率極低，而且工作很不穩(wěn)定，易產(chǎn)生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運行，往往還會發(fā)生汽

6、蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動。汽蝕會導(dǎo)致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作。S＝Q1P預(yù)(ls)S=2.3Vlg(PaP預(yù))tS－機械泵有效抽速Q(mào)1－真空系統(tǒng)漏氣率(托升秒)P預(yù)－需要達到的預(yù)真空度(托)V－真空系統(tǒng)容積(升)t－達到P預(yù)時所需要的時間Pa－大氣壓值(托)13、前級泵抽速選擇：排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，

7、選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：PnSg≥PgS或Sg≥PgsPnSg－前級泵的有效抽速(ls)Pn－主泵臨界前級壓強(最大排氣壓強)(ls)Pg－真空室最高工作壓強(托)S－主泵工作時在Pg時的有效抽速。(ls)14、擴散泵抽速計算公式：S＝QP＝(Kn)(Pt)(升秒)式中：S－被試泵的抽氣速率(ls)n－滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)t－油柱上升n格所需要的時間(秒)P－在泵口附近測得的壓強

8、(托)K－滴管系數(shù)(托升秒)K＝V0(Ln)(Υ0Υm)Pa△Vt其中V0－滴管和真空膠管的原始容積(升)L－滴管刻度部分的長度(mm)n－滴管刻度部分的格數(shù)(格)Υ0－油的比重(克厘米3)Υm－汞的比重(克厘米3)Pa－當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?托)△Vt－滴管的刻度上的一格的對應(yīng)的容積(升格)15、旋片真空泵的幾何抽速計算公式：S＝πZnLKv(D2d2)(24104)(ls)式中：Z為旋片數(shù)，n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)分)，L為泵腔長度，D為泵腔直徑，d為

9、轉(zhuǎn)子直徑(cm)，Kv為容積利用系數(shù)(一般取95％)。16、O型橡膠槽深B＝0.7DD為橡膠直徑，槽寬C＝1.6B17、方形橡膠槽深B＝0.8AA為方形橡膠邊長，槽寬C＝1.67B三、真空常用名詞術(shù)語三、真空常用名詞術(shù)語1、真空的定義真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)2、真空度處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。3、真空度單位通常用托

10、（Tr）為單位，近年國際上取用帕（Pa）作為單位。1托＝1760大氣壓＝1毫米汞柱4、托與帕的轉(zhuǎn)換1托＝133.322帕或1帕＝7.5103托5、平均自由程作無規(guī)則熱運動的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號“λ”表示。6、流量單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q”表示，單位為帕升秒（PaLs）或托升秒（TrLs）。7、流導(dǎo)表示真空管道通過氣體的能力。單位為升秒（Ls），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強差