精密超精密

1、一、名詞解釋1、超精密磨削超精密磨削：一般是指加工精度達(dá)到或高于0.1μm，表面粗糙度小于Ra0.025μm，是一種亞微米級的加工方法，正向納米級發(fā)展。2、鏡面磨削鏡面磨削：一般是指加工表面面粗糙度達(dá)到Ra0.020.01μm，表面光澤如鏡的磨削方法，比較強(qiáng)調(diào)表面粗糙度的要求，屬于精密磨削和超精密磨削范疇。3、微切削去除微切削去除：細(xì)微切削時(shí)，為保證工件尺寸精度要求，其最后一次的表面切削層厚度必須小于尺寸精度值。4、離子束加工離子束加工

2、：離子束加工是在真空條件下，將氬Ar.氪Kr，氙Xe等惰性氣體通過離子源產(chǎn)生離子束，經(jīng)加速、集束、聚焦后，射到被加工表面上以實(shí)現(xiàn)各種加工的方法。5、光刻加工技術(shù)光刻加工技術(shù)要求是針對集成電路制作中得到高精度微細(xì)線條所構(gòu)成的高密度微細(xì)復(fù)雜圖形6、空氣潔凈度：空氣潔凈度：指空氣中含塵埃量多少的程度。7、恒溫精度：恒溫精度：指相對于平均溫度所允許的偏差值二、選擇1、（100）面網(wǎng)最小單元為：正方形。2、切削刃解理破損是磨損和破損的主要形式，3

3、、離子束加工是靠微觀力效應(yīng)，被加工表面層不產(chǎn)生熱量，不引起機(jī)械應(yīng)力和損傷4、激光加工機(jī)理是：熱效應(yīng)5、光刻加工技術(shù)光刻加工技術(shù)要求是針對集成電路制作中得到高精度微細(xì)線條所構(gòu)成的高密度微細(xì)復(fù)雜圖形6、潔凈室相對濕度：一般控制在35%到45%之間。7、空氣凈化的基本要求：1發(fā)塵量要小2及時(shí)排除塵埃3供給潔凈空氣三、判斷1、金剛石刀具進(jìn)行超精密切削，用于加工鋁合金、無氧銅、黃銅、非電解鎳等有色金屬和某些非金屬材料。2、超精密切削時(shí)，切削速度并

4、不受刀具壽命制約，這是和普通的切削規(guī)律不同的。3、超精密切削時(shí)機(jī)選擇切削速度，經(jīng)常是根據(jù)所使用的超精密機(jī)床動(dòng)特性和切削系統(tǒng)動(dòng)態(tài)特性選取，即選擇震動(dòng)最小的轉(zhuǎn)速。4、加工表面粗糙度是直接和積屑瘤的高度有關(guān)，積屑瘤高度大，表秒粗糙度大，積屑瘤小，表面粗糙度小。5、使用切屑液后，已消除了積屑瘤對加工表面粗糙度的影響，這時(shí)切削速度已經(jīng)和加工表面粗糙度無關(guān)。6、（100）（110）兩把刀都比較鋒銳時(shí)，加工表面粗糙度相差不多。7、都在高磨削率方向上，

5、（110）晶面磨削率最高，最容易磨。8、金剛石刀具的磨損，主要屬于機(jī)械磨損，其磨損本質(zhì)是微觀解理的積累。9、金剛石晶體的破損，主要產(chǎn)生于（111）晶面的解理。10、金剛石刀具一般不采用主切削刃和副切削刃相交為一點(diǎn)的尖銳的刀尖。11、由于金剛似的脆性，在保證獲得較小的加工表面粗糙度的前提下，為增加切削刃的強(qiáng)度，應(yīng)采用較大的刀具楔角β，故刀具的前角和后角都取得較小。12、（100）晶面的耐磨性明顯高于（110）晶面。13、（100）晶面的微

6、觀破損強(qiáng)度要高于（110）晶面14、（100）晶面和有色金屬之間的摩擦因數(shù)要低于（110）晶面的摩擦因數(shù)。15、對于銅、鋁等及其合金等軟金屬，用金剛石刀具進(jìn)行超精密車削是十分有效18、修銳是去除磨粒間的結(jié)合劑，使磨粒突出結(jié)合劑一定高度。19、磨削法與超硬磨料砂輪對磨進(jìn)行修整，是目前最為廣泛采用的修整方法20、磨削硬質(zhì)合金時(shí)普遍采用煤油，立方氮化硼砂輪磨削時(shí)采用油性液為磨削液，一般不用水溶性液。21、超精密磨削時(shí)有微切削作用，塑性流動(dòng)和彈

7、性破壞作用，同時(shí)還有滑擦作用。22、從加工機(jī)理看，砂帶磨削兼有磨削、研磨和拋光的綜合作用。23、砂帶磨削頭架中，最重要而關(guān)鍵的零件是接觸輪。24、當(dāng)工件直徑較大并且重量較重時(shí)，超精密機(jī)床多采用立式結(jié)構(gòu)布局。25、花崗巖現(xiàn)在已是超精密機(jī)床的床身和導(dǎo)軌的熱門材料，因?yàn)榛◢弾r比鑄鐵長期尺寸穩(wěn)定性好，熱膨脹系數(shù)低，對震動(dòng)的衰減能力強(qiáng)，硬度高，耐磨并且不會(huì)生銹。26、超精密機(jī)床導(dǎo)軌部件要求：極高的直線運(yùn)動(dòng)精度，不能有爬行，導(dǎo)軌耦合面不能有磨損，要

8、求導(dǎo)軌有很高的制造精度，導(dǎo)軌的材料要有很高的穩(wěn)定性和耐磨性。27、微細(xì)加工技術(shù)是指：制造微小尺寸零件的生產(chǎn)加工技術(shù)28、空氣凈化的基本要求：1發(fā)塵量要小2及時(shí)排除塵埃3供給潔凈空氣五、簡答1、最新技術(shù)最近出現(xiàn)的隧道掃描顯微鏡分辨率為0.01nm，是目前世界上精度最高的測量儀，可用于測量金屬和半導(dǎo)體零件表面的原子分布的形貌。最新的研究證實(shí)，在掃描隧道顯微鏡下可以移動(dòng)原子，實(shí)現(xiàn)精密工程的最終目標(biāo)——原子級精密加工。2、看表：金剛石物理力學(xué)性

9、能，為什么它是不能代替的超精密切削刀具材料？從表可以看出，它有甚高的硬度、較高的熱導(dǎo)率、和有色金屬間的摩擦因數(shù)低、開始氧化的溫度較高，這些都是超精密切削刀具所要求的。此外單晶金剛石可以研磨大盜極其鋒利的切削刃（rn可以小到0.050.01μm），沒有其他任何材料可以磨到這樣鋒銳，并且能長期切削而磨削很小，因此金剛石是最理想不能代替的超精密切削的刀具材料。3、解理現(xiàn)象解理現(xiàn)象是某些晶體特有的現(xiàn)象，晶體受到定向的機(jī)械力作用時(shí)，可以沿解理面（

10、111）面平整的劈開現(xiàn)象，叫解理現(xiàn)象。4、圖題，研磨金剛石晶體時(shí)，（110）晶面摩擦因數(shù)最大，（100）晶面次之，（111）晶面最小。5、讀圖金剛石不同晶面破損的幾率說明：當(dāng)作用應(yīng)力相同時(shí)，（110）面破損幾率最大，（111）面次之，（100）面最小，即在外力作用下，（110）面容易破損，（111）面次之，（100）面最不容易破損。這種情況在設(shè)計(jì)金剛石刀具，選擇前面和后面的晶面時(shí)，必須首先給予考慮。根據(jù)上面的分析，應(yīng)選用微觀強(qiáng)度最高的（

11、100）晶面作為金剛石刀具的前面和后面。6、金剛石激光定向原理：利用金剛石在不同的結(jié)晶方向上，晶體結(jié)構(gòu)不同，對激光的反射而形成的衍射圖像不同而進(jìn)行的。7、超硬磨料砂輪磨削的共同特點(diǎn)：①可用來加工各種高硬度，高脆性金屬材料和非金屬材料，如陶瓷、玻璃、半導(dǎo)體材料、寶石、銅鋁等有色金屬及其合金、耐熱合金鋼等。②磨削能力強(qiáng)，耐磨性能好，壽命高，易于控制加工尺寸及實(shí)現(xiàn)加工自動(dòng)化。③磨削力小，磨削溫度低，加工表面質(zhì)量好，無燒傷，裂紋和組織變化。④削