超精密加工技術

1、精密和超精密加工論文精密和超精密加工論文機械091唐東東20090975(4)高自動化。為了保證加工質(zhì)量，減少人為因素影響，加工設備多采用數(shù)控系統(tǒng)實現(xiàn)自動化。加工設備的質(zhì)量與基礎元部件，如主軸系統(tǒng)、導軌、直線運動單元和分度轉(zhuǎn)臺等密切相關，應注意這些元部件質(zhì)量。此外，夾具、輔具等也要求有相應的高精度、高剛度和高穩(wěn)定性。3.2加工工具：加工工具主要是指刀具、磨具及刃磨技術。用金剛石刀具超精密切削，值得研究的問題有：金剛石刀具的超精密刃

2、磨，其刃口鈍圓半徑應達到2～4nm，同時應解決其檢測方法，刃口鈍圓半徑與切削厚度關系密切，若切削的厚度欲達到10nm，則刃口鈍圓半徑應為2nm。3.3磨具的材料磨具當前主要采用金剛石微粉砂輪超精密磨削，這種砂輪有磨料粒度、粘接劑、修整等問題，通常，采用粒度為W20～W0.5的微粉金剛石，粘接劑采用樹脂、銅、纖維鑄鐵等。四..超精密制造技術的應用領域和發(fā)展狀況4.1超精密制造技術的應用領域超精密制造技術是隨著測量技術的發(fā)展而發(fā)展的。Re

3、nishaw、Heidenhain及SONY等公司發(fā)展了分辨率均可以達到1nm的測量元件；美國HP公司、英國Tayl、美國zygo等公司的測量儀器均可以滿足納米測量的需求。超精密制造技術在國際上已經(jīng)得到廣泛應用。與國防工業(yè)有關的如人造衛(wèi)星用的姿態(tài)軸承和遙測部件、被送入太空的哈勃望遠鏡(HST)、飛機發(fā)動機轉(zhuǎn)子葉片等；與集成電路(IC)有關的硅片加工(要求硅片的加工表面粗糙度Ra一般小于2nm，最高要求達01nm)；此外光刻設備和硅片加工

4、設備的精度要求到亞微米和納米級。導彈慣性儀表的精度、激光陀螺儀的平面反射鏡的精度、紅外制導的導彈反射鏡等，其表面粗糙度均要求達到納米級。另外，光學非球曲面零件面形制造精度要求已達λ(30—50)，表面粗糙度要求≤05nm。4.2超精密制造技術的發(fā)展狀況1962年美國UnionCarbide公司研制出首臺超精密車床。在美國能源部支持下，LLI實驗室和Y—12工廠合作，與1983年成功地研制出大型超精密金剛石車床(DTM—3型)。該機床可加