iso14644-1-潔凈室及相關(guān)控制環(huán)境國際標(biāo)準(zhǔn)

1、潔凈室及相關(guān)控制環(huán)境國際標(biāo)準(zhǔn)潔凈室及相關(guān)控制環(huán)境國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644ISO14644前言ISO為全球各國標(biāo)準(zhǔn)化團(tuán)體（ISO會員團(tuán)體）的聯(lián)合會。其國際標(biāo)準(zhǔn)工作一般是由ISO各技術(shù)委員會執(zhí)行。每個會員團(tuán)體若對技術(shù)委員會的某一課題感興趣，均有權(quán)作為此技術(shù)委員會的代表。任何與ISO保持聯(lián)系的國際組織，無論是政府的還是非政府的組織，同樣可參加此項(xiàng)工作。ISO與國際電氣技術(shù)委員會（IEC）在電氣技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化方面進(jìn)行緊密合作。國際標(biāo)準(zhǔn)草案由其技術(shù)委

2、員會認(rèn)可后送各會員團(tuán)體進(jìn)行傳閱，以待表決。草案作為國際標(biāo)準(zhǔn)頒布至少需要75%的會員團(tuán)體投贊成票。國際標(biāo)準(zhǔn)ISO146441由ISOTC209潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境技術(shù)委員會提出。ISO14644在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的總標(biāo)題下，由下述各部分組成：第1部分：空氣潔凈度等級劃分第2部分：為認(rèn)證與ISO146441連續(xù)的相符性的測試和監(jiān)測技術(shù)要求第3部分：計量和測試方法第4部分：設(shè)計、施工和啟動第5部分：運(yùn)行第6部分：術(shù)語和定義第7部分：增強(qiáng)的

3、潔凈裝置用戶應(yīng)注意，第2至第7部分的標(biāo)題為第1部分發(fā)行時的工作標(biāo)題。如果從工作計劃中刪除了一部分或幾部分，剩余部分可以重新編寫。附錄B和C為ISO14644的組成部分，附錄A、D、E和F僅作資料用。潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境—第1部分：空氣潔凈度的分級1范圍范圍ISO14644的本部分是根據(jù)空氣中懸浮粒子濃度來劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級。只有在0.1μm5μm的閾值（低于閾值）粒徑范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群體才可供分級用。ISO

4、14644的本部分不包含0.1μm5μm規(guī)定粒徑范圍以外的粒子群體的分級。超微粒子（＜0.1μm）和大粒子（＞5μm）可分別以U描述符和M描述符來量化粒子群體。ISO14644的本部分不能用于表征懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性或生存性。注粒徑遵紀(jì)守法增范圍內(nèi)粒子濃度的實(shí)際分布情況通常是不可預(yù)測的，并且是隨著時間而變化的。2定義定義下述定義適用于ISO14644的本部分2.1通則2.1.1潔凈室:空氣懸浮粒子濃度受控的房間、房間的建設(shè)和

5、使用方式要盡可能減少室內(nèi)引入、產(chǎn)生和滯留粒子，室內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。2.1.2潔凈區(qū):懸浮粒子濃度受控的限定空間?？臻g的建設(shè)和使用方式要盡可能減少區(qū)內(nèi)引入、產(chǎn)生和滯留粒子，空間內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。注：該區(qū)可以是開放式或是密閉式，可以位于或不位于潔凈室內(nèi)。2.1.3設(shè)施:潔凈室或一個或多個潔凈區(qū)，連同所有相關(guān)的構(gòu)筑物、空氣處理系統(tǒng)、動力和公用設(shè)施。2.1.4分級:適用于一個的懸浮粒子

6、潔凈度等級（或規(guī)定或確定該等級的過程），以ISO等級N來表示，它表示所考慮的粒徑的最大允許濃度（以pcm3空氣計）。注1此濃度用3.2中的公式（1）確定。注2按照本國際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分級，限定在ISO1級至ISO9級。注3適用于按本國際標(biāo)準(zhǔn)分級的粒徑（低閾值）范圍限于0.1μm5μm。分級范圍之外的閾值粒徑之空氣潔凈度可以用U或M描述符（見2.3.1或2.3.2）來說明和規(guī)定（但不是分級）。注4ISO分級可以規(guī)定中間等級號，用最小允許遞增值0